Naše robotické rameno kremíka (SIC) (SIC) je určené pre vysoko výkonnú manipuláciu s oblátkami vo výrobe pokročilých polovodičov. Toto robotické rameno, ktoré je vyrobené z karbidu kremíka s vysokou čistotou Jeho výnimočná mechanická pevnosť a rozmerová stabilita umožňujú presnú manipuláciu s oblátkami a zároveň minimalizovať riziká kontaminácie, čo z nej robí ideálnu voľbu pre MOCVD, epitaxiu, implantáciu iónov a ďalšie aplikácie zaobchádzania s kritickými oblátkami. Vítame vaše otázky.
Robotické rameno Silicon Carbid od spoločnosti Vetemicon je špičkové riešenie na spracovanie polovodičov určené špeciálne pre tvrdé priemyselné prostredie. Využíva pokročilú technológiu materiálu kremíkového karbidu s vysokou čistotou a demonštruje mimoriadnu stabilitu a trvanlivosť vo vysokých teplotách, korozívnych prostrediach a ultra vysokých vákuových podmienkach. Ako kľúčová súčasť procesov zaobchádzania s oblátkami, leptaním a depozíciou naše robotické rameno významne zvyšuje produktivitu a znižuje náklady na údržbu.
Ⅰ. Technické parametre
Projekt
Parameter
Materiál
SIC s vysokou čistotou
Tvrdosť
2800-3200 HV
Zaťaženie
3 kg/5 kg/10 kg (k dispozícii rôzne špecifikácie)
Tepelná vodivosť
Tepelná vodivosť
Odpor
10^3-10^5 Ω; cm
Uplatniteľné prostredie
Vysoká teplota, plazma, korozívny plyn, ultra vysoké vákuum
Opakujte presnosť umiestnenia
± 0,02 mm
Ⅱ. Veteksemicon Silikon Carbide Robot Arm Výhody
1. Extrémna tolerancia prostredia
Naše robotické rameno používa jedinečne formulovaný povlak SIC, ktorý podlieha viacerým vysokoteprodičným depozičným procesom, čo mu umožňuje udržiavať štrukturálnu integritu pri trvalo udržateľných teplotách 1500 ° C a účinne odoláva korózii z bombardovania plazmy a silných kyslých a alkalických prostredí. Toto zásadne rieši body bolesti tradičných materiálov, ktoré sú náchylné na starnutie a majú krátku životnosť za extrémnych pracovných podmienok.
2. Vynikajúce mechanické vlastnosti
Prijatím kompozitnej štruktúry grafitového substrátu a povlaku SIC sme dosiahli tuhosť, ktorá ďaleko presahuje kovovú materiály a zároveň zabezpečila, že rameno je extrémne ľahké. Táto konštrukcia zaisťuje, že deformácia ramena robota je počas vysokorýchlostného recipročného pohybu extrémne malá, čím účinne potláča jitter, čím pevne riadi presnosť opakovaného polohovania v rámci ± 0,02 mm, čím sa zabezpečí bezpečný prenos presných doštičiek.
3. Ultra vysoká čistota
Chápeme, že kontaminácia častíc je vrahom číslo jedna. Preto každé rameno robota prechádza presným leštením a špecializovaným povrchovým ošetrením, čo vedie k drsnosti povrchu RA menšia ako 0,1 μm. Povlak sa bezpečne dodržiava, čím bráni akémukoľvek riziku odlupovania. Naše výrobky sú 100% testované na čistotu, plne spĺňajú ultra vysoké požiadavky na čistenie a sú pripravené na použitie v najmodernejších výrobných linkách.
4. Dlhá životnosť
Vďaka inherentnej tvrdosti spoločnosti SIC 3000 HV a vynikajúcej odolnosti proti opotrebeniu zažívajú naše robotické zbrane minimálnu degradáciu výkonu aj po desiatkach tisíc pohybových cyklov. Ich životnosť je niekoľkokrát životnosťou bežných zliatin z keramiky alebo hliníkovej zliatiny, čo výrazne znižuje prestoje na výmenu a údržbu, čím poskytuje pre našich zákazníkov významnú celkovú nákladovú efektívnosť.
Ⅲ. Polia hlavnej aplikácie
Smerovanie
Typický scenár
Svýroba emickúrovňa
Manipulácia s oblátkami, prenos a umiestnenie
Produkcia LED
Komponenty MOCVD reakčnej komory
Fotovoltaický priemysel
PECVD, difúzny proces
Letectvo
Automatizované spracovanie v prostrediach s vysokou teplotou
Veteksemicon Silikon Carbide Robot Arm 'Overenie ekologického reťazca pokrýva výrobu surovín, schválilo certifikáciu medzinárodného štandardu a má množstvo patentovaných technológií na zabezpečenie jej spoľahlivosti a udržateľnosti v polovodičových a nových energetických oblastiach. Vitajte, že sa s nami poraďte kedykoľvek.
For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
Súbory cookie používame, aby sme vám poskytli lepší zážitok z prehliadania, analyzovali návštevnosť stránok a prispôsobili obsah. Používaním tejto stránky súhlasíte s naším používaním cookies.Zásady ochrany osobných údajov