Produkty

Keramika z karbidu kremíka

VeTek Semiconductor je váš inovatívny partner v oblasti spracovania polovodičov. Vďaka nášmu rozsiahlemu portfóliu kombinácií materiálov polovodičovej keramiky z karbidu kremíka, možnostiam výroby komponentov a službám aplikačného inžinierstva vám môžeme pomôcť prekonať významné výzvy. Technická keramika z karbidu kremíka je široko používaná v polovodičovom priemysle vďaka ich výnimočnému materiálovému výkonu. Ultra čistá keramika z karbidu kremíka od VeTek Semiconductor sa často používa počas celého cyklu výroby a spracovania polovodičov.


DIFÚZIA A SPRACOVANIE LPCVD

VeTek Semiconductor poskytuje skonštruované keramické komponenty špeciálne navrhnuté pre dávkovú difúziu a požiadavky LPCVD vrátane:

• Usmerňovače a držiaky
• Injektory
• Vložky a procesné rúrky
• Konzolové pádla z karbidu kremíka
• Oblátkové člny a podstavce


KOMPONENTY ETCH PROCESU

Minimalizujte kontamináciu a neplánovanú údržbu s vysoko čistými komponentmi navrhnutými pre náročné spracovanie plazmového leptania, vrátane:

Zaostrovacie krúžky

Trysky

Štíty

Sprchové hlavice

Okná / veká

Ďalšie vlastné komponenty


RÝCHLE TEPELNÉ SPRACOVANIE A KOMPONENTY EPITAXIÁLNEHO PROCESU

VeTek Semiconductor poskytuje pokročilé materiálové komponenty prispôsobené pre aplikácie vysokoteplotného tepelného spracovania v polovodičovom priemysle. Tieto aplikácie zahŕňajú RTP, Epi procesy, difúziu, oxidáciu a žíhanie. Naša technická keramika je navrhnutá tak, aby odolávala teplotným šokom a poskytovala spoľahlivý a konzistentný výkon. S komponentmi VeTek Semiconductor môžu výrobcovia polovodičov dosiahnuť efektívne a vysokokvalitné tepelné spracovanie, čo prispieva k celkovému úspechu výroby polovodičov.

• Difúzory

• Izolátory

• Susceptory

• Ďalšie vlastné tepelné komponenty


Fyzikálne vlastnosti rekryštalizovaného karbidu kremíka
Nehnuteľnosť Typická hodnota
Pracovná teplota (°C) 1600 °C (s kyslíkom), 1700 °C (redukčné prostredie)
obsah SiC / SiC > 99,96 %
Obsah Si / Voľný Si < 0,1 %
Objemová hmotnosť 2,60-2,70 g/cm3
Zjavná pórovitosť < 16 %
Pevnosť v tlaku > 600 MPa
Pevnosť v ohybe za studena 80-90 MPa (20 °C)
Pevnosť v ohybe za tepla 90-100 MPa (1400 °C)
Tepelná rozťažnosť pri 1500°C 4,70 ± 10-6/°C
Tepelná vodivosť pri 1200°C 23  W/m•K
Modul pružnosti 240 GPa
Odolnosť voči tepelným šokom Mimoriadne dobré


View as  
 
Membrána SIC

Membrána SIC

Veteksemicon SIC Ceramics Membrány sú typom anorganickej membrány a patria do tuhých membránových materiálov v technológii separácie membrány. SIC membrány sa prepúšťajú pri teplote nad 2000 ℃. Povrch častíc je hladký a okrúhly. V podpornej vrstve a každej vrstve nie sú žiadne uzavreté póry ani kanály. Zvyčajne sa skladajú z troch vrstiev s rôznymi veľkosťami pórov.
Pórovitá keramická doska SIC

Pórovitá keramická doska SIC

Naše pórovité keramické doštičky SIC sú porézne keramické materiály vyrobené zo kremíkového karbidu ako hlavnej zložky a spracované špeciálnymi procesmi. Sú to nevyhnutné materiály v polovodičovej výrobe, chemickom ukladaní pary (CVD) a ďalších procesoch.
SIC Ceramics Wafer Boat

SIC Ceramics Wafer Boat

Vetek Semiconductor je popredný dodávateľ lodí SIC Ceramics Wafer, výrobca a továreň v Číne. Naša čln s keramikou SIC je životne dôležitou súčasťou pokročilých procesov manipulácie s oblátkami, ktoré sa zaoberajú fotovoltaickými, elektronickými a polovodičovými priemyselmi. Tešíme sa na vašu konzultáciu.
Kremíková karbidová keramická doštička

Kremíková karbidová keramická doštička

Spoločnosť Vetek Semiconductor sa špecializuje na poskytovanie vysokokvalitných oblátok, podstavcov a nosičov na mieru vo vertikálnom/stĺpcovom a horizontálnych konfiguráciách, aby sa splnili rôzne požiadavky na polovodičový proces. Ako popredný výrobca a dodávateľ filmov o kremíkových karbidoch kremíka naša keramická keramická čln s kremíkom uprednostňujú európske a americké trhy pre svoju vysokú nákladovú efektívnosť a vynikajúcu kvalitu a široko sa používajú v vyspelých výrobných procesoch výroby polovodičov. Vetek Semiconductor sa zaväzuje nadviazať dlhodobé a stabilné spolupráce s globálnymi zákazníkmi a najmä dúfa, že sa stane vašim spoľahlivým partnerom v polovodičovom procese v Číne.
Konzolové pádlo z karbidu kremíka (SiC).

Konzolové pádlo z karbidu kremíka (SiC).

Úlohou konzolového pádla z karbidu kremíka (SiC) v polovodičovom priemysle je podporovať a prepravovať doštičky. Pri vysokoteplotných procesoch, ako je difúzia a oxidácia, môže konzolová lopatka SiC stabilne niesť plátkové člny a plátky bez deformácie alebo poškodenia v dôsledku vysokej teploty, čo zaisťuje hladký priebeh procesu. Zjednotenie difúzie, oxidácie a iných procesov je rozhodujúce pre zlepšenie konzistencie a výťažku spracovania oblátok. VeTek Semiconductor využíva pokročilú technológiu na zostavenie konzolovej lopatky SiC s vysoko čistým karbidom kremíka, aby sa zabezpečilo, že doštičky nebudú kontaminované. VeTek Semiconductor sa teší na dlhodobú spoluprácu s vami na produktoch Cantilever Paddle z karbidu kremíka (SiC).
Kremeň

Kremeň

Vetek Semiconductor je popredný kremeňový tradičný dodávateľ a výrobca v Číne. Krulíky, ktoré vyrábame, sa používajú hlavne v polovodičových a fotovoltaických poliach. Majú vlastnosti čistoty a vysokej teploty odporu. A náš kremeňový téglik pre polovodičovú podporu podporuje výrobné procesy ťahania kremíkovej tyče, nakladania a vykladania surovín polysilikónov v procese výroby polovodičových kremíkových kremíkových kremíkových kremíkov a sú kľúčovými spotrebnými výrobkami pre výrobu kremíkových doštičiek. Vetek Semiconductor sa teší na to, že sa stanete vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Ako profesionál Keramika z karbidu kremíka výrobca a dodávateľ v Číne máme vlastnú továreň. Či už potrebujete prispôsobené služby, ktoré vyhovujú konkrétnym potrebám vášho regiónu alebo chcete kúpiť pokročilé a odolné Keramika z karbidu kremíka v Číne, môžete nám nechať správu.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept