Produkty

Keramika z karbidu kremíka

VeTek Semiconductor je váš inovatívny partner v oblasti spracovania polovodičov. Vďaka nášmu rozsiahlemu portfóliu kombinácií materiálov polovodičovej keramiky z karbidu kremíka, možnostiam výroby komponentov a službám aplikačného inžinierstva vám môžeme pomôcť prekonať významné výzvy. Technická keramika z karbidu kremíka je široko používaná v polovodičovom priemysle vďaka ich výnimočnému materiálovému výkonu. Ultra čistá keramika z karbidu kremíka od VeTek Semiconductor sa často používa počas celého cyklu výroby a spracovania polovodičov.


DIFÚZIA A SPRACOVANIE LPCVD

VeTek Semiconductor poskytuje skonštruované keramické komponenty špeciálne navrhnuté pre dávkovú difúziu a požiadavky LPCVD vrátane:

• Usmerňovače a držiaky
• Injektory
• Vložky a procesné rúrky
• Konzolové pádla z karbidu kremíka
• Oblátkové člny a podstavce


KOMPONENTY ETCH PROCESU

Minimalizujte kontamináciu a neplánovanú údržbu s vysoko čistými komponentmi navrhnutými pre náročné spracovanie plazmového leptania, vrátane:

Zaostrovacie krúžky

Trysky

Štíty

Sprchové hlavice

Okná / veká

Ďalšie vlastné komponenty


RÝCHLE TEPELNÉ SPRACOVANIE A KOMPONENTY EPITAXIÁLNEHO PROCESU

VeTek Semiconductor poskytuje pokročilé materiálové komponenty prispôsobené pre aplikácie vysokoteplotného tepelného spracovania v polovodičovom priemysle. Tieto aplikácie zahŕňajú RTP, Epi procesy, difúziu, oxidáciu a žíhanie. Naša technická keramika je navrhnutá tak, aby odolávala teplotným šokom a poskytovala spoľahlivý a konzistentný výkon. S komponentmi VeTek Semiconductor môžu výrobcovia polovodičov dosiahnuť efektívne a vysokokvalitné tepelné spracovanie, čo prispieva k celkovému úspechu výroby polovodičov.

• Difúzory

• Izolátory

• Susceptory

• Ďalšie vlastné tepelné komponenty


Fyzikálne vlastnosti rekryštalizovaného karbidu kremíka
Nehnuteľnosť Typická hodnota
Pracovná teplota (°C) 1600 °C (s kyslíkom), 1700 °C (redukčné prostredie)
obsah SiC / SiC > 99,96 %
Obsah Si / Voľný Si < 0,1 %
Objemová hmotnosť 2,60-2,70 g/cm3
Zjavná pórovitosť < 16 %
Pevnosť v tlaku > 600 MPa
Pevnosť v ohybe za studena 80-90 MPa (20 °C)
Pevnosť v ohybe za tepla 90-100 MPa (1400 °C)
Tepelná rozťažnosť pri 1500°C 4,70 ± 10-6/°C
Tepelná vodivosť pri 1200°C 23  W/m•K
Modul pružnosti 240 GPa
Odolnosť voči tepelným šokom Mimoriadne dobré


View as  
 
Pórovitá keramická doska SIC

Pórovitá keramická doska SIC

Naše pórovité keramické doštičky SIC sú porézne keramické materiály vyrobené zo kremíkového karbidu ako hlavnej zložky a spracované špeciálnymi procesmi. Sú to nevyhnutné materiály v polovodičovej výrobe, chemickom ukladaní pary (CVD) a ďalších procesoch.
SIC Ceramics Wafer Boat

SIC Ceramics Wafer Boat

Vetek Semiconductor je popredný dodávateľ lodí SIC Ceramics Wafer, výrobca a továreň v Číne. Naša čln s keramikou SIC je životne dôležitou súčasťou pokročilých procesov manipulácie s oblátkami, ktoré sa zaoberajú fotovoltaickými, elektronickými a polovodičovými priemyselmi. Tešíme sa na vašu konzultáciu.
Kremíková karbidová keramická doštička

Kremíková karbidová keramická doštička

Spoločnosť Vetek Semiconductor sa špecializuje na poskytovanie vysokokvalitných oblátok, podstavcov a nosičov na mieru vo vertikálnom/stĺpcovom a horizontálnych konfiguráciách, aby sa splnili rôzne požiadavky na polovodičový proces. Ako popredný výrobca a dodávateľ filmov o kremíkových karbidoch kremíka naša keramická keramická čln s kremíkom uprednostňujú európske a americké trhy pre svoju vysokú nákladovú efektívnosť a vynikajúcu kvalitu a široko sa používajú v vyspelých výrobných procesoch výroby polovodičov. Vetek Semiconductor sa zaväzuje nadviazať dlhodobé a stabilné spolupráce s globálnymi zákazníkmi a najmä dúfa, že sa stane vašim spoľahlivým partnerom v polovodičovom procese v Číne.
Konzolové pádlo z karbidu kremíka (SiC).

Konzolové pádlo z karbidu kremíka (SiC).

Úlohou konzolového pádla z karbidu kremíka (SiC) v polovodičovom priemysle je podporovať a prepravovať doštičky. Pri vysokoteplotných procesoch, ako je difúzia a oxidácia, môže konzolová lopatka SiC stabilne niesť plátkové člny a plátky bez deformácie alebo poškodenia v dôsledku vysokej teploty, čo zaisťuje hladký priebeh procesu. Zjednotenie difúzie, oxidácie a iných procesov je rozhodujúce pre zlepšenie konzistencie a výťažku spracovania oblátok. VeTek Semiconductor využíva pokročilú technológiu na zostavenie konzolovej lopatky SiC s vysoko čistým karbidom kremíka, aby sa zabezpečilo, že doštičky nebudú kontaminované. VeTek Semiconductor sa teší na dlhodobú spoluprácu s vami na produktoch Cantilever Paddle z karbidu kremíka (SiC).
Kremeň

Kremeň

Vetek Semiconductor je popredný kremeňový tradičný dodávateľ a výrobca v Číne. Krulíky, ktoré vyrábame, sa používajú hlavne v polovodičových a fotovoltaických poliach. Majú vlastnosti čistoty a vysokej teploty odporu. A náš kremeňový téglik pre polovodičovú podporu podporuje výrobné procesy ťahania kremíkovej tyče, nakladania a vykladania surovín polysilikónov v procese výroby polovodičových kremíkových kremíkových kremíkových kremíkov a sú kľúčovými spotrebnými výrobkami pre výrobu kremíkových doštičiek. Vetek Semiconductor sa teší na to, že sa stanete vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Nosič plátku z karbidu kremíka

Nosič plátku z karbidu kremíka

Ako profesionálny dodávateľ nosičov kremíkových karbidov v Číne je spoločnosť Vetek Semiconductor SIC Wafer Carrier je nástrojom špeciálne používaný na manipuláciu a spracovanie polovodičových doštičiek, ktoré zohrávajú nenahraditeľnú úlohu v procese polovodičových doštičiek. Vitajte na vašej ďalšej konzultácii.
Ako profesionál Keramika z karbidu kremíka výrobca a dodávateľ v Číne máme vlastnú továreň. Či už potrebujete prispôsobené služby, ktoré vyhovujú konkrétnym potrebám vášho regiónu alebo chcete kúpiť pokročilé a odolné Keramika z karbidu kremíka v Číne, môžete nám nechať správu.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept