Keramika z karbidu kremíka

VeTek Semiconductor je váš inovatívny partner v oblasti spracovania polovodičov. Vďaka nášmu rozsiahlemu portfóliu kombinácií materiálov polovodičovej keramiky z karbidu kremíka, možnostiam výroby komponentov a službám aplikačného inžinierstva vám môžeme pomôcť prekonať významné výzvy. Technická keramika z karbidu kremíka je široko používaná v polovodičovom priemysle vďaka ich výnimočnému materiálovému výkonu. Ultra čistá keramika z karbidu kremíka od VeTek Semiconductor sa často používa počas celého cyklu výroby a spracovania polovodičov.

DIFÚZIA A SPRACOVANIE LPCVD

VeTek Semiconductor poskytuje skonštruované keramické komponenty špeciálne navrhnuté pre dávkovú difúziu a požiadavky LPCVD vrátane:

• Usmerňovače a držiaky
• Injektory
• Vložky a procesné rúrky
• Konzolové pádla z karbidu kremíka
• Oblátkové člny a podstavce

Konzolové pádlo SiC Procesné rúrky SiC Procesná trubica z karbidu kremíka SiC vertikálny plátkový čln SiC horizontálny plátkový čln SiC horizontálna štvorcová oblátková loď SiC LPCVD oblátkový čln SiC vodorovný tanierový čln SiC keramický tesniaci krúžok

KOMPONENTY ETCH PROCESU

Minimalizujte kontamináciu a neplánovanú údržbu s vysoko čistými komponentmi navrhnutými pre náročné spracovanie plazmového leptania, vrátane:

Zaostrovacie krúžky

Trysky

Štíty

Sprchové hlavice

Okná / veká

Ďalšie vlastné komponenty

RÝCHLE TEPELNÉ SPRACOVANIE A KOMPONENTY EPITAXIÁLNEHO PROCESU

VeTek Semiconductor poskytuje pokročilé materiálové komponenty prispôsobené pre aplikácie vysokoteplotného tepelného spracovania v polovodičovom priemysle. Tieto aplikácie zahŕňajú RTP, Epi procesy, difúziu, oxidáciu a žíhanie. Naša technická keramika je navrhnutá tak, aby odolávala teplotným šokom a poskytovala spoľahlivý a konzistentný výkon. S komponentmi VeTek Semiconductor môžu výrobcovia polovodičov dosiahnuť efektívne a vysokokvalitné tepelné spracovanie, čo prispieva k celkovému úspechu výroby polovodičov.

• Difúzory

• Izolátory

• Susceptory

• Ďalšie vlastné tepelné komponenty

Fyzikálne vlastnosti rekryštalizovaného karbidu kremíka
Nehnuteľnosť	Typická hodnota
Pracovná teplota (°C)	1600 °C (s kyslíkom), 1700 °C (redukčné prostredie)
obsah SiC / SiC	> 99,96 %
Obsah Si / Voľný Si	< 0,1 %
Objemová hmotnosť	2,60-2,70 g/cm3
Zjavná pórovitosť	< 16 %
Pevnosť v tlaku	> 600 MPa
Pevnosť v ohybe za studena	80-90 MPa (20 °C)
Pevnosť v ohybe za tepla	90-100 MPa (1400 °C)
Tepelná rozťažnosť pri 1500°C	4,70 ± 10-6/°C
Tepelná vodivosť pri 1200°C	23 W/m•K
Modul pružnosti	240 GPa
Odolnosť voči tepelným šokom	Mimoriadne dobré

View as

Nosič lodí s vysokou čistotou SIC

VeTek Semiconductor ponúka prispôsobený nosič člnov SiC s vysokou čistotou. Vyrobené z vysoko čistého karbidu kremíka, má štrbiny na uchytenie plátku na mieste, čím sa zabráni jeho skĺznutiu počas spracovania. V prípade potreby je k dispozícii aj povlak CVD SiC. Ako profesionálny a silný výrobca a dodávateľ polovodičov VeTek Semiconductor je vysoko čistý nosič SiC doštičiek na čln, ktorý je cenovo konkurencieschopný a má vysokú kvalitu. VeTek Semiconductor sa teší, že bude vaším dlhodobým partnerom v Číne.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

Konzolová konzolová streda s vysokou čistotou

Vetek Semiconductor je popredným výrobcom a dodávateľom konzolového pádla s vysokou čistotou v Číne. Saddles konzoly s vysokou čistotou sa bežne používajú v polovodičových difúznych peciach ako prenos alebo nakladacie plošiny.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

Vertikálne oblátky a podstavcový stĺp

Vertikálne stĺpcové oblátky a podstavcový stĺp Vetek Semiconductor sú vyrobené z materiálov s vysokou čistotou kremeňa alebo kremíkového uhlíka (SIC), s vynikajúcou vysokou teplotou odolnosťou, chemickou stabilitou a mechanickou pevnosťou a je nevyhnutnou súčasťou jadra v procese výroby polovodičov. Vitajte svoju ďalšiu konzultáciu.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

Priľahlá oblátka

VETEK Semiconductor Assides Boat je pokročilým zariadením na spracovanie polovodičov. Štruktúra produktu je starostlivo navrhnutá na zabezpečenie efektívneho spracovania a výroby presných doštičiek. Veteksemi podporuje prispôsobené produktové riešenia a teší sa na vašu konzultáciu.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

Kremík na izolátore

Vetek Semiconductor je profesionálny čínsky výrobca kremíka na izolátore. Silikón na izolátorskej doštičke je dôležitým materiálom substrátu polovodiča a jeho vynikajúce vlastnosti produktu zohrávajú kľúčovú úlohu vo vysokovýkonných, nízkoenergetických, vysokovýkonných a RF aplikáciách. Tešíme sa na vašu konzultáciu.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

Vodorovná oblátka SIC

VeTek Semiconductor je profesionálny výrobca a dodávateľ vodiaceho krúžku potiahnutého TaC, horizontálneho nosiča doštičiek SiC a susceptorov potiahnutých SiC v Číne. Zaviazali sme sa poskytovať dokonalú technickú podporu a špičkové produktové riešenia pre polovodičový priemysel. Vitajte a kontaktujte nás.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

Ako profesionál Keramika z karbidu kremíka výrobca a dodávateľ v Číne máme vlastnú továreň. Či už potrebujete prispôsobené služby, ktoré vyhovujú konkrétnym potrebám vášho regiónu alebo chcete kúpiť pokročilé a odolné Keramika z karbidu kremíka v Číne, môžete nám nechať správu.

QR kód

O nás

Produkty

Kontaktuj nás

Telefón
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Adresa
Wangda Road, ulica Ziyang, Wuyi County, Jinhua City, provincia Zhejiang, Čína

Webové menu

Vyhľadávanie produktov

Jazyk

Ukončiť ponuku

Keramika z karbidu kremíka

DIFÚZIA A SPRACOVANIE LPCVD

KOMPONENTY ETCH PROCESU

RÝCHLE TEPELNÉ SPRACOVANIE A KOMPONENTY EPITAXIÁLNEHO PROCESU

Nosič lodí s vysokou čistotou SIC

Konzolová konzolová streda s vysokou čistotou

Vertikálne oblátky a podstavcový stĺp

Priľahlá oblátka

Kremík na izolátore

Vodorovná oblátka SIC

Odoslať dopyt

QR kód

O nás

Produkty

Kontaktuj nás

Telefón

Fax

E-mail

Adresa