Webové menu

Vyhľadávanie produktov

Jazyk

Produkty

Keramika z karbidu kremíka

VeTek Semiconductor je váš inovatívny partner v oblasti spracovania polovodičov. Vďaka nášmu rozsiahlemu portfóliu kombinácií materiálov polovodičovej keramiky z karbidu kremíka, možnostiam výroby komponentov a službám aplikačného inžinierstva vám môžeme pomôcť prekonať významné výzvy. Technická keramika z karbidu kremíka je široko používaná v polovodičovom priemysle vďaka ich výnimočnému materiálovému výkonu. Ultra čistá keramika z karbidu kremíka od VeTek Semiconductor sa často používa počas celého cyklu výroby a spracovania polovodičov.


DIFÚZIA A SPRACOVANIE LPCVD

VeTek Semiconductor poskytuje skonštruované keramické komponenty špeciálne navrhnuté pre dávkovú difúziu a požiadavky LPCVD vrátane:

• Usmerňovače a držiaky
• Injektory
• Vložky a procesné rúrky
• Konzolové pádla z karbidu kremíka
• Oblátkové člny a podstavce


KOMPONENTY ETCH PROCESU

Minimalizujte kontamináciu a neplánovanú údržbu s vysoko čistými komponentmi navrhnutými pre náročné spracovanie plazmového leptania, vrátane:

Zaostrovacie krúžky

Trysky

Štíty

Sprchové hlavice

Okná / veká

Ďalšie vlastné komponenty


RÝCHLE TEPELNÉ SPRACOVANIE A KOMPONENTY EPITAXIÁLNEHO PROCESU

VeTek Semiconductor poskytuje pokročilé materiálové komponenty prispôsobené pre aplikácie vysokoteplotného tepelného spracovania v polovodičovom priemysle. Tieto aplikácie zahŕňajú RTP, Epi procesy, difúziu, oxidáciu a žíhanie. Naša technická keramika je navrhnutá tak, aby odolávala teplotným šokom a poskytovala spoľahlivý a konzistentný výkon. S komponentmi VeTek Semiconductor môžu výrobcovia polovodičov dosiahnuť efektívne a vysokokvalitné tepelné spracovanie, čo prispieva k celkovému úspechu výroby polovodičov.

• Difúzory

• Izolátory

• Susceptory

• Ďalšie vlastné tepelné komponenty


Fyzikálne vlastnosti rekryštalizovaného karbidu kremíka
Nehnuteľnosť Typická hodnota
Pracovná teplota (°C) 1600 °C (s kyslíkom), 1700 °C (redukčné prostredie)
obsah SiC / SiC > 99,96 %
Obsah Si / Voľný Si < 0,1 %
Objemová hmotnosť 2,60-2,70 g/cm3
Zjavná pórovitosť < 16 %
Pevnosť v tlaku > 600 MPa
Pevnosť v ohybe za studena 80-90 MPa (20 °C)
Pevnosť v ohybe za tepla 90-100 MPa (1400 °C)
Tepelná rozťažnosť pri 1500°C 4,70 ± 10-6/°C
Tepelná vodivosť pri 1200°C 23  W/m•K
Modul pružnosti 240 GPa
Odolnosť voči tepelným šokom Mimoriadne dobré


View as  
 
Konzolová konzolová streda s vysokou čistotou

Konzolová konzolová streda s vysokou čistotou

Vetek Semiconductor je popredným výrobcom a dodávateľom konzolového pádla s vysokou čistotou v Číne. Saddles konzoly s vysokou čistotou sa bežne používajú v polovodičových difúznych peciach ako prenos alebo nakladacie plošiny.
Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>
Vertikálne oblátky a podstavcový stĺp

Vertikálne oblátky a podstavcový stĺp

Vertikálne stĺpcové oblátky a podstavcový stĺp Vetek Semiconductor sú vyrobené z materiálov s vysokou čistotou kremeňa alebo kremíkového uhlíka (SIC), s vynikajúcou vysokou teplotou odolnosťou, chemickou stabilitou a mechanickou pevnosťou a je nevyhnutnou súčasťou jadra v procese výroby polovodičov. Vitajte svoju ďalšiu konzultáciu.
Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>
Priľahlá oblátka

Priľahlá oblátka

VETEK Semiconductor Assides Boat je pokročilým zariadením na spracovanie polovodičov. Štruktúra produktu je starostlivo navrhnutá na zabezpečenie efektívneho spracovania a výroby presných doštičiek. Veteksemi podporuje prispôsobené produktové riešenia a teší sa na vašu konzultáciu.
Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>
Vodorovná oblátka SIC

Vodorovná oblátka SIC

VeTek Semiconductor je profesionálny výrobca a dodávateľ vodiaceho krúžku potiahnutého TaC, horizontálneho nosiča doštičiek SiC a susceptorov potiahnutých SiC v Číne. Zaviazali sme sa poskytovať dokonalú technickú podporu a špičkové produktové riešenia pre polovodičový priemysel. Vitajte a kontaktujte nás.
Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>
Čln

Čln

Loď na doštičku SiC sa používa na prenášanie doštičky, hlavne na proces oxidácie a difúzie, aby sa zabezpečilo rovnomerné rozloženie teploty na povrchu doštičky. Vysoká teplotná stabilita a vysoká tepelná vodivosť SiC materiálov zaisťuje efektívne a spoľahlivé spracovanie polovodičov. Vetek semiconductor sa zaviazal poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny.
Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>
Procesná trubica SiC

Procesná trubica SiC

Vetic Semiconductor poskytuje vysokovýkonné skúmavky SIC procesov pre výrobu polovodičov. Naše procesné trubice SIC vynikajú pri oxidácii, difúznych procesoch. Vďaka vynikajúcej kvalite a remeselnosti tieto trubice ponúkajú vysokoteplotnú stabilitu a tepelnú vodivosť pre efektívne spracovanie polovodičov. Ponúkame konkurenčné ceny a snažíme sa byť vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>
Ako profesionál Keramika z karbidu kremíka výrobca a dodávateľ v Číne máme vlastnú továreň. Či už potrebujete prispôsobené služby, ktoré vyhovujú konkrétnym potrebám vášho regiónu alebo chcete kúpiť pokročilé a odolné Keramika z karbidu kremíka v Číne, môžete nám nechať správu.
Odporúčania noviniek
Čo sú keramika kremíka?
Čo sú keramika kremíka?Vidieť viac >>
Tri technológie SIC s jedným kryštálom
Tri technológie SIC s jedným kryštálomVidieť viac >>
Čo je jedlo a erózia v procese CMP?
Čo je jedlo a erózia v procese CMP?Vidieť viac >>
Čo je pórovitý grafit? - Vetek polovodič
Čo je pórovitý grafit? - Vetek polovodičVidieť viac >>
Čo je leštiaca kaša Wafer CMP?
Čo je leštiaca kaša Wafer CMP?Vidieť viac >>
Kremíkové karbidové nanomateriály
Kremíkové karbidové nanomateriályVidieť viac >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept