Piezoelektrické doštičky PZT (PZT na Si/SOI)

1. Technická architektúra

Naše doštičky sa vyznačujú sofistikovanou viacvrstvovou štruktúrou zostavy navrhnutou tak, aby zabezpečila optimálnu priľnavosť, vodivosť a piezoelektrickú odozvu počas komplexného spracovania MEMS:

 ●Vrchná elektróda (kľúčová vrstva): Pt (Platinum).

● Piezo vrstva (Core Layer): PZT.

● Stredné vrstvy: Obsahuje vyrovnávaciu vrstvu, spodnú elektródu a adhéznu vrstvu na optimalizáciu orientácie zŕn a štrukturálnej stability.

● Substrát: Kompatibilné s doštičkami Si alebo SOI.

2. Zabezpečenie kvality a analýza mikroštruktúry

Zabezpečujeme vysokú spoľahlivosť prostredníctvom prísnej technickej charakteristiky:

 ●SEM analýza: Snímky zo skenovacej elektrónovej mikroskopie (SEM) odhaľujú hustú povrchovú morfológiu bez trhlín s rovnomernou distribúciou veľkosti zŕn, ideálne pre aplikácie MEMS s vysokou spoľahlivosťou.

 ●XRD charakterizácia: Obrazce röntgenovej difrakcie (XRD) potvrdzujú čistú tvorbu perovskitovej fázy so silnou preferovanou orientáciou (100), ktorá zaisťuje maximálne koeficienty piezoelektrického výkonu.

3. Technické špecifikácie (charakteristiky)

4. Základné aplikácie

 ● Piezoelektrické mikroobrobené ultrazvukové prevodníky (pMUT): Vysokofrekvenčné miniaturizované polia pre snímače odtlačkov prstov, rozpoznávanie gest a automobilový ultrazvukový radar.

 ● Komunikácia: Kľúč na výrobu filtrov FBAR alebo SAW v 5G/6G na dosiahnutie širšej šírky pásma a nižšej vložnej straty.

 ● Akustické MEMS: Poskytuje výkonnú prechodovú odozvu pre MEMS reproduktory a zlepšuje pomer signálu k šumu (SNR) pre MEMS mikrofóny.

 ● Presné ovládanie tekutín: Vysokorýchlostné vibrácie prostredníctvom režimu d31 pre presné ovládanie objemu kvapiek v atramentových tlačových hlavách na úrovni nanolitrov.

 ● Lekárstvo a krása (mikropumpovanie): Poháňa lekárske nebulizéry alebo kozmetické ultrazvukové pumpy s vysokou spoľahlivosťou a kompaktnou veľkosťou.

5. Služby prispôsobenia

Okrem štandardnej depozície na Si doštičky poskytujeme aj zákazkové depozičné služby:

 ●Prispôsobenie filmu a hrúbky: Nanášanie špecifických typov fólií a vlastných hrúbok podľa konštrukčných požiadaviek.

 ●OEM zlieváreň: Prevzatie doštičiek dodávaných od zákazníkov na kvalitný piezoelektrický rast tenkých vrstiev.

 ●Podpora substrátu SOI: Špecializované nanášanie na doštičky SOI s nasledujúcimi špecifikáciami: