Produkty

Obrazovka Vecemicon Semiconductor Quartz je životne dôležitou súčasťou systémov depozície chemickej chemickej pary (MOCVD), ktorá zohráva rozhodujúcu úlohu pri optimalizácii procesov rastu tenkého filmu. Táto stránka s detailmi produktu zdôrazňuje vysokokvalitné kremenné obrazovky spoločnosti VeteCemicon, ktoré sú navrhnuté tak, aby zlepšili rovnomernosť, čistotu a účinnosť údržby MOCVD zariadení.

Kríg s vysokou čistotou je nevyhnutnou základnou zložkou v pokročilých výrobných procesoch polovodičov, najmä pre aplikácie, ktoré vyžadujú extrémne vysokú tepelnú stabilitu, chemickú čistotu a rozmerovú presnosť. Veteksemicon ponúka vynikajúce kremenné kremenné s vysokou čistotou navrhnuté tak, aby vyhovovali extrémnym požiadavkám polovodičových procesov.

Porézny SIC Ceramic Chuck od Veteksemicon je vákuová platforma s presným inžinierstvom určená pre bezpečnú manipuláciu s oblátkami bez častíc v pokročilých polovodičových procesoch, ako je leptanie, implantácia iónov, CMP a inšpekcia. Vyrábaný z vysokokvalitného porézneho karbidu kremíka ponúka vynikajúcu tepelnú vodivosť, chemický odpor a mechanickú pevnosť. Vďaka prispôsobiteľným veľkostiam a rozmerom pórov poskytuje Vetemicon riešenia na mieru, aby vyhovoval prísnym požiadavkám prostredia spracovania oblátok v čistej miestnosti.

Naše člny Quartz Wafer sú roztokom nosiča s vysokým čistom oblátkovou oblátkou prispôsobené procesom výroby polovodičov, LED, solárnych článkov a batérií. Táto kremeňová loď, navrhnutá tak, aby vydržala vysoké teploty a chemicky agresívne prostredie, má nízku tepelnú expanziu, vynikajúcu elektrickú izoláciu a dlhodobú rozmerovú stabilitu. Ideálne na difúziu, oxidáciu a procesy LPCVD, podporuje presné zarovnanie oblátok a je k dispozícii v rôznych veľkostiach, aby spĺňala rôzne požiadavky na vybavenie.

Konzolové pádla Vetemicon SIC sú vysokokvalitné podporné ramená kremíkových karbidov navrhnuté na manipuláciu s oblátkami v horizontálnych difúznych peciach a epitaxiálnych reaktoroch. S výnimočnou tepelnou vodivosťou, odolnosťou proti korózii a mechanickej pevnosti tieto pádla zaisťuje stabilitu a čistotu v náročných polovodičových prostrediach. Dostupné vo vlastných veľkostiach a optimalizované pre dlhú životnosť.

Blok SIC Vetemicon je navrhnutý pre vysokoúčinné brúsenie a riedenie kremíkových a zafírových doštičiek. S vynikajúcou tepelnou vodivosťou (≥120 w/m · k), vysokým odporom tepelného šoku a vynikajúcou odolnosťou proti opotrebeniu (MOH ≥9), naše bloky zlepšujú stabilitu procesu a znižujú frekvenciu zmeny nástroja. K dispozícii vo veľkostiach od 120 mm do 480 mm, s prispôsobenými možnosťami a rýchlym dodávaním, ktoré vyhovujú rôznym výrobným potrebám.