Produkty
Konzolové pádlo SiC
  • Konzolové pádlo SiCKonzolové pádlo SiC

Konzolové pádlo SiC

Konzolové pádlo SiC od VeTek Semiconductor sa používa v peciach na tepelné spracovanie na manipuláciu a podopieranie člnov s plátkami. Vysoká teplotná stabilita a vysoká tepelná vodivosť SiC materiálu zaisťuje vysokú účinnosť a spoľahlivosť v procese spracovania polovodičov. Zaviazali sme sa poskytovať vysokokvalitné produkty za konkurencieschopné ceny a tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.

Ste vítaní, aby ste prišli do nášho továrneho vetruduktora Vetek, aby ste si kúpili najnovšie predajné pádlo na predaj, nízku cenu a vysokokvalitné konzolové pádlo SIC. Tešíme sa na spoluprácu s vami.


Funkcie konzoly SIC konzoly SIC SICDUCTOR VETEK

Stabilita vysokej teploty: Schopná udržiavať svoj tvar a štruktúru pri vysokých teplotách, vhodné pre procesy spracovania vysokej teploty.

Odolnosť proti korózii: Vynikajúca odolnosť proti korózii voči rôznym chemikáliám a plynom.

Vysoká pevnosť a tuhosť: Poskytuje spoľahlivú podporu, aby sa zabránilo deformácii a poškodeniu.


Výhody konzolového pádla SiC od VeTek Semiconductor:

Vysoká presnosť: Vysoká presnosť spracovania zaisťuje stabilnú prevádzku v automatizovanom zariadení.

Nízka kontaminácia: Materiál SIC s vysokou čistotou znižuje riziko kontaminácie, čo je obzvlášť dôležité pre ultra čisté výrobné prostredie.

Vysoké mechanické vlastnosti: Schopný odolávať náročným pracovným prostrediam s vysokými teplotami a vysokými tlakmi.

Špecifické aplikácie SiC Cantilever Paddle a princíp jeho aplikácie

Manipulácia s kremíkovými doštičkami vo výrobe polovodičov:

SiC Cantilever Paddle sa používa hlavne na manipuláciu a podporu kremíkových doštičiek počas výroby polovodičov. Tieto procesy zvyčajne zahŕňajú čistenie, leptanie, poťahovanie a tepelné spracovanie. Princíp aplikácie:

Manipulácia s kremíkovým plátkom: Konzolová lopatka SiC je navrhnutá tak, aby bezpečne upínala a presúvala kremíkové plátky. Počas vysokoteplotných a chemických procesov spracovania vysoká tvrdosť a pevnosť SiC materiálu zaisťuje, že kremíkový plátok sa nepoškodí ani nedeformuje.

Proces chemického nanášania pár (CVD):

V procese CVD sa na nosenie kremíkových doštičiek používa konzolové pádlo SIC, takže tenké filmy je možné ukladať na svoje povrchy. Princíp žiadosti:

V procese CVD sa SiC Cantilever Paddle používa na fixáciu kremíkového plátku v reakčnej komore a plynný prekurzor sa rozkladá pri vysokej teplote a vytvára tenký film na povrchu kremíkového plátku. Odolnosť SiC proti chemickej korózii zaisťuje stabilnú prevádzku pri vysokej teplote a chemickom prostredí.


Parametre produktu SiC Cantilever Paddle

Fyzikálne vlastnosti rekryštalizovaného karbidu kremíka
Nehnuteľnosť Typická hodnota
Pracovná teplota (°C) 1600 °C (s kyslíkom), 1700 °C (redukujúce prostredie)
obsah SiC > 99,96 %
Voľný obsah Si < 0,1 %
Objemová hustota 2,60-2,70 g/cm3
Zjavná pórovitosť < 16 %
Kompresná sila > 600 MPa
Pevnosť v ohybe za studena 80-90 MPa (20 ° C)
Pevnosť v ohýbaní 90-100 MPa (1400 ° C)
Tepelná rozťažnosť pri 1500°C 4,70 x 10-6/° C
Tepelná vodivosť @1200 ° C 23 w/m • k
Elastický modul 240 GPa
Odpor Mimoriadne dobré


Výrobné dielne:

VeTek Semiconductor Production Shop


Prehľad priemyselného reťazca epitaxie polovodičových čipov:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


Hot Tags: Konzolové pádlo
Odoslať dopyt
Kontaktné informácie
For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
X
Súbory cookie používame, aby sme vám poskytli lepší zážitok z prehliadania, analyzovali návštevnosť stránok a prispôsobili obsah. Používaním tejto stránky súhlasíte s naším používaním cookies.Zásady ochrany osobných údajov
OdmietnuťPrijať