Aká je špecifická aplikácia častí potiahnutých TAC v poli polovodičov?

Fyzikálne vlastnosti povlaku karbidu tantalu (TAC)

Aplikácia povlaku karbidu Tantalum (TAC) v poli polovodičov

1. Zložky reaktora epitaxiálneho rastu

Poter TAC sa široko používa v komponentoch reaktorových zložiek chemického depozície pary (CVD) epitaxiálneho epitaxiálneho a kremíka (SIC), vrátane epitaxiálneho a kremíkového karbidu kremíka (SIC), vrátanenosiče, satelitné riady, dýzy a senzory. Tieto komponenty vyžadujú extrémne vysokú trvanlivosť a stabilitu v vysokých teplotách a korozívnych prostrediach. Poter TAC môže účinne predĺžiť svoju životnosť a zlepšiť výnos.

2. Zložka s jedným kryštálom

V procese rastu jednotlivých kryštálov materiálov, ako sú SIC, GAN a hliníkový nitrid (AIN),Náter TACsa aplikuje na kľúčové komponenty, ako sú krížové predmety, držiaky semien, vodiace krúžky a filtre. Grafitové materiály s povlakom TAC môžu znížiť migráciu nečistôt, zlepšiť kvalitu kryštálov a znížiť hustotu defektov.

3. Priemyselné komponenty s vysokou teplotou

Poter TAC sa môže použiť v priemyselných aplikáciách s vysokou teplotou, ako sú napríklad odporové vykurovacie prvky, injekčné dýzy, tieniace krúžky a spájkovacie príslušenstvo. Tieto komponenty si musia udržiavať dobrý výkon vo vysokoteplotných prostrediach a odolnosť voči tepla TAC a odolnosť proti korózii z neho robí ideálnu voľbu.

4. Ohrievače v systémoch MOCVD

Ohrievače Graphitov potiahnuté TAC boli úspešne zavedené v systémoch depozície kovových organických chemickej pary (MOCVD). V porovnaní s tradičnými ohrievačmi potiahnutými PBN môžu ohrievače TAC poskytnúť lepšiu účinnosť a rovnomernosť, znížiť spotrebu energie a znížiť emisivitu povrchu, čím sa zlepší integrita.

5. Oblátky

Nosiči oblátkov potiahnutých TAC zohrávajú dôležitú úlohu pri príprave polovodičových materiálov tretej generácie, ako sú SIC, AIN a GAN. Štúdie ukázali, že miera korózieTAC povlakyvo vysoko teplotnom amoniaku a vodíkovom prostredí je oveľa nižšia ako vNáter SIC, vďaka tomu, že v dlhodobom používaní vykazuje lepšiu stabilitu a trvanlivosť.