Čo je to PECVD Graphite Boat?

Ⅰ. Aký je materiál PECVD Graphite Boat?

Základný materiálPECVD Graphite Boat(Plazma vylepšená chemická depozičná loď na ukladanie pary) je vyrobená z vysokej bezpečnostiizotropný grafitový materiál(Čistota je zvyčajne ≥ 99,999%) a je modifikovaná špeciálnymi procesmi (ako je chemická depozícia pary CVD alebo povrchový povlak). Vysoko čistý grafit sa široko používa v systémoch PECVD kvôli svojej vynikajúcej elektrickej vodivosti a vysokej tepelnej vodivosti (80 ~ 150 W/m · K). Takgrafitový materiálDokáže udržiavať dobrú štrukturálnu stabilitu a chemickú stabilitu vo vysokoteplotných prostrediach a môže odolávať korózii z reaktívnych plynov a plazmy.

Ⅱ. Aké sú fyzické vlastnosti grafitovej lode?

Fyzikálne vlastnosti PECVD grafitových lodí zahŕňajú:

● Elektrická vodivosť: Isostatický grafit má vynikajúcu elektrickú vodivosť, ktorá jej umožňuje efektívne riadiť elektrickú energiu a podporovať tvorbu a údržbu plazmy počas procesu PECVD.

●  Tepelná vodivosť: Vysoká tepelná vodivosť grafitu (asi 80 ~ 150 W/m · k) pomáha udržiavať stabilné teplotné prostredie počas procesu PECVD a zaisťuje rovnomerné ukladanie tenkých filmov.

●  Hustota: Hustota komerčného polykryštalického grafitu sa pohybuje od 1,30 g/cm3 do 1,88 g/cm³. Čím vyššia je hustota, tým lepšie sú fyzikálne a mechanické vlastnosti, ktoré môžu zlepšiť životnosť produktu.

Ⅲ. Aké sú výhody PECVD Graphitovej lode v porovnaní s bežnou grafitovou loďou?

V porovnaní s bežnými grafitovými loďami majú PECVD grafitové lode tieto výhody:

Ⅳ. Prečo zvoliť PECVD Graphite Boat Veteksemicon?

Ako všetci vieme, VeteKemicon je popredným výrobcom a dodávateľom výrobkov poťahovania polovodičov agrafitv Číne. NášPECVD Graphitové lodesa používajú hlavne v polovodičových a fotovoltaických odvetviach, najmä v procesoch PECVD a CVD.

Grafitové lode sa zvyčajne používajú ako nosiče na prepravu kremíkových doštičiek alebo iných materiálov, aby sa zabezpečila bezpečná manipulácia a preprava týchto materiálov v prostredí s vysokou teplotou a plazmou. Napríklad v procese výroby polovodičov sú PECVD grafitové lode Vetemicon navrhnuté pre procesy ukladania chemických parov vylepšených v plazme. Grafitová loď hrá úlohu ukladania pasivačných vrstiev nitridu kremíka (Sinₓ) a nízkej dielektrickej konštanty (nízko-K) filmov.

Vo fotovoltaickom poli sa na prípravu solárnych článkov na báze kremíka (ako napríklad amorfný kremík A-Si: H) a vrstvy zadnej pasivácie buniek PERC používajú PECVD grafitové lode. PECVD Graphitová loď spoločnosti Vetemicon optimalizuje proces poťahovania účinným rozstupom kremíkových doštičiek a vyvolaním žiara na dosiahnutie rovnomerného ukladania poťahovania.

A čo je dôležitejšie, spoločnosť VeteKemicon môže poskytovať prispôsobené výrobky a technické služby a môže navrhovať a vyrábať výrobky z grafitských lodí s rôznymi špecifikáciami podľa vašich skutočných požiadaviek na proces. Výber Veteksemicon znamená výber lídra v priemysle so silnou silou v polovodičových a fotovoltaických odvetviach. Úprimne sa tešíme, že sa staneme vašim dlhodobým partnerom.