Aké materiály sa používajú v polovodičových keramických komponentoch?

Hliníková keramika (al₂o₃) ‌

Alumina Ceramics je „pracovným koňom“ pre výrobné keramické komponenty. Vykazujú vynikajúce mechanické vlastnosti, ultra vysoké body topenia a tvrdosť, odolnosť proti korózii, silnú chemickú stabilitu, vysoký odpor a vynikajúca elektrická izolácia. Bežne sa používajú na výrobu leštiacich dosiek, vákuových skríň, keramických ramien a podobných častí.

‌ALUMINUM NIRIDE Ceramics (ALN)

Keramika nitridu hliníka obsahuje vysokú tepelnú vodivosť, koeficient tepelnej expanzie zodpovedajúcej kremíku a nízku dielektrickú konštantu a stratu. S výhodami, ako je vysoký bod topenia, tvrdosť, tepelná vodivosť a izolácia, sa používajú primárne v substrátoch rozkladu tepla, keramických dýz a elektrostatických skľučov.

‌Yttria keramika (y₂o₃)

Keramika YTTRIA sa môže pochváliť vysokým bodom topenia, vynikajúcou chemickou a fotochemickou stabilitou, nízkou fonónovou energiou, vysokou tepelnou vodivosťou a dobrou priehľadnosťou. V polovodičovom priemysle sa často kombinujú s keramikou aluminy - napríklad sa na výrobu keramických okien aplikujú povlaky YTRIA na keramiku aluminy.

‌Silikónová nitridná keramika (si₃n₄) ‌

Keramika nitridu kremíka sa vyznačuje vysokým bodom topenia, výnimočnou tvrdosťou, chemickou stabilitou, nízkym koeficientom tepelnej expanzie, vysokou tepelnou vodivosťou a silnou odolnosťou proti tepelnému šoku. Udržiavajú vynikajúci odpor nárazu a pevnosť pod 1200 ° C, vďaka čomu sú ideálne pre keramické substráty, háčiky s nosným, polohovacie kolíky a keramické trubice.

‌Silikon karbid keramika (sic) ‌

Keramika kremíka, pripomínajúci diamant vo vlastnostiach, sú ľahké, ultra tvrdé a vysoko pevné materiály. S výnimočným komplexným výkonom, odolnosťou proti opotrebeniu a odolnosti proti korózii sa bežne používajú v sedadlách ventilu, posuvných ložísk, horákoch, dýz a výmenníkoch tepla.

‌Zirconia Ceramics (zro₂) ‌

Keramika zirkónia ponúka vysokú mechanickú pevnosť, tepelnú odolnosť, odolnosť proti kyseline/alkali a vynikajúcu izoláciu. Na základe obsahu zirkónov sú rozdelené do:

• Presná keramika‌ (obsah presahujúci 99,9%, používaný pre integrované obvodové substráty a vysokofrekvenčné izolačné materiály).
• Bežná keramika‌ (pre všeobecné výrobky na keramické výrobky).

Štrukturálne charakteristikyPolovodičová keramika Komponenty

‌Ense keramika‌

Hustá keramika sa široko používa v polovodičovom priemysle. Dosahujú hustotu minimalizovaním pórov a sú pripravené metódami, ako je reakčné spekanie, beztlakové spekanie, spekanie tekutej fázy, lisovanie horúceho a horúce izostatické lisovanie.

‌Porózna keramika

Na rozdiel od hustej keramiky obsahuje porézna keramika kontrolovaný objem dutín. Sú klasifikované podľa veľkosti pórov do mikroporéznych, mezoporéznych a makroporéznych keramiky. S nízkou objemovou hustotou, ľahkou štruktúrou, veľkou špecifickou povrchovou plochou, efektívnou filtráciou/tepelnou izoláciou/akustickými tlmením a stabilným chemickým/fyzickým výkonom sa používajú na výrobu rôznych komponentov v polovodičových zariadeniach.