Webové menu

Vyhľadávanie produktov

Jazyk

Produkty

Keramika z karbidu kremíka

VeTek Semiconductor je váš inovatívny partner v oblasti spracovania polovodičov. Vďaka nášmu rozsiahlemu portfóliu kombinácií materiálov polovodičovej keramiky z karbidu kremíka, možnostiam výroby komponentov a službám aplikačného inžinierstva vám môžeme pomôcť prekonať významné výzvy. Technická keramika z karbidu kremíka je široko používaná v polovodičovom priemysle vďaka ich výnimočnému materiálovému výkonu. Ultra čistá keramika z karbidu kremíka od VeTek Semiconductor sa často používa počas celého cyklu výroby a spracovania polovodičov.


DIFÚZIA A SPRACOVANIE LPCVD

VeTek Semiconductor poskytuje skonštruované keramické komponenty špeciálne navrhnuté pre dávkovú difúziu a požiadavky LPCVD vrátane:

• Usmerňovače a držiaky
• Injektory
• Vložky a procesné rúrky
• Konzolové pádla z karbidu kremíka
• Oblátkové člny a podstavce


KOMPONENTY ETCH PROCESU

Minimalizujte kontamináciu a neplánovanú údržbu s vysoko čistými komponentmi navrhnutými pre náročné spracovanie plazmového leptania, vrátane:

Zaostrovacie krúžky

Trysky

Štíty

Sprchové hlavice

Okná / veká

Ďalšie vlastné komponenty


RÝCHLE TEPELNÉ SPRACOVANIE A KOMPONENTY EPITAXIÁLNEHO PROCESU

VeTek Semiconductor poskytuje pokročilé materiálové komponenty prispôsobené pre aplikácie vysokoteplotného tepelného spracovania v polovodičovom priemysle. Tieto aplikácie zahŕňajú RTP, Epi procesy, difúziu, oxidáciu a žíhanie. Naša technická keramika je navrhnutá tak, aby odolávala teplotným šokom a poskytovala spoľahlivý a konzistentný výkon. S komponentmi VeTek Semiconductor môžu výrobcovia polovodičov dosiahnuť efektívne a vysokokvalitné tepelné spracovanie, čo prispieva k celkovému úspechu výroby polovodičov.

• Difúzory

• Izolátory

• Susceptory

• Ďalšie vlastné tepelné komponenty


Fyzikálne vlastnosti rekryštalizovaného karbidu kremíka
Nehnuteľnosť Typická hodnota
Pracovná teplota (°C) 1600 °C (s kyslíkom), 1700 °C (redukčné prostredie)
obsah SiC / SiC > 99,96 %
Obsah Si / Voľný Si < 0,1 %
Objemová hmotnosť 2,60-2,70 g/cm3
Zjavná pórovitosť < 16 %
Pevnosť v tlaku > 600 MPa
Pevnosť v ohybe za studena 80-90 MPa (20 °C)
Pevnosť v ohybe za tepla 90-100 MPa (1400 °C)
Tepelná rozťažnosť pri 1500°C 4,70 ± 10-6/°C
Tepelná vodivosť pri 1200°C 23  W/m•K
Modul pružnosti 240 GPa
Odolnosť voči tepelným šokom Mimoriadne dobré


View as  
 
Kremíkový karbidový ruk

Kremíkový karbidový ruk

Naše robotické rameno kremíka (SIC) (SIC) je určené pre vysoko výkonnú manipuláciu s oblátkami vo výrobe pokročilých polovodičov. Toto robotické rameno, ktoré je vyrobené z karbidu kremíka s vysokou čistotou Jeho výnimočná mechanická pevnosť a rozmerová stabilita umožňujú presnú manipuláciu s oblátkami a zároveň minimalizovať riziká kontaminácie, čo z nej robí ideálnu voľbu pre MOCVD, epitaxiu, implantáciu iónov a ďalšie aplikácie zaobchádzania s kritickými oblátkami. Vítame vaše otázky.
Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>
Kremíková karbidová oblátková loď

Kremíková karbidová oblátková loď

Vetsemicon SIC Wafer Boats sa široko používajú v kritických vysokoteplotných procesoch vo výrobe polovodičov a slúžia ako spoľahlivé nosiče pre procesy oxidácie, difúzie a žíhania pre integrované obvody založené na kremíku. Vynikajú tiež v polovodičovom sektore tretej generácie, ktoré sú dokonale vhodné pre náročné procesy, ako je epitaxiálny rast (EPI) a depozícia chemickej pary-organickej kovu (MOCVD) pre výkonové zariadenia SIC a GAN. Podporujú tiež vysokoteplotnú výrobu vysokoúčinných solárnych článkov vo fotovoltaickom priemysle. Tešíme sa na vašu ďalšiu konzultáciu.
Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>
Konzolové pádla

Konzolové pádla

Konzolové pádla Vetemicon SIC sú vysokokvalitné podporné ramená kremíkových karbidov navrhnuté na manipuláciu s oblátkami v horizontálnych difúznych peciach a epitaxiálnych reaktoroch. S výnimočnou tepelnou vodivosťou, odolnosťou proti korózii a mechanickej pevnosti tieto pádla zaisťuje stabilitu a čistotu v náročných polovodičových prostrediach. Dostupné vo vlastných veľkostiach a optimalizované pre dlhú životnosť.
Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>
SIC blok

SIC blok

Blok SIC Vetemicon je navrhnutý pre vysokoúčinné brúsenie a riedenie kremíkových a zafírových doštičiek. S vynikajúcou tepelnou vodivosťou (≥120 w/m · k), vysokým odporom tepelného šoku a vynikajúcou odolnosťou proti opotrebeniu (MOH ≥9), naše bloky zlepšujú stabilitu procesu a znižujú frekvenciu zmeny nástroja. K dispozícii vo veľkostiach od 120 mm do 480 mm, s prispôsobenými možnosťami a rýchlym dodávaním, ktoré vyhovujú rôznym výrobným potrebám.
Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>
Membrána SIC

Membrána SIC

Veteksemicon SIC Ceramics Membrány sú typom anorganickej membrány a patria do tuhých membránových materiálov v technológii separácie membrány. SIC membrány sa prepúšťajú pri teplote nad 2000 ℃. Povrch častíc je hladký a okrúhly. V podpornej vrstve a každej vrstve nie sú žiadne uzavreté póry ani kanály. Zvyčajne sa skladajú z troch vrstiev s rôznymi veľkosťami pórov.
Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>
Pórovitá keramická doska SIC

Pórovitá keramická doska SIC

Naše pórovité keramické doštičky SIC sú porézne keramické materiály vyrobené zo kremíkového karbidu ako hlavnej zložky a spracované špeciálnymi procesmi. Sú to nevyhnutné materiály v polovodičovej výrobe, chemickom ukladaní pary (CVD) a ďalších procesoch.
Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>
Ako profesionál Keramika z karbidu kremíka výrobca a dodávateľ v Číne máme vlastnú továreň. Či už potrebujete prispôsobené služby, ktoré vyhovujú konkrétnym potrebám vášho regiónu alebo chcete kúpiť pokročilé a odolné Keramika z karbidu kremíka v Číne, môžete nám nechať správu.
Odporúčania noviniek
Aký je rozdiel medzi CVD TAC a Sintered TAC?
Aký je rozdiel medzi CVD TAC a Sintered TAC?Vidieť viac >>
Technológia epitaxie s nízkou teplotou GAN
Technológia epitaxie s nízkou teplotou GANVidieť viac >>
Dodávatelia najlepších 3 kremenných materiálov na svete
Dodávatelia najlepších 3 kremenných materiálov na sveteVidieť viac >>
Roll Up! Dvaja hlavní výrobcovia sa chystajú hromadne vyrábať 8-palcový karbid kremíka
Roll Up! Dvaja hlavní výrobcovia sa chystajú hromadne vyrábať 8-palcový karbid kremíkaVidieť viac >>
Ako povlaky SIC zlepšujú oxidačnú odolnosť uhlíka？
Ako povlaky SIC zlepšujú oxidačnú odolnosť uhlíka？Vidieť viac >>
Vitajte zákazníkov, ktorí navštívia továreň na továreň na náter spoločnosti VeteKemicon SIC/ TAC Coating a Epitaxy Process Factory
Vitajte zákazníkov, ktorí navštívia továreň na továreň na náter spoločnosti VeteKemicon SIC/ TAC Coating a Epitaxy Process FactoryVidieť viac >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept