Horúca zóna grafitový ohrievač

Graphitové ohrievače Hot Zone vetruktory sú navrhnuté tak, aby zvládli extrémne podmienky nachádzajúce sa vo vysokoteplotných peciach. Ohrievače sú schopné vydržať drsné prostredie, ktoré sa bežne vyskytujú pri spracovaní vysokých teplôt, v závislosti od konkrétnych funkcií produktu uvedené nižšie.

● Jednotné rozdelenie teploty

Ohrievač grafitov horúcej zóny je známy svojimi vynikajúcimi rovnomernými vykurovacími charakteristikami vďaka svojej dokonalej kombinácii vysoko presného výberu materiálov a technológie precízneho spracovania. Takáto rovnomernosť zaisťuje hladké rozdelenie teploty na celom vykurovacom povrchu, čím účinne znižuje nerovnomerné spracovanie oblátok v dôsledku tepelných gradientov, čím sa zlepšuje výnos produktu a konzistentnosť výkonu zariadenia.

● Vynikajúci odolnosť proti korózii

Ohrievač grafitov pre horúcu zónu vykazuje silnú odolnosť voči rôznym korozívnym plynom a chemikáliám, s ktorými sa vyskytuje vo vysoko teplotných výrobných procesoch polovodičov. Prirodzená inertnosť grafitových materiálov umožňuje ohrievača grafitov udržiavať dlhodobú stabilitu v drsných prostrediach, čo výrazne znižuje riziko kontaminácie a rozšírenie životnosti zariadenia.

● Vynikajúci antioxidačný výkon

V porovnaní s tradičnými grafitovými materiálmi má horúca zóna grafitovej ohrievača stále vynikajúcu antioxidačnú schopnosť pri vysokých teplotách. Táto vlastnosť je rozhodujúca pre zabránenie oxidačnému zhoršeniu povrchu povrchu ohrievača počas spracovania vysokej teploty a vyhnúť sa tvorbe kontaminácie častíc v spracovacej komore, čím sa zabezpečuje pokračujúca účinná prevádzka zariadenia.

● Ultra vysoká chemická čistota

Po prísnom spracovaní dosiahol náš grafitový ohrievač extrémne vysokú úroveň chemickej čistoty, čo účinne bránilo zavedeniu škodlivých nečistôt do prostredia spracovania polovodičov. Táto čistota je rozhodujúca pre ochranu integrity presných polovodičových materiálov a výrobných zariadení, ktoré spĺňajú očakávané elektrické a optické vlastnosti.

● Vysoká mechanická pevnosť a stabilita

Grafitové ohrievače Graphitovej zóny spoločnosti Vetemicon má vynikajúcu mechanickú pevnosť a rozmerovú stabilitu, udržiavajúcu štrukturálnu integritu aj za prevádzkových podmienok s vysokou teplotou. Či už čelia častým tepelným cyklom alebo ťažkým mechanickým napätím, ohrievače grafitov pre horúcu zónu si zachovávajú svoju robustnosť a poskytujú pevnú a spoľahlivú podporu pre tvrdé prostredie spracovania polovodičov.

Okrem toho, Veteksemicon ponúka aj rôzne vlastné veľkosti a konfigurácie grafitových ohrievačov, ktoré vyhovujú potrebám rôznych procesov výroby polovodičov. Úprimne dúfame, že budeme vašim dlhodobým partnerom v Číne.