Použitie pevného karbidu kremíka

Solid Silikon Carbid SIC je pokročilý keramický materiál zložený zo kremíka (SI) a uhlíka (C). Nie je to látka, ktorá sa často vyskytuje v prírode a zvyčajne si vyžaduje syntézu s vysokou teplotou. Vďaka svojej jedinečnej kombinácii fyzikálnych a chemických vlastností z neho robí kľúčový materiál, ktorý funguje dobre v extrémnych prostrediach, najmä pri výrobe polovodičov.

Ⅰ. Kľúčové fyzikálne vlastnosti tuhého karbidu kremíka (pevné sic)

▶ Odolnosť voči vysokej tvrdosti a opotrebeniu:

SIC má MOHS tvrdosť asi 9-9,5, druhý iba od Diamond. To mu dáva vynikajúcu odolnosť proti poškriabaniu a opotrebeniu a funguje dobre v prostrediach, ktoré musia odolať mechanickému napätiu alebo erózii častíc.

▶ Vynikajúca pevnosť a stabilita s vysokou teplotou

1. SIC môže udržiavať svoju mechanickú pevnosť a štrukturálnu integritu pri extrémne vysokých teplotách (pracujúcich pri teplotách do 1600 ° C alebo dokonca vyššie, v závislosti od typu a čistoty).

2. Jeho nízky koeficient tepelnej expanzie znamená, že má dobrú rozmerovú stabilitu a nie je náchylný na deformáciu alebo praskanie, keď sa teplota drasticky zmení.

▶ Vysoká tepelná vodivosť:

Na rozdiel od mnohých iných keramických materiálov má SIC relatívne vysokú tepelnú vodivosť. To mu umožňuje efektívne vykonávať a rozptyľovať teplo, čo je rozhodujúce pre aplikácie, ktoré vyžadujú presnú reguláciu teploty a jednotnosť.

Vynikajúca chemická inerte a odolnosť proti korózii:

SIC vykazuje mimoriadne silnú rezistenciu voči najsilnejším kyselinám, silným základom a korozívnym plynom, ktoré sa bežne používajú v polovodičových procesoch (ako sú plyny na báze fluóru a chlóru v plazmatickom prostredí), a to aj pri vysokých teplotách. To je rozhodujúce pre zabránenie korodovanej alebo kontaminovanej procesnej komory.

▶ Potenciál pre vysokú čistotu:

Extrémne vysoká čistota SIC povlaky alebo tuhé časti SIC sa môžu vyrábať prostredníctvom špecifických výrobných procesov (ako je chemická depozícia pary - CVD). Pri výrobe polovodičov ovplyvňuje čistota materiálu priamo úroveň kontaminácie doštičky a výťažok konečného produktu.

▶ Vysoká tuhosť (Youngov modul):

SIC má modul vysokého Younga, čo znamená, že je veľmi ťažké a nie je ľahké sa deformovať pri zaťažení. To je veľmi dôležité pre komponenty, ktoré si musia udržiavať presný tvar a veľkosť (napríklad nosiče oblátky).

▶ laditeľné elektrické vlastnosti:

Aj keď sa často používa ako izolátor alebo polovodič (v závislosti od jeho kryštálovej formy a dopingu), jeho vysoký odpor pomáha riadiť správanie v plazme alebo zabrániť zbytočnému výtoku oblúka v niektorých aplikáciách komponentov.

Ⅱ. Špecifické aplikácie a výhody solídneho karbidu kremíka (Solid SIC) hotových výrobkov vo výrobe polovodičov

Na základe vyššie uvedených fyzikálnych vlastností sa Solid SIC vyrába do rôznych presných komponentov a široko sa používa vo viacerých kľúčových väzbách polovodičových front-end procesov.

1) Pevné nosič SIC Wafer (Solid SIC Wafer Worl / loď):

Aplikácia:

Používa sa na prenášanie a prenos kremíkových doštičiek vo vysokoteplotných procesoch (ako je difúzia, oxidácia, LPCVD-nízkotlaková chemická depozícia chemickej pary).

Analýza výhod:

1. Stabilita s vysokou teplotou: Pri procesných teplotách presahujúcich 1000 ° C nosiče SIC nezmäknú, deformujú alebo klesajú tak ľahko ako kremeň a môžu presne udržiavať rozstup doštičiek, aby sa zabezpečila rovnomernosť procesu.

2. Dlhá životnosť a nízka tvorba častíc: Tvrdosť SIC a odolnosť opotrebenia ďaleko presahujú kremeň a nie je ľahké produkovať malé častice na kontaminovanie doštičiek. Jeho životnosť je zvyčajne niekoľkokrát alebo dokonca desiatky násobku likvidátorov kremenných dopravcov, čím sa znižuje náklady na výmenu a náklady na údržbu.

3. Chemická inerta: Môže odolať chemickej erózii v procesnej atmosfére a znížiť kontamináciu oblátky spôsobenej zrážaním svojich vlastných materiálov.

4. Tepelná vodivosť: Dobrá tepelná vodivosť pomáha dosiahnuť rýchle a rovnomerné zahrievanie a chladenie nosičov a doštičiek, zlepšuje účinnosť procesu a rovnomernosť teploty.

5. Vysoká čistota: Vysoké čistoty SIC nosičov môžu byť vyrobené tak, aby splnili prísne požiadavky na pokročilé uzly na kontrolu nečistôt.

Hodnota používateľa:

Zlepšiť stabilitu procesu, zvýšiť výnos produktu, znížiť prestoje spôsobené zlyhaním alebo kontamináciou komponentov a z dlhodobého hľadiska znížte celkové náklady na vlastníctvo.

2) Pevná sprchová hlava v tvare diskov SIC / plyn:

Aplikácia:

Nainštalované v hornej časti reakčnej komory zariadení, ako je leptanie plazmy, depozícia chemickej pary (CVD), depozícia atómovej vrstvy (ALD) atď., Zodpovedná za rovnomerné rozdelenie procesných plynov na povrch doštičiek nižšie.

Analýza výhod:

1. Plazmatická tolerancia: V vysokoenergetickom, chemicky aktívnom plazmovom prostredí vykazuje sprchová hlava SIC extrémne silnú odolnosť proti bombardovaniu plazmy a chemickej korózii, ktorá je oveľa lepšia ako kremeň alebo hlinit.

2. Uniformita a stabilita: Sprchová hlava SIC s presnosťou dokáže zabezpečiť, aby sa prietok plynu rovnomerne rozložil na celom povrchu oblátky, čo je rozhodujúce pre rovnomernosť hrúbky filmu, uniformity zloženia alebo rýchlosti leptania. Má dobrú dlhodobú stabilitu a nie je ľahké deformovať alebo upchať.

3. Termálne riadenie: Dobrá tepelná vodivosť pomáha udržiavať teplotnú rovnomernosť na povrchu sprchy, čo je rozhodujúce pre mnoho procesov ukladania alebo leptania tepla.

4. Nízka kontaminácia: Vysoká čistota a chemická inercty znižujú kontamináciu vlastných materiálov sprchy na tento proces.

Hodnota používateľa:

Výrazne zlepšujte rovnomernosť a opakovateľnosť výsledkov procesov, predĺžte služobnú životnosť sprchovej hlavy, znížte dobu údržby a problémy s časticami a podporujte pokročilejšie a prísnejšie podmienky procesu.

3) Pevné leptanie SIC zaostrenie kruhu (kruh zaostrenia zaostrenia solídneho SIC):

Aplikácia:

Používa sa hlavne v komore zariadení na leptanie plazmy (ako je kapacitne spojená plazmatická CCP alebo induktívne spojená s plazmatickou icp icp), obvykle umiestnená na okraji nosiča oblátky (skľučovadlo), obklopujúceho doštičku. Jeho funkciou je obmedziť a viesť plazmu tak, aby pôsobila rovnomernejšie na povrchu oblátky a zároveň chránila ďalšie komponenty komory.

Analýza výhod:

1. Silná rezistencia na eróziu plazmy: Toto je najvýznamnejšia výhoda kruhu zaostrného SIC. V extrémne agresívnych leptaní plazmy (ako sú chemikálie obsahujúce fluór alebo chlór) nosí SIC oveľa pomalšie ako kremeň, hlinitého alebo dokonca YTRIA (oxid ytrium) a má mimoriadne dlhú životnosť.

2. Udržiavanie kritických rozmerov: Vysoká tvrdosť a vysoká tuhosť umožňujú zaostrovacie krúžky SIC lepšie udržiavať svoj presný tvar a veľkosť počas dlhých období používania, čo je rozhodujúce pre stabilizáciu morfológie plazmy a na zabezpečenie uniformity leptania.

3. Nízka tvorba častíc: Vzhľadom na odolnosť proti opotrebeniu výrazne znižuje častice generované starnutím komponentov, čím sa zlepšuje výťažok.

4. Vysoká čistota: Vyhnite sa zavedeniu kovu alebo iných nečistôt.

Hodnota používateľa:

Výrazne rozširujte cykly výmeny komponentov, výrazne znížte náklady na údržbu a prestoje zariadenia; zlepšiť stabilitu a opakovateľnosť procesov leptania; Znížte defekty a zlepšíte výnos výroby špičkových čipov.

Ⅲ.Zhrnutie

Karbid z pevného kremíka sa stal jedným z nevyhnutných kľúčových materiálov v modernej výrobe polovodičov v dôsledku svojej jedinečnej kombinácie fyzikálnych vlastností - vysokej tvrdosti, vysokého roztavenia, vysokej tepelnej vodivosti, vynikajúcej chemickej stabilite a odolnosti proti korózii. Či už ide o nosič prepravy doštičiek, sprchová hlava na reguláciu distribúcie plynu alebo zaostrovací kruh pre vedúce plazmy, solídne výrobky SIC pomáhajú výrobcom čipov vyrovnať sa so stále prísnymi procesmi problémov s ich vynikajúcou výkonnosťou a spoľahlivosťou, zlepšiť výrobnú efektívnosť a výnos produktu, a tým podporovať trvalo udržateľný rozvoj celého semiconductorového priemyslu.

Ako popredný výrobca a dodávateľ pevných výrobkov z karbidu kremíka v Číne,Polostvýrobky ako napríkladPevný nosič / čln s oblátkami SIC, Pevná sprchová hlava v tvare diskov v tvare SIC, Pevné leptanie SIC zaostrenie prsteňa / okrajasa všeobecne predávajú v Európe a Spojených štátoch a získali od týchto zákazníkov vysokú chválu a uznanie. Úprimne sa tešíme, že sa staneme vašim dlhodobým partnerom v Číne. Vitajte na konzultácii.

Mob/WhatsApp: +86-180 6922 0752

E -mail: anny@veteksemi.com