VeTek Semiconductor poskytuje špeciálny grafit, ako je silikonizovaný grafit, pyrolytický uhlík, porézny grafit, sklenený uhlíkový povlak, vysoko čistý grafitový plát a vysoko čistý izostatický grafit, to je niekoľko typov špeciálnych grafitových materiálov, ktoré majú spoločné vlastnosti a aplikácie. Tu je krátky úvod k ich funkciám a aplikáciám:
● Silikonizovaný grafit: Silikonizovaný grafit je špeciálny grafitový materiál vytvorený kombináciou grafitu so zlúčeninami kremíka. Vykazuje vynikajúcu odolnosť voči vysokým teplotám, korózii a mechanické vlastnosti. Silikonizovaný grafit sa bežne používa vo vysokoteplotných peciach, zariadeniach odolných voči korózii a výrobe polovodičov.
● Pyrolytický uhlík: Pyrolytický uhlík je uhlíkový materiál získaný vysokoteplotnou pyrolýzou organických látok, ako je uhlie a ropný koks. Vyznačuje sa vysokou čistotou, hustotou, pevnosťou a nízkou elektrickou vodivosťou. Pyrolytický uhlík nachádza široké uplatnenie ako vysokoteplotné materiály a konštrukčné komponenty v polovodičoch, chemických zariadeniach, letectve a iných oblastiach.
● Porézny grafit: Porézny grafit je špeciálny grafitový materiál s mikro a mezoporéznymi štruktúrami. Má veľký špecifický povrch a pórovitosť, ponúka vynikajúce adsorpčné vlastnosti a tepelnú vodivosť. Porézny grafit sa bežne používa pri separácii plynov, raste kryštálov SiC a iných aplikáciách.
● Sklovitý uhlíkový povlak: Skelný uhlíkový povlak sa týka techniky nanášania sklovitého uhlíkového materiálu ako povrchového povlaku. Vykazuje vynikajúcu odolnosť proti korózii, odolnosť proti opotrebovaniu a elektrickú vodivosť. Sklovité uhlíkové povlaky sa často používajú v povlakoch odolných voči korózii, v povlakových materiáloch pre E-Beam Gun a iných polovodičových poliach.
● Vysoko čistý izostatický grafit: Vysoko čistý izostatický grafit je vysoko čistý špeciálny grafitový materiál pripravený vysokoteplotným izostatickým lisovaním. Vyznačuje sa jednotnou mikroštruktúrou, vysokou hustotou a nízkym obsahom kyslíka. Vysoko čistý izostatický grafit sa vo veľkej miere používa v presnom obrábaní, materiáloch na odvádzanie tepla, výrobe polovodičov, fotovoltaike, letectve a iných priemyselných odvetviach.
Vysoko čistý grafitový papier je špecializovaný materiál používaný v polovodičovom priemysle. Vďaka svojej výnimočnej tepelnej a elektrickej vodivosti hrá dôležitú úlohu v aplikáciách, ako sú chladiče, materiály tepelného rozhrania a elektrická izolácia. Ľahký a flexibilný charakter vysoko čistého grafitového papiera ho robí ideálnym na zlepšenie tepelného manažmentu a optimalizáciu výkonu polovodičových zariadení. Jeho vysoká čistota (nečistota pod 5 ppm) zaisťuje spoľahlivú a efektívnu prevádzku, vďaka čomu je cenným komponentom pri výrobe a montáži polovodičov.
Tieto špeciálne grafitové materiály ponúkajú jedinečné vlastnosti a aplikačné výhody vo svojich príslušných oblastiach. Hrajú rozhodujúcu úlohu vo vysokoteplotných prostrediach, odolnosti proti korózii, elektronike, energetike, chemickom inžinierstve, leteckom a kozmickom priemysle a polovodičovom priemysle a poskytujú základnú podporu pre pokroky a inovácie v týchto sektoroch.
Kľúčové vlastnosti
● Možnosti mimoriadne vysokej čistoty s úrovňami nečistôt pod 5 ppm pre kritické polovodičové procesy.
● Vynikajúca stabilita pri vysokých teplotách a odolnosť voči teplotným šokom vhodná pre rast kryštálov PVT SiC a vákuové pece.
● Rôzne formy materiálov: izostatický grafit, porézny grafit, silikonizovaný grafit, PyC povlak, sklenený uhlíkový povlak a flexibilné grafitové dosky.
● Vynikajúca odolnosť proti korózii, odolnosť proti opotrebovaniu a riadená pórovitosť pre aplikácie plynového hospodárstva a tepelného poľa.
● Vlastné obrábanie a možnosti povrchovej úpravy (SiC / TaC / PyC) umožňujúce komplexné riešenia na mieru.
● Kompatibilné s hlavnými platformami pre polovodičové a kryštálové zariadenia.
Špecifikácie produktu
| Parameter povlaku pyrolytického uhlíka ( PyC ). |
| Položka |
Jednotka |
hodnotu |
| Kryštálová štruktúra |
-
|
Šesťhranné |
| Zarovnanie |
-
|
Orientované alebo neorientované v smere 001 |
| Objemová hustota |
g/cm³ |
~2.24 |
| Mikroštruktúra |
-
|
Polykryštalický/Viacvrstvový grafén |
| Tvrdosť |
GPa |
1.1
|
| Modul pružnosti |
GPa |
10
|
| Typická hrúbka |
μm |
30-100 |
| Drsnosť povrchu |
μm |
1.5
|
| Čistota produktu |
ppm |
≤ 5 ppm |
Aplikácie
Na uspokojenie rôznorodých potrieb polovodičových a vysokoteplotných procesov ponúka VeTek cielené špeciálne grafitové produkty. Nasledujúca tabuľka ich klasifikuje podľa hlavných oblastí použitia, pričom uvádza typické materiály/komponenty a použiteľné procesy:
| Pole aplikácie |
Typické materiály / produkty |
Popis aplikácie |
| Rast kryštálov SiC (PVT) |
Porézny grafit, PyC potiahnutý grafitový krúžok, izostatický grafitový téglik, vodiaci krúžok
|
Používa sa v tepelných poliach rastu kryštálov PVT SiC; poskytuje riadený transport pár, vysokú čistotu a tepelnú stabilitu až do >2200°C, čím znižuje kontamináciu časticami. |
| Polovodičová epitaxia / MOCVD |
ohrievače, Časti potiahnuté PyC / skleneným uhlíkom
|
Vysoko čisté komponenty tepelného poľa pre Si/SiC/GaN epitaxné a MOCVD systémy; vynikajúca rovnomernosť teploty a chemická inertnosť. |
| Vysokoteplotné pece a vákuum |
Grafitové ohrievače, Trojlístkový grafitový téglik
|
Materiály odolné voči korózii a tepelne stabilné pre vákuové pece, ohrievače horúcej zóny a zariadenia na spracovanie pri vysokých teplotách. |
| Tepelný manažment |
Grafitová plsť vysokej čistoty, Grafitový papier
|
Flexibilné dosky s vysokou tepelnou/elektrickou vodivosťou pre chladiče, materiály tepelného rozhrania a elektrickú izoláciu v polovodičových zariadeniach (nečistoty <5 ppm). |
| Ochrana proti korózii/opotrebeniu |
Sklenený uhlíkový povlak, silikonizovaný grafit |
Povrchové nátery a sypké materiály ponúkajúce vynikajúcu odolnosť proti korózii, odolnosť proti opotrebovaniu a elektrickú vodivosť pre pištole s E-lúčom a drsné prostredia. |
| Separácia a adsorpcia plynu |
Porézny grafit
|
Mikro/mezopórová štruktúra s veľkým špecifickým povrchom na separáciu plynov, filtráciu a aplikácie s kontrolovanou atmosférou. |
Podrobnejšie riešenia párovania produktov a procesov nájdete na stránkach súvisiacich podkategórií:Porézny grafit, Izotropný grafit, Pyrolytický uhlíkový povlakatď.
Ako profesionálny výrobca a dodávateľ špeciálneho grafitu v Číne máme vlastnú továreň. Či už potrebujete prispôsobené služby, ktoré spĺňajú špecifické potreby vášho regiónu, alebo si chcete kúpiť moderný a odolný špeciálny grafit vyrobený v Číne, môžetezanechajte nám správu.
