Kremíková karbidová oblátková loď

Loď Veteksemicon SIC Wafer Loď je hlavným nosičom navrhnutým špeciálne pre vysokoteplotné polovodičové procesy. Tento produkt využíva vysokokvalitný izostaticky stlačený grafit ako svoj substrát a využíva patentovanú technológiu depozície chemickej pary na vytvorenie hustej, neoporútnej ochrannej vrstvy kremíkového karbidu na povrchu.

Táto vrstva plynulo kombinuje vynikajúcu tepelnú vodivosť grafitu s výnimočnou odolnosťou proti karbidu kremíka. Dôsledne kontrolovaný povlak dosahuje hrúbku 80-120 μm, čo účinne odoláva korózii z rôznych kyslých a alkalických atmosfér, čo významne znižuje riziko kontaminácie kovov. Udržiava štrukturálnu stabilitu a rozmerovú integritu aj vo vysokoteplotných prostrediach, poskytuje spoľahlivú ochranu a podporu doštičiek počas kritických procesov, ako je oxidácia, difúzia a epitaxný rast, čím sa účinne rozširuje životnosť oblátok o viac ako trojnásobok konvenčných grafitských lodí.

Ⅰ. Technické parametre

Ⅱ. Veteksemicon SIC Wafer Worth Výhody člna

• Vynikajúca odolnosť proti korózii

Povlak SIC na lodi VetSemicon Wafer sa ukladá pomocou nášho proprietárneho vysokoteplotného procesu CVD, čo vedie k hustej a rovnomernej štruktúre, ktorá je úplne bez pórov a trhlín. Táto pevná bariéra účinne izoluje oblátky z pecného prostredia. Silné oxidačné atmosféry, fluórované zlúčeniny a ďalšie korozívne plyny sú pre túto ochrannú vrstvu nepriepustné. To znamená, že vaše doštičky sú chránené pred kontamináciou, zatiaľ čo samotná loď zostáva neporušená opakovanými extrémnymi procesmi, čo výrazne rozširuje svoju životnosť.

• Ultra vysoké materiály čistoty

Chápeme, že aj najmenšia kontaminácia môže spôsobiť, že celá dávka doštičiek je zbytočná. Preto Veteksemicon dôsledne riadi suroviny pomocou importovaného izostaticky stlačeného grafitu s čistotou presahujúcou 99,995% ako substrát. Náter SIC uložený na tomto substráte tiež dosahuje 99,999% čistotu, s kritickými nečistotami, ako je sodík, draslík, železo a ťažké kovy udržiavané na extrémne nízkych hladinách (PPB). Táto takmer intrinická čistota zaisťuje, že pri vysokých teplotách sa uvoľnia žiadne kontaminanty, čo zásadne eliminuje riziko zhoršenia výkonu zariadenia v dôsledku problémov súvisiacich s nosičom.

• Vynikajúca tepelná stabilita

Výroba polovodičov vyžaduje mimoriadne konzistentné tepelné procesy. Koeficient tepelnej expanzie Vetemicon Wafer Boat je starostlivo navrhnutý tak, aby úzko zodpovedal koreniu kremíkových doštičiek. Počas rýchleho zahrievania a chladenia sa loď a doštička pohybujú synchronizáciou, čo výrazne znižuje riziko defektov mriežky a deformácie spôsobené tepelným stresom. Môže odolávať nepretržitým prevádzkovým teplotám do 1600 ℃, udržiava vynikajúcu mechanickú pevnosť a rozmerovú stabilitu aj pri týchto vysokých teplotách. To zaisťuje opakovateľnosť a spoľahlivosť v každom procese procesu, čo poskytuje solídny základ pre kontrolu tolerancie pri výrobe čipov.

• Odolná mechanická pevnosť

Hodnota našich výrobkov spočíva nielen v počiatočnej investícii, ale aj v dlhodobých nákladoch na vlastníctvo. V porovnaní s tradičnými zložkami kremeňa alebo grafitu ponúkajú lode VetSemicon SIC SIC výnimočné opotrebenie a odolnosť proti nárazu. Ich vysoká tvrdosť povrchu odoláva škrabancom a zvyškom počas manipulácie a čistenia. Táto húževnatosť im umožňuje ľahko vydržať viac ako 200 vysokoteplotných procesných cyklov a potrebné čistiace postupy, čo výrazne znižuje náklady na obstarávanie, náklady na zásoby a prestoje zariadenia spojené s častým výmenou komponentov.

• Potvrdenie overovania ekologického reťazca

Overenie ekologického reťazca VetySemicon SIC Wafer Wafer Boat pokrýva výrobu suroviny, schválilo certifikáciu medzinárodného štandardu a má množstvo patentovaných technológií na zabezpečenie jej spoľahlivosti a udržateľnosti v polovodičových a nových energetických oblastiach.

Ⅲ. Polia hlavnej aplikácie

Pre podrobné technické špecifikácie, biele príspevky alebo dohody o testovaní vzoriek sa obráťte na náš tím technickej podpory a preskúmajte, ako môže VeteKemicon zvýšiť efektívnosť vášho procesu.

Warehouse VeteKemicon Products