Ako zlepšuje povlak TaC životnosť grafitových komponentov? - VeTek Semiconductor

CVD tantalum karbid povlakysa vyrába naparovaním karbidu tantalu (TaC) na povrch vysoko čistého grafitového substrátu pomocou patentovaného procesu chemického nanášania z plynnej fázy (CVD) spoločnosti VeTek Semiconductor.

Tantalum karbid (TAC) povlaky významne zlepšujú životnosťgrafitové častiprostredníctvom viacerých mechanizmov, najmä vo vysokoteplotných a vysoko korozívnych prostrediach, ako je výroba polovodičov a rast kryštálov. 

Tu sú konkrétne dôvody, prečoTaC povlakyVylepšite trvanlivosť grafitských častí:

● Zlepšená vysoká teplota odporu

Extrémne vysoká tepelná stabilita: TaC povlaky sú schopné zostať stabilné pri extrémne vysokých teplotách presahujúcich 2000 °C a môžu efektívne fungovať aj pri 2200 °C. Táto tolerancia vysokej teploty umožňuje povlaku odolávať erózii roztavených kovov a chemických plynov počas výroby polovodičov, čím sa predlžuje životnosť grafitových častí.

●  Vynikajúca odolnosť proti korózii

Odolnosť proti chemickej erózii: TAC povlaky majú silnú odolnosť proti korozívnym plynom, ako je vodík, amoniak a kremíková para, čo môže účinne zabrániť týmto plynom v korodovaní grafitového substrátu a znížiť riziko poškodenia grafitových častí v drsných prostrediach. To znamená, že počas procesu rastu kryštálov môže povlak inhibovať migráciu nečistoty a zlepšiť kvalitu a výťažok kryštálov.

●  Vylepšené mechanické vlastnosti

Dobrá adhézia a odolnosť proti tepelnému nárazu: TAC povlaky majú silnú adhéziu na grafitový substrát, čím sa zabezpečuje, že povlak sa počas vysokej teploty nebude odlupovať ani delaminovať. Okrem toho jeho vynikajúci odolnosť voči tepelným otrasom môže odolávať rýchlym zmenám teploty bez praskania alebo odlupovania, čím sa ďalej rozširuje životnosť grafitských častí.

● Znížte kontamináciu nečistoty

Ultra vysoká čistota: TAC povlaky majú extrémne nízky obsah nečistôt, čo pomáha znižovať problémy s kontamináciou, ktoré sa môžu vyskytnúť za podmienok vysokej teploty. Tým, že zabránia migrácii nežiaducich nečistôt do epitaxnej vrstvy, povlaky TAC významne zlepšujú čistotu a kvalitu procesu rastu kryštálov.

● Optimalizácia tepelného riadenia

Zlepšenie tepelnej vodivosti a odporu: Povlaky TaC majú relatívne nízku tepelnú vodivosť a odpor, čo umožňuje ich použitie v ohrievačoch a iných komponentoch tepelného manažmentu na zlepšenie energetickej účinnosti a zníženie energetických strát. Táto vlastnosť nielen zlepšuje prevádzkovú efektivitu, ale tiež znižuje únavu materiálu a poškodenie spôsobené prehriatím.