Oxidačná a difúzna pec

Oxidačné a difúzne pece sa používajú v rôznych oblastiach, ako sú polovodičové zariadenia, diskrétne zariadenia, optoelektronické zariadenia, výkonové elektronické zariadenia, solárne články a výroba integrovaných obvodov vo veľkom meradle. Používajú sa na procesy vrátane difúzie, oxidácie, žíhania, legovania a spekania plátkov.

VeTek Semiconductor je popredný výrobca špecializujúci sa na výrobu vysoko čistých komponentov z grafitu, karbidu kremíka a kremeňa v oxidačných a difúznych peciach. Zaviazali sme sa poskytovať vysokokvalitné komponenty pecí pre polovodičový a fotovoltaický priemysel a sme v popredí technológie povrchových náterov, ako sú CVD-SiC, CVD-TaC, pyrokarbón atď.

Výhody komponentov z karbidu kremíka VeTek Semiconductor:

Vysoká teplotná odolnosť (až 1600 ℃)

Vynikajúca tepelná vodivosť a tepelná stabilita

Dobrá chemická odolnosť proti korózii

Nízky koeficient tepelnej rozťažnosti

Vysoká pevnosť a tvrdosť

Dlhá životnosť

V oxidačných a difúznych peciach v dôsledku prítomnosti vysokoteplotných a korozívnych plynov mnohé komponenty vyžadujú použitie materiálov odolných voči vysokej teplote a korózii, medzi ktorými je bežne používaný karbid kremíka (SiC). Nasledujú bežné zložky karbidu kremíka, ktoré sa nachádzajú v oxidačných peciach a difúznych peciach:

Oblátkový čln

Loď na doštičky z karbidu kremíka je nádoba používaná na prepravu kremíkových doštičiek, ktoré znesú vysoké teploty a nereagujú s kremíkovými doskami.

Rúrka pece

Rúrka pece je základnou súčasťou difúznej pece, ktorá sa používa na umiestnenie kremíkových plátkov a riadenie reakčného prostredia. Rúry pece z karbidu kremíka majú vynikajúcu odolnosť voči vysokej teplote a korózii.

Odrazová doska

Používa sa na reguláciu prúdenia vzduchu a rozloženia teploty vo vnútri pece

Ochranná trubica termočlánku

Používa sa na ochranu termočlánkov na meranie teploty pred priamym kontaktom s korozívnymi plynmi.

Konzolové pádlo

Konzolové lopatky z karbidu kremíka sú odolné voči vysokej teplote a korózii a používajú sa na prepravu kremíkových člnov alebo kremenných člnov nesúcich kremíkové doštičky do rúrok difúznej pece.

Plynový vstrekovač

Používa sa na zavádzanie reakčného plynu do pece, musí byť odolný voči vysokej teplote a korózii.

Lodný nosič

Lodný nosič z karbidu kremíka sa používa na upevnenie a podopretie kremíkových plátkov, ktoré majú výhody, ako je vysoká pevnosť, odolnosť proti korózii a dobrá štrukturálna stabilita.

Dvere pece

Povlaky alebo komponenty z karbidu kremíka sa môžu použiť aj na vnútornej strane dvierok pece.

Vyhrievacie teleso

Vyhrievacie prvky z karbidu kremíka sú vhodné pre vysoké teploty, vysoký výkon a môžu rýchlo zvýšiť teplotu nad 1000 ℃.

SiC vložka

Používa sa na ochranu vnútornej steny rúrok pece, môže pomôcť znížiť straty tepelnej energie a vydržať drsné prostredie, ako je vysoká teplota a vysoký tlak.