Webové menu

Vyhľadávanie produktov

Jazyk

Produkty

Keramika z karbidu kremíka

VeTek Semiconductor je váš inovatívny partner v oblasti spracovania polovodičov. Vďaka nášmu rozsiahlemu portfóliu kombinácií materiálov polovodičovej keramiky z karbidu kremíka, možnostiam výroby komponentov a službám aplikačného inžinierstva vám môžeme pomôcť prekonať významné výzvy. Technická keramika z karbidu kremíka je široko používaná v polovodičovom priemysle vďaka ich výnimočnému materiálovému výkonu. Ultra čistá keramika z karbidu kremíka od VeTek Semiconductor sa často používa počas celého cyklu výroby a spracovania polovodičov.


DIFÚZIA A SPRACOVANIE LPCVD

VeTek Semiconductor poskytuje skonštruované keramické komponenty špeciálne navrhnuté pre dávkovú difúziu a požiadavky LPCVD vrátane:

• Usmerňovače a držiaky
• Injektory
• Vložky a procesné rúrky
• Konzolové pádla z karbidu kremíka
• Oblátkové člny a podstavce


KOMPONENTY ETCH PROCESU

Minimalizujte kontamináciu a neplánovanú údržbu s vysoko čistými komponentmi navrhnutými pre náročné spracovanie plazmového leptania, vrátane:

Zaostrovacie krúžky

Trysky

Štíty

Sprchové hlavice

Okná / veká

Ďalšie vlastné komponenty


RÝCHLE TEPELNÉ SPRACOVANIE A KOMPONENTY EPITAXIÁLNEHO PROCESU

VeTek Semiconductor poskytuje pokročilé materiálové komponenty prispôsobené pre aplikácie vysokoteplotného tepelného spracovania v polovodičovom priemysle. Tieto aplikácie zahŕňajú RTP, Epi procesy, difúziu, oxidáciu a žíhanie. Naša technická keramika je navrhnutá tak, aby odolávala teplotným šokom a poskytovala spoľahlivý a konzistentný výkon. S komponentmi VeTek Semiconductor môžu výrobcovia polovodičov dosiahnuť efektívne a vysokokvalitné tepelné spracovanie, čo prispieva k celkovému úspechu výroby polovodičov.

• Difúzory

• Izolátory

• Susceptory

• Ďalšie vlastné tepelné komponenty


Fyzikálne vlastnosti rekryštalizovaného karbidu kremíka
Nehnuteľnosť Typická hodnota
Pracovná teplota (°C) 1600 °C (s kyslíkom), 1700 °C (redukčné prostredie)
obsah SiC / SiC > 99,96 %
Obsah Si / Voľný Si < 0,1 %
Objemová hmotnosť 2,60-2,70 g/cm3
Zjavná pórovitosť < 16 %
Pevnosť v tlaku > 600 MPa
Pevnosť v ohybe za studena 80-90 MPa (20 °C)
Pevnosť v ohybe za tepla 90-100 MPa (1400 °C)
Tepelná rozťažnosť pri 1500°C 4,70 ± 10-6/°C
Tepelná vodivosť pri 1200°C 23  W/m•K
Modul pružnosti 240 GPa
Odolnosť voči tepelným šokom Mimoriadne dobré


View as  
 
Čln

Čln

Loď na doštičku SiC sa používa na prenášanie doštičky, hlavne na proces oxidácie a difúzie, aby sa zabezpečilo rovnomerné rozloženie teploty na povrchu doštičky. Vysoká teplotná stabilita a vysoká tepelná vodivosť SiC materiálov zaisťuje efektívne a spoľahlivé spracovanie polovodičov. Vetek semiconductor sa zaviazal poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny.
Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>
Procesná trubica SiC

Procesná trubica SiC

Vetic Semiconductor poskytuje vysokovýkonné skúmavky SIC procesov pre výrobu polovodičov. Naše procesné trubice SIC vynikajú pri oxidácii, difúznych procesoch. Vďaka vynikajúcej kvalite a remeselnosti tieto trubice ponúkajú vysokoteplotnú stabilitu a tepelnú vodivosť pre efektívne spracovanie polovodičov. Ponúkame konkurenčné ceny a snažíme sa byť vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>
Konzolové pádlo SiC

Konzolové pádlo SiC

Konzolové pádlo SiC od VeTek Semiconductor sa používa v peciach na tepelné spracovanie na manipuláciu a podopieranie člnov s plátkami. Vysoká teplotná stabilita a vysoká tepelná vodivosť SiC materiálu zaisťuje vysokú účinnosť a spoľahlivosť v procese spracovania polovodičov. Zaviazali sme sa poskytovať vysokokvalitné produkty za konkurencieschopné ceny a tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>
Loď z karbidu kremíka pre horizontálnu pec

Loď z karbidu kremíka pre horizontálnu pec

Loď na doštičky SiC má vysoké požiadavky na čistotu materiálu. Vetek Semiconductor dodáva tomuto produktu čistotu SiC ＞99,96 % rekryštalizovaný SiC. VeTek Semiconductor je profesionálny výrobca a dodávateľ v Číne pre čln z karbidu kremíka pre horizontálne pece, s dlhoročnými skúsenosťami v oblasti výskumu a vývoja a výroba, môže dobre kontrolovať kvalitu a ponúkať konkurencieschopnú cenu. Môžete si byť istí, že si od nás kúpite doštičkový čln z karbidu kremíka pre horizontálnu pec.
Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>
SIC potiahnutá kremíková karbidová člnová loď

SIC potiahnutá kremíková karbidová člnová loď

Loď na kremíkové karbidové s kremíkom potiahnutá SIC je navrhnutá so 165 slotmi na prepravu doštičiek. cena. Vitajte pri návšteve našej továrne a o ďalšej diskusii o spolupráci.
Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>
Konzolové konzolové kremík

Konzolové konzolové kremík

Kremíkové karbidové konzolové pádlo spoločnosti Vetek Semiconductor je dôležitou súčasťou výrobného procesu polovodičov, najmä vhodné pre difúzne pece alebo LPCVD pece v vysoko teplotných procesoch, ako je difúzia a RTP. Naše konzolové pádlo na konzoly kremíkového karbidu je starostlivo navrhnuté a vyrobené s vynikajúcou vysokou teplotou odporu a mechanickou pevnosťou a môže bezpečne a spoľahlivo prepravovať doštičky do procesnej trubice za tvrdých podmienok procesu pre rôzne vysokoteplotné procesy, ako je difúzia a RTP. Tešíme sa, že sa staneme vašim dlhodobým partnerom v Číne. Požiadajte nás zadarmo, aby ste sa nás opýtali.
Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>
Ako profesionál Keramika z karbidu kremíka výrobca a dodávateľ v Číne máme vlastnú továreň. Či už potrebujete prispôsobené služby, ktoré vyhovujú konkrétnym potrebám vášho regiónu alebo chcete kúpiť pokročilé a odolné Keramika z karbidu kremíka v Číne, môžete nám nechať správu.
Odporúčania noviniek
Aké sú rozdiely medzi izotropným grafitom a kremíkom?
Aké sú rozdiely medzi izotropným grafitom a kremíkom?Vidieť viac >>
Kompletné vysvetlenie procesu výroby čipov (1/2): od oblátky po balenie a testovanie
Kompletné vysvetlenie procesu výroby čipov (1/2): od oblátky po balenie a testovanieVidieť viac >>
Rôzne technické trasy epitaxnej rastovej pece SIC
Rôzne technické trasy epitaxnej rastovej pece SICVidieť viac >>
Čo je to stupňovito riadený epitaxný rast？
Čo je to stupňovito riadený epitaxný rast？Vidieť viac >>
Koľko vieš o CVD SIC? - Vetek polovodič
Koľko vieš o CVD SIC? - Vetek polovodičVidieť viac >>
Čo je vysokokvalitný porézny grafit?
Čo je vysokokvalitný porézny grafit?Vidieť viac >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept