Produkty
Kremíkový karbidový ruk
  • Kremíkový karbidový rukKremíkový karbidový ruk
  • Kremíkový karbidový rukKremíkový karbidový ruk

Kremíkový karbidový ruk

Naše robotické rameno kremíka (SIC) (SIC) je určené pre vysoko výkonnú manipuláciu s oblátkami vo výrobe pokročilých polovodičov. Toto robotické rameno, ktoré je vyrobené z karbidu kremíka s vysokou čistotou Jeho výnimočná mechanická pevnosť a rozmerová stabilita umožňujú presnú manipuláciu s oblátkami a zároveň minimalizovať riziká kontaminácie, čo z nej robí ideálnu voľbu pre MOCVD, epitaxiu, implantáciu iónov a ďalšie aplikácie zaobchádzania s kritickými oblátkami. Vítame vaše otázky.

Robotické rameno Silicon Carbid od spoločnosti Vetemicon je špičkové riešenie na spracovanie polovodičov určené špeciálne pre tvrdé priemyselné prostredie. Využíva pokročilú technológiu materiálu kremíkového karbidu s vysokou čistotou a demonštruje mimoriadnu stabilitu a trvanlivosť vo vysokých teplotách, korozívnych prostrediach a ultra vysokých vákuových podmienkach. Ako kľúčová súčasť procesov zaobchádzania s oblátkami, leptaním a depozíciou naše robotické rameno významne zvyšuje produktivitu a znižuje náklady na údržbu.


Ⅰ. Technické parametre


Projekt
Parameter
Materiál
SIC s vysokou čistotou
Tvrdosť
2800-3200 HV
Zaťaženie
3 kg/5 kg/10 kg (k dispozícii rôzne špecifikácie)
Tepelná vodivosť
Tepelná vodivosť
Odpor
10^3-10^5 Ω; cm
Uplatniteľné prostredie
Vysoká teplota, plazma, korozívny plyn, ultra vysoké vákuum
Opakujte presnosť umiestnenia
± 0,02 mm

Ⅱ. Veteksemicon Silikon Carbide Robot Arm Výhody


1. Extrémna tolerancia prostredia

Naše robotické rameno používa jedinečne formulovaný povlak SIC, ktorý podlieha viacerým vysokoteprodičným depozičným procesom, čo mu umožňuje udržiavať štrukturálnu integritu pri trvalo udržateľných teplotách 1500 ° C a účinne odoláva korózii z bombardovania plazmy a silných kyslých a alkalických prostredí. Toto zásadne rieši body bolesti tradičných materiálov, ktoré sú náchylné na starnutie a majú krátku životnosť za extrémnych pracovných podmienok.


2. Vynikajúce mechanické vlastnosti

Prijatím kompozitnej štruktúry grafitového substrátu a povlaku SIC sme dosiahli tuhosť, ktorá ďaleko presahuje kovovú materiály a zároveň zabezpečila, že rameno je extrémne ľahké. Táto konštrukcia zaisťuje, že deformácia ramena robota je počas vysokorýchlostného recipročného pohybu extrémne malá, čím účinne potláča jitter, čím pevne riadi presnosť opakovaného polohovania v rámci ± 0,02 mm, čím sa zabezpečí bezpečný prenos presných doštičiek.


3. Ultra vysoká čistota

Chápeme, že kontaminácia častíc je vrahom číslo jedna. Preto každé rameno robota prechádza presným leštením a špecializovaným povrchovým ošetrením, čo vedie k drsnosti povrchu RA menšia ako 0,1 μm. Povlak sa bezpečne dodržiava, čím bráni akémukoľvek riziku odlupovania. Naše výrobky sú 100% testované na čistotu, plne spĺňajú ultra vysoké požiadavky na čistenie a sú pripravené na použitie v najmodernejších výrobných linkách.


4. Dlhá životnosť

Vďaka inherentnej tvrdosti spoločnosti SIC 3000 HV a vynikajúcej odolnosti proti opotrebeniu zažívajú naše robotické zbrane minimálnu degradáciu výkonu aj po desiatkach tisíc pohybových cyklov. Ich životnosť je niekoľkokrát životnosťou bežných zliatin z keramiky alebo hliníkovej zliatiny, čo výrazne znižuje prestoje na výmenu a údržbu, čím poskytuje pre našich zákazníkov významnú celkovú nákladovú efektívnosť.


Ⅲ. Polia hlavnej aplikácie


Smerovanie
Typický scenár
Svýroba emickúrovňa
Manipulácia s oblátkami, prenos a umiestnenie
Produkcia LED
Komponenty MOCVD reakčnej komory
Fotovoltaický priemysel
PECVD, difúzny proces
Letectvo
Automatizované spracovanie v prostrediach s vysokou teplotou

Veteksemicon Silikon Carbide Robot Arm 'Overenie ekologického reťazca pokrýva výrobu surovín, schválilo certifikáciu medzinárodného štandardu a má množstvo patentovaných technológií na zabezpečenie jej spoľahlivosti a udržateľnosti v polovodičových a nových energetických oblastiach. Vitajte, že sa s nami poraďte kedykoľvek.


Veteksemicon products shop

Hot Tags: Kremíkový karbidový ruk
Odoslať dopyt
Kontaktné informácie
Ak máte otázky týkajúce sa povlaku karbidu kremíka, povlaku karbidu tantalu, špeciálneho grafitu alebo cenníka, zanechajte nám svoj e-mail a my sa vám ozveme do 24 hodín.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept