CVD SIC Coating Graphit Suslector

CVD SIC Coating Graphite Suslec je špeciálne navrhnutý pre vysokú presnú výrobu v polovodičovom priemysle. Grafitový substrát je potiahnutý vysokou čistotou vrstvy SIC pomocou procesu CVD, ktorý má vynikajúci vysoký teplotný odpor, odolnosť proti korózii a oxidačný odpor a môže dlho pracovať vo vysokej teplote a vákuovom prostredí. Tento podstavec sa široko používa v MOCVD, PECVD, PVD a ďalších zariadeniach na podporu spracovania a manipulácie s doštičkami a inými materiálmi s vysokou presnosťou.

Základné výhody:

● Stabilita s vysokou teplotou: Samotný grafit s vysokou čistotou má vynikajúcu tepelnú stabilitu. Po potiahnutí SIC povlakom môže vydržať extrémne prostredie s vyššou teplotou a je vhodné pre procesy vysokej teploty pri spracovaní polovodičov.

● Rohodpor: CVD SIC povlak je rezistentný na kyselinu a alkali koróziu a môže mať v procese CVD dlhú životnosť.

● Vysoký hArdness a oxidačná odolnosť: CVD SIC povlak má vynikajúcu tvrdosť, odolnosť proti škrabancom a oxidačnú odolnosť pri vysokých teplotách na udržanie stability materiálu.

● Dobrá tepelná vodivosť: Kombinácia grafitového substrátu a CVD SIC Coating Spicestor má základňu vynikajúcu tepelnú vodivosť, ktorá môže účinne vykonávať teplo a zlepšiť účinnosť výroby.

Špecifikácie produktu:

● Materiál: grafitový substrát + povlak CVD SIC

● Náterová hrúbka: dá sa prispôsobiť podľa potrieb zákazníka

● Uplatniteľné prostredie: Vysoká teplota, vákuum, korozívne plynové prostredie

Prispôsobená služba:

Poskytujeme vysoko prispôsobené služby na uspokojenie potrieb rôznych zariadení a procesov zákazníkov. Podľa špecifickej aplikácie zákazníka môžu byť poskytnuté grafitové základy s rôznymi hrúbkami povlaku, povrchové úpravy a presné úrovne.

Veteksemi vždy pracoval v priemysle poťahovania karbidu kremíka CVD a má špičkovú úroveň výroby a výroby základnej výroby a výroby Graphit CVD. Ak potrebujete viac informácií o produkte alebo prispôsobené služby, kontaktujte Vetek Semiconductor, z celého srdca vám poskytneme profesionálnu podporu.

Údaje SEM štruktúry kryštálového filmu CVD SIC:

Je to polovodičCVD SIC Cloating Graphit Suslector Products Shops: