Produkty

Keramika z karbidu kremíka

VeTek Semiconductor je váš inovatívny partner v oblasti spracovania polovodičov. Vďaka nášmu rozsiahlemu portfóliu kombinácií materiálov polovodičovej keramiky z karbidu kremíka, možnostiam výroby komponentov a službám aplikačného inžinierstva vám môžeme pomôcť prekonať významné výzvy. Technická keramika z karbidu kremíka je široko používaná v polovodičovom priemysle vďaka ich výnimočnému materiálovému výkonu. Ultra čistá keramika z karbidu kremíka od VeTek Semiconductor sa často používa počas celého cyklu výroby a spracovania polovodičov.


DIFÚZIA A SPRACOVANIE LPCVD

VeTek Semiconductor poskytuje skonštruované keramické komponenty špeciálne navrhnuté pre dávkovú difúziu a požiadavky LPCVD vrátane:

• Usmerňovače a držiaky
• Injektory
• Vložky a procesné rúrky
• Konzolové pádla z karbidu kremíka
• Oblátkové člny a podstavce


KOMPONENTY ETCH PROCESU

Minimalizujte kontamináciu a neplánovanú údržbu s vysoko čistými komponentmi navrhnutými pre náročné spracovanie plazmového leptania, vrátane:

Zaostrovacie krúžky

Trysky

Štíty

Sprchové hlavice

Okná / veká

Ďalšie vlastné komponenty


RÝCHLE TEPELNÉ SPRACOVANIE A KOMPONENTY EPITAXIÁLNEHO PROCESU

VeTek Semiconductor poskytuje pokročilé materiálové komponenty prispôsobené pre aplikácie vysokoteplotného tepelného spracovania v polovodičovom priemysle. Tieto aplikácie zahŕňajú RTP, Epi procesy, difúziu, oxidáciu a žíhanie. Naša technická keramika je navrhnutá tak, aby odolávala teplotným šokom a poskytovala spoľahlivý a konzistentný výkon. S komponentmi VeTek Semiconductor môžu výrobcovia polovodičov dosiahnuť efektívne a vysokokvalitné tepelné spracovanie, čo prispieva k celkovému úspechu výroby polovodičov.

• Difúzory

• Izolátory

• Susceptory

• Ďalšie vlastné tepelné komponenty


Fyzikálne vlastnosti rekryštalizovaného karbidu kremíka
Nehnuteľnosť Typická hodnota
Pracovná teplota (°C) 1600 °C (s kyslíkom), 1700 °C (redukčné prostredie)
obsah SiC / SiC > 99,96 %
Obsah Si / Voľný Si < 0,1 %
Objemová hmotnosť 2,60-2,70 g/cm3
Zjavná pórovitosť < 16 %
Pevnosť v tlaku > 600 MPa
Pevnosť v ohybe za studena 80-90 MPa (20 °C)
Pevnosť v ohybe za tepla 90-100 MPa (1400 °C)
Tepelná rozťažnosť pri 1500°C 4,70 ± 10-6/°C
Tepelná vodivosť pri 1200°C 23  W/m•K
Modul pružnosti 240 GPa
Odolnosť voči tepelným šokom Mimoriadne dobré


View as  
 
Loď z karbidu kremíka pre horizontálnu pec

Loď z karbidu kremíka pre horizontálnu pec

Loď na doštičky SiC má vysoké požiadavky na čistotu materiálu. Vetek Semiconductor dodáva tomuto produktu čistotu SiC >99,96 % rekryštalizovaný SiC. VeTek Semiconductor je profesionálny výrobca a dodávateľ v Číne pre čln z karbidu kremíka pre horizontálne pece, s dlhoročnými skúsenosťami v oblasti výskumu a vývoja a výroba, môže dobre kontrolovať kvalitu a ponúkať konkurencieschopnú cenu. Môžete si byť istí, že si od nás kúpite doštičkový čln z karbidu kremíka pre horizontálnu pec.
SIC potiahnutá kremíková karbidová člnová loď

SIC potiahnutá kremíková karbidová člnová loď

Loď na kremíkové karbidové s kremíkom potiahnutá SIC je navrhnutá so 165 slotmi na prepravu doštičiek. cena. Vitajte pri návšteve našej továrne a o ďalšej diskusii o spolupráci.
Konzolové konzolové kremík

Konzolové konzolové kremík

Kremíkové karbidové konzolové pádlo spoločnosti Vetek Semiconductor je dôležitou súčasťou výrobného procesu polovodičov, najmä vhodné pre difúzne pece alebo LPCVD pece v vysoko teplotných procesoch, ako je difúzia a RTP. Naše konzolové pádlo na konzoly kremíkového karbidu je starostlivo navrhnuté a vyrobené s vynikajúcou vysokou teplotou odporu a mechanickou pevnosťou a môže bezpečne a spoľahlivo prepravovať doštičky do procesnej trubice za tvrdých podmienok procesu pre rôzne vysokoteplotné procesy, ako je difúzia a RTP. Tešíme sa, že sa staneme vašim dlhodobým partnerom v Číne. Požiadajte nás zadarmo, aby ste sa nás opýtali.
Vysoký čistý kremíkový karbidový nosič

Vysoký čistý kremíkový karbidový nosič

VETEK Semiconductor High Pure Silicon Carbide Wafer Wafier sú dôležitými komponentmi pri spracovaní polovodičov, ktoré sú navrhnuté tak, aby bezpečne držali a prepravovali jemné kremíkové doštičky, ktoré zohrávajú kľúčovú úlohu vo všetkých fázach výroby. Vysoký čistý čistý kremíkový karbidový oblátkový nosič veprut Vetek Semiconductor je starostlivo navrhnutý a vyrobený tak, aby sa zaistil vynikajúci výkon a spoľahlivosť. Vetek Semiconductor sa zaväzuje poskytovať kvalitné výrobky za konkurencieschopné ceny a tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne. Požiadajte nás zadarmo.
Kremíková karbidová čln

Kremíková karbidová čln

Vysoko čistota kremíkovej karbidovej lode Vetek Semiconductor je vyrobená z extrémne čistého materiálu karbidu kremíka s vynikajúcou tepelnou stabilitou, mechanickou pevnosťou a chemickou odolnosťou. Vysoko čistota kremíkovej karbidovej lode sa používa v aplikáciách horúcej zóny pri výrobe polovodičov, najmä vo vysokoteplotných prostrediach, a hrá dôležitú úlohu pri ochrane doštičiek, prepravovaní materiálov a udržiavaní stabilných procesov. Vetek Semiconductor bude naďalej usilovne pracovať na inovácii a zlepšovaní výkonu vysokokvalitných kremíkových karbidových doštičiek, aby vyhovoval vyvíjajúcim sa potrebám výroby polovodičov. Tešíme sa, že sa staneme vašim dlhodobým partnerom v Číne. Požiadajte nás zadarmo, aby ste sa nás opýtali.
Ultra čistý kremíkový karbidový prášok na rast kryštálov

Ultra čistý kremíkový karbidový prášok na rast kryštálov

Vetek Semiconductor je profesionálny výrobca a dodávateľ, ktorý sa venuje poskytovaniu vysoko kvalitného ultra čistej kremíkovej karbidovej prášku na rast kryštálov. S čistotou až 99,999% hmotn. A extrémne nízkymi hladinami dusíka, bóru, hliníka a iných kontaminantov je špeciálne navrhnutá na zlepšenie polo izolačných vlastností karbidu kremíka s vysokou čistotou. Vitajte, aby ste sa s nami pýtali a spolupracovali!
Ako profesionál Keramika z karbidu kremíka výrobca a dodávateľ v Číne máme vlastnú továreň. Či už potrebujete prispôsobené služby, ktoré vyhovujú konkrétnym potrebám vášho regiónu alebo chcete kúpiť pokročilé a odolné Keramika z karbidu kremíka v Číne, môžete nám nechať správu.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept