QR kód

O nás
Produkty
Kontaktuj nás
Telefón
Fax
+86-579-87223657
E-mail
Adresa
Wangda Road, ulica Ziyang, Wuyi County, Jinhua City, provincia Zhejiang, Čína
VeTek Semiconductor je váš inovatívny partner v oblasti spracovania polovodičov. Vďaka nášmu rozsiahlemu portfóliu kombinácií materiálov polovodičovej keramiky z karbidu kremíka, možnostiam výroby komponentov a službám aplikačného inžinierstva vám môžeme pomôcť prekonať významné výzvy. Technická keramika z karbidu kremíka je široko používaná v polovodičovom priemysle vďaka ich výnimočnému materiálovému výkonu. Ultra čistá keramika z karbidu kremíka od VeTek Semiconductor sa často používa počas celého cyklu výroby a spracovania polovodičov.
VeTek Semiconductor poskytuje skonštruované keramické komponenty špeciálne navrhnuté pre dávkovú difúziu a požiadavky LPCVD vrátane:
• Usmerňovače a držiaky
• Injektory
• Vložky a procesné rúrky
• Konzolové pádla z karbidu kremíka
• Oblátkové člny a podstavce
Konzolové pádlo SiC
Procesné rúrky SiC
Procesná trubica z karbidu kremíka
SiC vertikálny plátkový čln
SiC horizontálny plátkový čln
SiC horizontálna štvorcová oblátková loď
SiC LPCVD oblátkový čln
SiC vodorovný tanierový čln
SiC keramický tesniaci krúžok
Minimalizujte kontamináciu a neplánovanú údržbu s vysoko čistými komponentmi navrhnutými pre náročné spracovanie plazmového leptania, vrátane:
Zaostrovacie krúžky
Trysky
Štíty
Sprchové hlavice
Okná / veká
Ďalšie vlastné komponenty
VeTek Semiconductor poskytuje pokročilé materiálové komponenty prispôsobené pre aplikácie vysokoteplotného tepelného spracovania v polovodičovom priemysle. Tieto aplikácie zahŕňajú RTP, Epi procesy, difúziu, oxidáciu a žíhanie. Naša technická keramika je navrhnutá tak, aby odolávala teplotným šokom a poskytovala spoľahlivý a konzistentný výkon. S komponentmi VeTek Semiconductor môžu výrobcovia polovodičov dosiahnuť efektívne a vysokokvalitné tepelné spracovanie, čo prispieva k celkovému úspechu výroby polovodičov.
• Difúzory
• Izolátory
• Susceptory
• Ďalšie vlastné tepelné komponenty
Fyzikálne vlastnosti rekryštalizovaného karbidu kremíka | |
Nehnuteľnosť | Typická hodnota |
Pracovná teplota (°C) | 1600 °C (s kyslíkom), 1700 °C (redukčné prostredie) |
obsah SiC / SiC | > 99,96 % |
Obsah Si / Voľný Si | < 0,1 % |
Objemová hmotnosť | 2,60-2,70 g/cm3 |
Zjavná pórovitosť | < 16 % |
Pevnosť v tlaku | > 600 MPa |
Pevnosť v ohybe za studena | 80-90 MPa (20 °C) |
Pevnosť v ohybe za tepla | 90-100 MPa (1400 °C) |
Tepelná rozťažnosť pri 1500°C | 4,70 ± 10-6/°C |
Tepelná vodivosť pri 1200°C | 23 W/m•K |
Modul pružnosti | 240 GPa |
Odolnosť voči tepelným šokom | Mimoriadne dobré |
+86-579-87223657
Wangda Road, ulica Ziyang, Wuyi County, Jinhua City, provincia Zhejiang, Čína
Copyright © 2024 Vetek Semiconductor Technology Co., Ltd. Všetky práva vyhradené.
Links | Sitemap | RSS | XML | Privacy Policy |