Kremík

1. Vynikajúca chemická stabilita

Keramika nitridu kremíka má vynikajúcu chemickú stabilitu a vydrží rôzne silné kyseliny, zásady a korozívne plyny. V procese výroby polovodičov sa často musí zaoberať korozívnymi chemikáliami, keramika nitridu kremíka môže poskytnúť dlhodobú záruku stabilnej výkonnosti.

2. Vynikajúce mechanické vlastnosti

Keramika nitridu kremíka má vysokú tvrdosť, vynikajúcu pevnosť v tlaku a odolnosť proti opotrebeniu, schopná vydržať mechanické napätie a povrchové opotrebenie, nie je ľahké deformácia alebo prasknutie. Vďaka tejto mechanickej vlastnosti je veľmi vhodná ako materiál pre konštrukčné a procesné časti v polovodičových zariadeniach.

3. Stabilita vysokej teploty

Keramika nitridu kremíka si môže udržiavať stabilitu vo vysokoteplotných prostrediach, nie je ľahké zmäkčiť alebo roztaviť a v procese výroby polovodičov vydrží vysokoteplotné spracovanie a manipuláciu. To umožňuje jeho používanie pri výrobe kľúčových komponentov s vysokým teplotou procesného zariadenia, ako sú grippery, komponenty reakčnej komory atď.

4. Vynikajúce izolačné vlastnosti

Izolačné vlastnosti sú kritické pri výrobe polovodičových zariadení. Keramika nitridu kremíka má dobré izolačné vlastnosti, ktoré môžu účinne izolovať a chrániť komponenty obvodu pred únikom prúdu alebo elektromagnetického rušenia, čo pomáha zlepšovať stabilitu a spoľahlivosť zariadenia.

5. Tepelná vodivosť a tepelná vodivosť

Keramika nitridu kremíka má vysokú tepelnú vodivosť, môže účinne vykonávať a rozptyľovať teplo generované zariadením, čo pomáha udržiavať teplotnú stabilitu zariadenia v prevádzkovom procese. To je rozhodujúce pre vysokovýkonnú prevádzku polovodičových zariadení.

1

Keramika nitridu kremíka sa často používa ako materiály pre elektrostatické skľučovanie a komponenty leptania komory v výrobe polovodičov kvôli ich vynikajúcej chemickej stabilite a vysokej teplotnej odolnosti. Elektrostatické skľučovky sa používajú na fixovanie a stabilizáciu doštičiek alebo substrátov, zatiaľ čo komponenty leptania komory sa používajú na odolávanie korozívnym plynom a vysokoteplotným prostrediam.

2. Distribučné dosky a reflektory plynu

Keramika nitridu kremíka sa tiež používa pri výrobe polovodičových zariadení v doskách a reflexoch plynu. Distribučné dosky plynu sa používajú na rovnomernú distribúciu reaktívnych alebo ochranných plynov do reakčnej komory, zatiaľ čo reflektory sa používajú na optimalizáciu distribúcie a odrazu svetla v reakčnej komore na zlepšenie účinnosti a rovnomernosti reakcie.

3. Držiaky a tepelné komponenty

Keramika nitridu kremíka sa často používa ako držiaky a komponenty tepelného manažmentu vo výrobných zariadeniach polovodičov. Tieto komponenty musia mať dobrú mechanickú pevnosť, odolnosť proti opotrebeniu a tepelnú vodivosť, aby sa zabezpečila prevádzka stabilného zariadenia a presnosť spracovania zariadení.

4. Chemické mechanické leštenie (CMP) vankúšiky

Keramika nitridu kremíka sa v procese chemického mechanického leštenia (CMP) široko používa ako materiál podložky. Má vynikajúcu odolnosť voči plochom a opotrebovaniu a môže poskytnúť stabilnú podporu počas leštiaceho procesu, aby sa zabezpečila rovinnosť a presnosť povrchu oblátky polovodiča.