Pevný karbid kremíka

VeTek Semiconductor Solid Silicon Carbide je dôležitou keramickou zložkou v zariadeniach na plazmové leptanie, pevný karbid kremíka (CVD karbid kremíka) časti v leptacom zariadení zahŕňajúzaostrovacie krúžky, plynová sprchová hlavica, podnos, okrajové krúžky atď. Vďaka nízkej reaktivite a vodivosti pevného karbidu kremíka (CVD karbid kremíka) na leptacie plyny obsahujúce chlór a fluór je ideálnym materiálom pre zariadenia na plazmové leptanie, zaostrovacie krúžky a iné komponentov.

Napríklad zaostrovací krúžok je dôležitou súčasťou umiestnenou mimo doštičky a v priamom kontakte s doštičkou, privedením napätia na krúžok na zaostrenie plazmy prechádzajúcej prstencom, čím sa plazma zaostrí na doštičku, aby sa zlepšila rovnomernosť spracovanie. Tradičný zaostrovací krúžok je vyrobený zo silikónu respkremeň, vodivý kremík ako bežný ohniskový prstencový materiál, je takmer blízky vodivosti kremíkových plátkov, ale nedostatkom je slabá odolnosť proti leptaniu v plazme s obsahom fluóru, materiáloch na leptanie častí strojov, ktoré sa často používajú po určitú dobu, bude vážne jav korózie, ktorý vážne znižuje jeho výrobnú efektivitu.

STvrdý zaostrovací krúžok SiCPracovný princíp：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

Porovnanie zaostrovacieho krúžku na báze Si a zaostrovacieho krúžku CVD SiC:

Porovnanie zaostrovacieho krúžku na báze Si a zaostrovacieho krúžku CVD SiC
Položka	A	CVD SiC
Hustota (g/cm³)	2.33	3.21
Pásmová medzera (eV)	1.12	2.3
Tepelná vodivosť (W/cm℃)	1.5	5
CTE (x10^-6/℃)	2.6	4
Modul pružnosti (GPa)	150	440
Tvrdosť (GPa)	11.4	24.5
Odolnosť proti opotrebovaniu a korózii	Chudák	Výborne

VeTek Semiconductor ponúka pokročilé diely z pevného karbidu kremíka (CVD karbid kremíka), ako sú zaostrovacie krúžky SiC pre polovodičové zariadenia. Naše pevné zaostrovacie krúžky z karbidu kremíka prekonávajú tradičný kremík z hľadiska mechanickej pevnosti, chemickej odolnosti, tepelnej vodivosti, odolnosti voči vysokej teplote a odolnosti voči iónovému leptaniu.

Medzi kľúčové vlastnosti našich zaostrovacích krúžkov SiC patrí:

Vysoká hustota pre zníženú rýchlosť leptania.

Vynikajúca izolácia s vysokou bandgap.

Vysoká tepelná vodivosť a nízky koeficient tepelnej rozťažnosti.

Vynikajúca odolnosť voči mechanickému nárazu a elasticita.

Vysoká tvrdosť, odolnosť proti opotrebovaniu a odolnosť proti korózii.

Vyrobené s použitímplazmou posilnená chemická depozícia z plynnej fázy (PECVD)naše SiC zaostrovacie krúžky spĺňajú rastúce požiadavky leptacích procesov pri výrobe polovodičov. Sú navrhnuté tak, aby vydržali vyšší plazmový výkon a energiu, konkrétne vkapacitne viazaná plazma (CCP)systémov.

Zaostrovacie krúžky SiC spoločnosti VeTek Semiconductor poskytujú výnimočný výkon a spoľahlivosť pri výrobe polovodičových zariadení. Vyberte si naše SiC komponenty pre vynikajúcu kvalitu a efektivitu.

View as

Surovina CVD SIC s vysokou čistotou

Surovina CVD SIC s vysokou čistotou pripravená pomocou CVD je najlepším zdrojovým materiálom pre rast kryštálových kryštálov kremíkových karbidov fyzickým transportom pary. Hustota suroviny CVD SIC s vysokou čistotou dodávanou spoločnosťou Vetek Semiconductor je vyššia ako hustota malých častíc tvorených spontánnym spaľovaním plynov obsahujúcich SI a C a nevyžaduje špecializovanú spekanú pec a má takmer konštantnú rýchlosť odparovania. Môže pestovať extrémne kvalitné jednotlivé kryštály SIC. Tešíme sa na váš dopyt.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

Pevný nosič oblátky SIC

Pevný nosič SIC Wefer Siductor Vetek Semiconductor je navrhnutý pre prostredie odolné voči vysokej teplote a korózii v polovodičových epitaxiálnych procesoch a je vhodný pre všetky typy výrobných procesov doštičiek s požiadavkami na vysokú čistotu. Vetek Semiconductor je popredným dodávateľom oblátky v Číne a teší sa, že sa stanete vaším dlhodobým partnerom v polovodičovom priemysle.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

Pevná sprchová hlava v tvare SIC

Vetek Semiconductor je popredný výrobca polovodičových zariadení v Číne a profesionálny výrobca a dodávateľ pevnej sprchovej hlavy v tvare SIC. Naša sprchová hlava v tvare disku sa široko používa v produkcii tenkého filmu, ako je proces CVD, na zabezpečenie rovnomerného rozdelenia reakčného plynu a je jednou z hlavných komponentov CVD pece.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

Tesniaci prvok SIC

Ako pokročilý výrobca výrobkov a závod v Číne v Číne. Tesnenie časti Vetek Semiconducto SIC je vysoko výkonná tesniaca komponent, ktorý sa bežne používa pri spracovaní polovodičov a iných extrémnych procesoch vysokej teploty a vysokotlaku. Vitajte svoju ďalšiu konzultáciu.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

Sprchová hlava kremíka

Sprchová hlava kremíka má vynikajúcu toleranciu s vysokou teplotou, chemickú stabilitu, tepelnú vodivosť a dobrý výkon distribúcie plynu, ktorá môže dosiahnuť rovnomerné rozdelenie plynu a zlepšiť kvalitu filmu. Preto sa zvyčajne používa vo vysokoteplotných procesoch, ako je chemické ukladanie pary (CVD) alebo fyzikálne depozície pár (PVD). Vitajte svoju ďalšiu konzultáciu s nami, Vetek Semiconductor.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

Kremíkový karbid tesniaci prsteň

Ako profesionálny výrobca výrobkov z tesnenia kremíkového karbidu v Číne sa v Číne vezový kremíkový kremíkový kruhový kruh kremíka v polovodiče široko používa v zariadení na spracovanie polovodičov kvôli jeho vynikajúcemu tepelnému odporu, odolnosti proti korózii, mechanickej pevnosti a tepelnej vodivosti. Je obzvlášť vhodný pre procesy zahŕňajúce vysoké teplotné a reaktívne plyny, ako sú CVD, PVD a leptanie plazmy, a je kľúčovým výberom materiálu v procese výroby polovodičov. Vaše ďalšie otázky sú vítané.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

Ako profesionál Pevný karbid kremíka výrobca a dodávateľ v Číne máme vlastnú továreň. Či už potrebujete prispôsobené služby, ktoré vyhovujú konkrétnym potrebám vášho regiónu alebo chcete kúpiť pokročilé a odolné Pevný karbid kremíka v Číne, môžete nám nechať správu.

QR kód

O nás

Produkty

Kontaktuj nás

Telefón
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Adresa
Wangda Road, ulica Ziyang, Wuyi County, Jinhua City, provincia Zhejiang, Čína

Webové menu

Vyhľadávanie produktov

Jazyk

Ukončiť ponuku

Pevný karbid kremíka

Medzi kľúčové vlastnosti našich zaostrovacích krúžkov SiC patrí:

Surovina CVD SIC s vysokou čistotou

Pevný nosič oblátky SIC

Pevná sprchová hlava v tvare SIC

Tesniaci prvok SIC

Sprchová hlava kremíka

Kremíkový karbid tesniaci prsteň

Odoslať dopyt

QR kód

O nás

Produkty

Kontaktuj nás

Telefón

Fax

E-mail

Adresa