Oxidácia a difúzna pec

● Vysoká teplota odpor (do 1600 ℃)

● Vynikajúca tepelná vodivosť a tepelná stabilita

● Dobrá chemická odolnosť proti korózii

● Nízky koeficient tepelnej expanzie

● Vysoká pevnosť a tvrdosť

● Dlhá životnosť

V oxidačných a difúznych peciach, v dôsledku prítomnosti vysokých teploty a korozívnych plynov, veľa komponentov vyžaduje použitie materiálov s vysokou teplotou a koróziou, medzi ktorými je karbid kremíka (SIC), bežne používanou voľbou. Nasledujú bežné komponenty karbidu kremíka nachádzajúce sa v oxidačných peciach a difúznych peciach:

● Oáľka

Loď za kremíkové karbidové oblátky je kontajner, ktorý sa používa na prepravu kremíkových doštičiek, ktoré vydržia vysoké teploty a nebudú reagovať so kremíkovými doštičkami.

● Pecká trubica

Pecká trubica je jadrom zložkou difúznej pece, ktorá sa používa na prispôsobenie kremíkových doštičiek a na reguláciu reakčného prostredia. Silikónové karbidové pece rúrky majú vynikajúci výkon vysokej teploty a odolnosti proti korózii.

● Odvodňovacia doska

Používa sa na reguláciu distribúcie prúdu vzduchu a teploty vo vnútri pece

● Termočlánky

Používa sa na ochranu termočlánkov merania teploty pred priamym kontaktom s korozívnymi plynmi.

● Konzolové pádlo

Kremíkové konzolové konzolové lopatky sú odolné voči vysokej teplote a korózii a používajú sa na prepravu kremíkových člnov alebo kremenných lodí, ktoré prenášajú kremíkové doštičky do skúmaviek difúznej pece.

● Injektor plynu

Používa sa na zavedenie reakčného plynu do pece, musí byť odolný voči vysokej teplote a korózii.

● Nosič lodí

Nosič doštičiek kremíka kremíka sa používa na fixovanie a podporu kremíkových doštičiek, ktoré majú výhody, ako je vysoká pevnosť, odolnosť proti korózii a dobrá štrukturálna stabilita.

● Dvere pece

Na vnútornej strane dverí pece sa môžu použiť aj kremíkové karbidové povlaky alebo komponenty.

● Vykurovací prvok

Vykurovacie prvky kremíkového karbidu sú vhodné pre vysoké teploty, vysoký výkon a môžu rýchlo zvýšiť teploty na viac ako 1 000 ℃.

● SIC vložka

Používa sa na ochranu vnútornej steny skúmaviek pecí, môže pomôcť znížiť stratu tepelnej energie a odolávať tvrdým prostrediam, ako je vysoký teplota a vysoký tlak.