Povlak z karbidu tantalu

VeTek semiconductor je popredný výrobca povlakových materiálov z karbidu tantalu pre polovodičový priemysel. Naše hlavné ponuky produktov zahŕňajú CVD povlakové diely z karbidu tantalu, spekané diely s povlakom TaC pre rast kryštálov SiC alebo proces epitaxie polovodičov. VeTek Semiconductor prešiel ISO9001 a má dobrú kontrolu kvality. VeTek Semiconductor je odhodlaný stať sa inovátorom v priemysle povlakov karbidu tantalu prostredníctvom prebiehajúceho výskumu a vývoja iteračných technológií.

Hlavnými produktmi súVodiaci krúžok potiahnutý TaC, Trojlístkový vodiaci krúžok potiahnutý CVD TaC, Halfmoon potiahnutý karbidom tantalu TaC, CVD TaC povlak planetárneho epitaxného susceptora SiC, Povlakový krúžok z karbidu tantalu, Porézny grafit potiahnutý karbidom tantalu, Rotačný susceptor povlaku TaC, Prsteň z karbidu tantalu, Rotačná doska povlaku TaC, Susceptor plátku potiahnutý TaC, Deflektorový krúžok potiahnutý TaC, Kryt CVD TaC, Skľučovadlo potiahnuté TaCatď., čistota je nižšia ako 5 ppm, môže spĺňať požiadavky zákazníka.

TaC povlakový grafit je vytvorený potiahnutím povrchu vysoko čistého grafitového substrátu jemnou vrstvou karbidu tantalu patentovaným procesom chemického nanášania z plynnej fázy (CVD). Výhoda je znázornená na obrázku nižšie:

Excellent properties of TaC coating graphite

Povlak z karbidu tantalu (TaC) si získal pozornosť vďaka svojmu vysokému bodu topenia až 3880°C, vynikajúcej mechanickej pevnosti, tvrdosti a odolnosti voči tepelným šokom, čo z neho robí atraktívnu alternatívu k procesom epitaxe zložených polovodičov s vyššími teplotnými požiadavkami, ako je Aixtron MOCVD systém a LPE SiC epitaxný proces. Má tiež široké uplatnenie v PVT metóde v procese rastu SiC kryštálov.

Kľúčové vlastnosti:

●Teplotná stabilita

●Ultra vysoká čistota

●Odolnosť voči H2, NH3, SiH4, Si

●Odolnosť voči tepelným zásobám

●Silná priľnavosť ku grafitu

●Konformné pokrytie povlakom

● Veľkosť do priemeru 750 mm (jediný výrobca v Číne dosahuje túto veľkosť)

Aplikácie:

●Nosič oblátok

● Indukčný vykurovací susceptor

● Odporové vykurovacie teleso

●Satelitný disk

●Sprchová hlavica

●Vodiaci krúžok

●LED prijímač Epi

●Vstrekovacia tryska

●Maskovací prsteň

● Tepelný štít

Povlak karbidu tantalu (TaC) na mikroskopickom priereze:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parameter povlaku VeTek Semiconductor Tantal Carbide Coating:

Fyzikálne vlastnosti povlaku TaC
Hustota	14,3 (g/cm³)
Špecifická emisivita	0.3
Koeficient tepelnej rozťažnosti	6.3 10^-6/K
Tvrdosť (HK)	2000 HK
Odpor	1×10^-5Ohm*cm
Tepelná stabilita	<2500 ℃
Veľkosť grafitu sa mení	-10~-20um
Hrúbka povlaku	≥20um typická hodnota (35um±10um)

Údaje o EDX povlaku TaC：

EDX data of TaC coating

Údaje o štruktúre kryštálov povlaku TaC:

Prvok	Atómové percento
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Priemerná
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC Coating Chuck Planetárny disk s povlakom TaC
TaC potiahnutá doska Rotačná doska povlaku TaC Prijímač povlaku TaC CVD TaC povlak Kryt CVD TaC povlakový krúžok TaC poťahová doska

View as

Kruh potiahnutý TAC pre rast PVT jednotlivého kryštálu SIC

Ako jeden z popredných dodávateľov výrobkov TAC v Číne je Vetek Semiconductor schopný poskytnúť zákazníkom kvalitné časti prispôsobené TAC. Kruh potiahnutý TAC pre rast PVT jednotlivého kryštálu SIC je jedným z najvýznamnejších a najzrelejších výrobkov Vetek Semiconductor. Hrá dôležitú úlohu pri raste PVT procesu SIC Crystal a môže pomôcť zákazníkom pestovať vysoko kvalitné kryštály SIC. Tešíme sa na váš dopyt.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

CVD TAC potiahnutý trojpárkovým vodiacim krúžkom

Vetek Semiconductor zažil dlhoročný technologický rozvoj a zvládol vedúcu technológiu procesu CVD TAC povlaku. Trojpubný vodiaci krúžok CVD TAC potiahnutý TAC je jedným z najzrelejších produktov CVD TAC Semiconductor Vetek Semiconductor a je dôležitou súčasťou prípravy kryštálov SIC metódou PVT. S pomocou Vetetek Semiconductor sa domnievam, že vaša produkcia SIC Crystal bude plynulejšia a efektívnejšia.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

Tantalum karbidový prsteň

Vetek Semiconductor Tantalum Carbid Cloating Ring je nevyhnutnou súčasťou v polovodičovom priemysle, konkrétne pri leptaní doštičiek SIC. Jeho kombinácia grafitskej základne a povlaku TAC zaisťuje vynikajúci výkon vo vysokoteplotných a chemicky agresívnych prostrediach. Vďaka svojej zvýšenej tepelnej stabilite, odolnosti proti korózii a mechanickej pevnosti pomáha kruh potiahnutý karbidom tantalum v polovodičoch, aby dosiahli výrobcovia polovodičov, aby dosiahli presnosť, spoľahlivosť a vysokokvalitné výsledky vo svojich výrobných procesoch.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

TaC povlakový krúžok

TAC povlakový kruh je vysokovýkonný komponent určený na použitie v polovodičových procesoch, vek-polovodičový TAC povlakový krúžok má vysokú tepelnú stabilitu, odolnosť proti chemickej korózii a vynikajúca mechanická pevnosť a špecificky sa používa na držanie a podporu doštičiek SIC počas procesu leptania, voči chemickej korózii kde presná kontrola a trvanlivosť sú nevyhnutné na dosiahnutie vysokokvalitných doštičiek. Tešíme sa na vašu ďalšiu konzultáciu.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

TAC povlaky téglika

Ako profesionálny TAC povlakový téglikový dodávateľ a výrobca v Číne hrá Crucible TAC Crucible TAC Semiconductor na nenahraditeľnú úlohu v procese rastu jednotlivých kryštálov v polovodičoch s vynikajúcou tepelnou vodivosťou, vynikajúcou chemickou stabilitou a zvýšenou odolnosťou proti korózii. Vitajte svoje ďalšie otázky.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

Vodiaci krúžok potiahnutý karbidom tantalu

Ako vedúci vodiaceho kruhu TAC vodiaceho kruhu TAC, dodávateľ a výrobca prsteňa, vodiaci krúžok potiahnutý karbidom vek -polovodičom Tantalum je dôležitým komponentom, ktorý sa používa na usmernenie a optimalizáciu toku reaktívnych plynov v metóde PVT (fyzická transport pary). Podporuje rovnomerné ukladanie jednotlivých kryštálov SIC v rastovej zóne úpravou distribúcie a rýchlosti prietoku plynu. Vetek Semiconductor je popredným výrobcom a dodávateľom prsteňov TAC Coating Rings v Číne a dokonca aj vo svete a tešíme sa na vašu konzultáciu.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

Ako profesionál Povlak z karbidu tantalu výrobca a dodávateľ v Číne máme vlastnú továreň. Či už potrebujete prispôsobené služby, ktoré vyhovujú konkrétnym potrebám vášho regiónu alebo chcete kúpiť pokročilé a odolné Povlak z karbidu tantalu v Číne, môžete nám nechať správu.

QR kód

O nás

Produkty

Kontaktuj nás

Telefón
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Adresa
Wangda Road, ulica Ziyang, Wuyi County, Jinhua City, provincia Zhejiang, Čína

Webové menu

Vyhľadávanie produktov

Jazyk

Ukončiť ponuku

Povlak z karbidu tantalu

Kľúčové vlastnosti:

Aplikácie:

Povlak karbidu tantalu (TaC) na mikroskopickom priereze:

Parameter povlaku VeTek Semiconductor Tantal Carbide Coating:

Údaje o EDX povlaku TaC：

Údaje o štruktúre kryštálov povlaku TaC:

Kruh potiahnutý TAC pre rast PVT jednotlivého kryštálu SIC

CVD TAC potiahnutý trojpárkovým vodiacim krúžkom

Tantalum karbidový prsteň

TaC povlakový krúžok

TAC povlaky téglika

Vodiaci krúžok potiahnutý karbidom tantalu

Odoslať dopyt

QR kód

O nás

Produkty

Kontaktuj nás

Telefón

Fax

E-mail

Adresa