Ako zvoliť MOCVD grafitový podnos?

Otázka 1: Čo je to podnos na grafit MOCVD a prečo je pre epitaxiálny proces taký dôležitý?

Graphitová doska na ukladanie chemickej pary (MOCVD) kov-organická (MOCVD), známa tiež ako MOCVD grafitový podnos alebo MOCVD grafitový spices, je zložkou s vysokou čistotou, ktorá sa používa na fiškáľu polovodičové doštičky počas epitaxiálneho rastu. V epitaxiálnom procese pôsobí ako vykurovací prvok a zaisťuje rovnomerné rozdelenie teploty, ktorá hrá nenahraditeľnú úlohu pri ukladaní tenkých filmov v aplikáciách, ako sú pokročilé polovodičové zariadenia, výroba LED a solárne články.

Grafitový podnos vydrží extrémne teploty (až 1 800 ° C) a korozívne plynové prostredie, vďaka čomu je nevyhnutným materiálom pre vysokoteplotné, MOCVD rezistentné korózie. Jeho výkon priamo ovplyvňuje konzistentnosť procesu a výnos oblátkov.

Otázka 2: Ktoré vlastnosti materiálu by mali byť pri výbere misky na grafity MOCVD prioritné?

Výber správnej grafitovej dosky vyžaduje vyhodnotenie jej fyzikálnych a chemických vlastností:

● Vysoká čistota (viac ako 99,999%):

Nečistoty, ako sú kovy alebo popol, zvyčajne môžu kontaminovať epitaxiálny proces. Výber vysokokvalitného dodávateľa grafitového susceptorového dodávateľa, ako je napríklad Veteksemicon, zaisťuje minimálne defekty v polovodičovej epilayeri.

●  Vynikajúca tepelná stabilita:

Počas skutočného spracovania musia byť grafitové dosky schopné vydržať určité tepelné otrasy a udržiavať štrukturálnu integritu v rýchlych teplotných cykloch. Grapit s vysokou hustotou vetemiconu zaisťuje rovnomerné rozloženie tepla, čo je rozhodujúce pre jednotný rast filmu.

●  Vynikajúci odpor korózie:

V prostredí MOCVD je grafit všeobecne vystavený korozívnym plynom (napr. Amoniak, vodík). Vysokoteplotné mOCVD grafické dosky odolné voči korózii s jemnozrnnou štruktúrou minimalizujú koróziu a predlžujú životnosť.

●  Vysoko výkonná mechanická pevnosť:

V epitaxiálnom procese musia grafitové zásobníky MOCVD podporovať viac doštičiek bez deformácie. Podľa štatistík Veteksemicona v skutočnom spracovaní musí byť ohybová pevnosť grafitovej platne ≥ 50 MPa, aby sa zabránilo prasknutiu podnosu.

Otázka 3: Ako ovplyvňuje scenár aplikácie výber grafitých podnosov MOCVD?

Rôzne procesy MOCVD vyžadujú návrhy grafitých dosiek prispôsobené:

●  Epitaxiálny rast LED/fotoniky:

Ultra hladké dosky MOCVD sa používajú v procese epitaxie na zníženie tvorby častíc a na zabezpečenie vrstiev bez defektov.

Napríklad MOCVD Graphitové dosky Vetemicon (alebo Veteksemicon Graphite Plates for MOCVD) sú navrhnuté pre epitaxiu GAN a GAAS a poskytujú optimalizovanú tepelnú správu.

●  Výroba energie polovodičov:

V kombinácii s experimentálnou štatistikou polovodiča Semikery sa platne so zvýšenou oxidačnou rezistenciou vo všeobecnosti uprednostňujú procesy kremíkového karbidu (SIC) alebo nitridu gallium (GAN).

●  Výroba s vysokou výkonnosťou:

Multi-vodné zásobníky vyžadujú presné spracovanie, aby sa zarovnalo s návrhom reaktora. Prispôsobiteľné grafitové podnosy MOCVD od spoľahlivého dodávateľa Semikera Semiconductor môžu zodpovedať konkrétnym konfiguráciám nástroja.

Q4: Aké sú kľúčové úvahy o nájdení spoľahlivého dodávateľa MOCVD Graphit Plate?

●  Certifikácia a testovanie:

Overte, či dodávateľ poskytuje certifikáciu materiálu (napr. Správa o čistote, test hustoty) a poskytuje povrchové spracovanie po spracovaní (napr. Potiahnutie na zníženie pórovitosti). Ako popredný čínsky výrobca zariadení na poťahovanie polovodičov a epitaxné procesné vybavenie boli grafické dosky Vetemicon MOCVD certifikované vládnymi oddeleniami pre dôkladné limitné experimenty a výsledky testov čistoty a hustoty jeho výrobkov sú ďaleko pred svojimi rovesníkmi.

●  Možnosti prispôsobenia:

Dodávatelia špičkových grafitských susceptorov by mali prispôsobiť veľkosť, vzor otvorov a povlaky tak, aby splnili požiadavky na vaše reaktory. Vecemicon a Semikera Semiconductor majú schopnosti služieb na prispôsobenie príbuzných produktov a technológií a sú schopné uspokojiť vaše rôzne prispôsobené potreby.

●  Životnosť a nákladová efektívnosť:

Zatiaľ čo lacnejší grafit môže ušetriť vopred, doštičky s grafitmi povedú k častému výmene a prestojom, čo vážne ovplyvní normálnu účinnosť výroby. Výber Veteksemicon Graphite Plates a ďalšie kvalitné produkty umožní vášmu podnikaniu dosiahnuť dlhodobú spoľahlivú výrobu.

Otázka 5: Ako rozšíriť životnosť MOCVD grafitých zásobníkov?

●  Zabráňte oxidácii: Počas zahrievania/chladiaceho cyklov použite čistenie inertného plynu.

●  Pravidelne čistiť: Na odstránenie uložených zvyškov použite neabrazívne metódy (napríklad suché leptanie).

●  Vyvarujte sa mechanického napätia: Počas načítania/vykladania oblátkov opatrne zvládnite podnos.

Najlepšia rada Veteksemicona pre vás:

V prípade MOCVD grafitských platní, ktoré sú odolné voči korózii vysokej teploty, poskytnite dodávateľom prioritu s odbornými znalosťami v materiáloch polovodičov.

Testované vzorky za skutočných podmienok procesu na overenie výkonu.

Preskúmajte pokročilé povlaky (ako napríklad povlak SIC, povlak TAC), aby ste zvýšili trvanlivosť a spoľahlivosť v extrémnych prostrediach.

Viac informácií o grafickom doske MOCVD SIC Coating Coating Cloating Clocking nájdete tu.

Viac informácií o grafickom doske MOCVD TAC, kliknite sem.