V kritických krokoch čistenia plátku, leptania a mokrého leptania je kremenný kúpeľ s vysokou čistotou viac než len nádoba; je to prvá línia obrany pre úspech procesu. Kontaminácia kovovými iónmi, praskanie tepelným šokom, chemické napadnutie a zvyšky častíc sú skryté príčiny kolísania výnosu. Veteksemi je hlboko zakorenený v polovodičovom kremeni. Každý kremenný kúpeľ, ktorý vyrábame, je navrhnutý tak, aby poskytoval nekompromisnú spoľahlivosť a čistotu pre vaše špičkové procesy.
Aplikácia:Vysoko čisté kremenné kúpele Veteksemi sú jadrové nádoby v polovodičovom mokrom spracovaní, špeciálne navrhnuté tak, aby odolali vysokým teplotám a silným kyselinám. Ich vysoko čistý kremenný materiál úplne eliminuje kontamináciu kovov, odoláva teplotným šokom presahujúcim 1000 °C a odoláva dlhodobej korózii väčšiny kyselín a zásad. Široko sa používajú v procesoch čistenia a leptania pri výrobe čipov, solárnych článkov, LED diód a iných oblastiach a sú základným kameňom na zabezpečenie čistoty procesu a výťažnosti produktu.
Služby, ktoré je možné poskytnúť:analýza scenára zákazníckej aplikácie, párovanie materiálov, riešenie technických problémov.
Profil spoločnosti:Semixlab má 2 laboratóriá, tím odborníkov s 20-ročnými skúsenosťami s materiálmi, s výskumnými a vývojovými a výrobnými, testovacími a overovacími schopnosťami.
Technické parametre
Projekt
Parameter
Materiál
Vysoko čisté syntetické kremenné sklo
Typický rozsah veľkostí
Možno prispôsobiť podľa výkresov zákazníka (Dĺžka: 100 mm - 2000 mm; Šírka: 100 mm - 800 mm; Výška: 100 mm - 600 mm)
Maximálna nepretržitá prevádzková teplota
≤ 1700 °C
Povrchová úprava
Leštenie vnútorného a vonkajšieho povrchu plameňom
Rovnomernosť hrúbky steny
± 0,2 mm
Koeficient tepelnej rozťažnosti
5,5 x 10⁻⁷/K
Bežné aplikácie
Čistiaca nádrž RCA, nádrž na kyselinu HF, nádrž na kyselinu sírovú, nádrž na deionizovanú vodu, ponorná nádrž, nádrž na leptanie atď
Výhody vysoko čistého kremenného jadra Veteksem
Extrémne čistý materiál
Na výrobu vysoko čistého syntetického kremenného skla používame oblúkové tavenie s trvalo vysokým obsahom SiO2 presahujúcim 99,99 %. Hlavná výhoda tohto materiálu spočíva v jeho extrémne nízkych základných hladinách alkalických kovov (ako je draslík a sodík) a ťažkých kovov (ako je železo a meď). To účinne eliminuje povrchové zrážanie a kontamináciu, ktoré sa môžu vyskytnúť vo vysokoteplotných kyslých kúpeľoch, chráni vaše doštičky pred stopovými nečistotami počas kritických krokov čistenia a zaisťuje spoľahlivosť elektrického výkonu vášho zariadenia.
Vynikajúca odolnosť proti tepelným šokom
Vďaka extrémne nízkemu koeficientu tepelnej rozťažnosti syntetického kremenného skla v kombinácii s naším jedinečným procesom postupného žíhania je vnútorné napätie úplne eliminované. To umožňuje vani pokojne odolávať opakovaným a drastickým výkyvom prevádzkovej teploty od izbovej teploty až po 1100 °C, čím sa účinne predchádza praskaniu alebo skrytému poškodeniu spôsobenému náhlym zvýšením tepelného napätia, čím sa výrazne znižuje riziko prerušenia výroby a straty plátku spôsobené náhodným rozbitím vane.
Vnútorná odolnosť proti korózii
Vysoko čistý kremeň vykazuje vynikajúcu chemickú inertnosť voči väčšine silných kyselín (ako je koncentrovaná kyselina sírová, kyselina dusičná, kyselina chlorovodíková a aqua regia) okrem kyseliny fluorovodíkovej a horúcej kyseliny fosforečnej. Zachováva si stabilnú chemickú štruktúru a stav povrchu aj po dlhšom ponorení do vysokoteplotných roztokov kyselín a ponúka oveľa lepšiu odolnosť proti korózii v porovnaní s inými materiálmi. To výrazne predlžuje životnosť produktu a znižuje celkové prevádzkové náklady spojené s častou výmenou.
Precízna povrchová úprava
Všetky vnútorné povrchy, hrany a zvary prechádzajú dôkladným leštením plameňom. Tento proces nielenže eliminuje mikrotrhlinky a ostré hrany, ale vytvára aj hladkú, hustú a chemicky inertnú povrchovú vrstvu. Tento povrch účinne znižuje absorpciu chemických zvyškov a častíc, výrazne uľahčuje rýchle a dôkladné čistenie medzi nádržami a zásadne znižuje riziko krížovej kontaminácie medzi dávkami.
Hlavné oblasti použitia
Smer aplikácie
Typický scenár
Výroba polovodičových čipov
Mokré čistenie a leptanie
Výroba polovodičových kremíkových plátkov
Povrchová úprava
Výroba solárnej fotovoltaiky
Čistenie kyselinovej a alkalickej nádrže
Mikroelektronika a optoelektronika
Výroba LED a optiky
Potvrdenie o overení ekologického reťazca
Ekologické overenie reťazca kremenného kúpeľa Veteksemi s vysokou čistotou pokrýva suroviny na výrobu, prešlo medzinárodnou certifikáciou štandardov a má množstvo patentovaných technológií na zabezpečenie spoľahlivosti a udržateľnosti v oblasti polovodičov a nových energetických odvetví.
Ak chcete získať podrobné technické špecifikácie, biele knihy alebo opatrenia na testovanie vzoriek, kontaktujte náš tím technickej podpory a preskúmajte, ako môže Veteksemi zvýšiť efektivitu vášho procesu.
For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
Súbory cookie používame, aby sme vám poskytli lepší zážitok z prehliadania, analyzovali návštevnosť stránok a prispôsobili obsah. Používaním tejto stránky súhlasíte s naším používaním cookies.Zásady ochrany osobných údajov