Vysoko čistý nepriehľadný kremenný štít a uzávierka pre MOCVD

1. Technické špecifikácie

Poskytujeme vysoko presné obrábanie na základe vašich technických výkresov, aby sme zaistili dokonalé prispôsobenie sa vašim špecifickým modelom zariadení.

2. Základné aplikačné polia

● Ochrana procesu MOCVD: Slúži ako nevyhnutné vnútorné štíty / vložky na ochranu reakčného prostredia.

● Epitaxia polovodičov: Používa sa ako vysoko presné uzávery na stabilizáciu prietoku a teploty počas rastu tenkých vrstiev.

● Wide-Bandgap Semiconductor Manufacturing: Kompatibilné s prostrediami s vysokým dopytom pre GaN a iné pokročilé materiály.

3. Prečo si vybrať VETEK Quartz Solutions?

● Špičkový manažment tepelného žiarenia: Náš mliečne biely kremeň obsahuje vysokú hustotu mikrobublín, ktoré účinne rozptyľujú a blokujú vysokoteplotné tepelné žiarenie (>1000°C). Absorbuje viditeľné a blízke infračervené svetlo z vykurovacích telies a premieňa ho na vzdialené infračervené žiarenie, čím zaisťuje vysoko rovnomerné zahrievanie.
● Kontrola kontaminácie a jednoduchá údržba: Ako obetná alebo vymeniteľná vnútorná vložka udržuje Quartz Shield reakčnú komoru čistú tým, že zabraňuje usadzovaniu vedľajších produktov na drahých stenách komory a ohrievačoch. Tieto časti možno regenerovať mokrým čistením (ako sú roztoky SPM+DHF) alebo jednoducho vymeniť, aby sa zabezpečila vysoká výťažnosť plátkov.
● Extrémna chemická odolnosť: Kremeň VETEK je navrhnutý tak, aby vydržal časté tepelné cykly a odolával korózii organických kovov (ako TMGa) a hydridov (ako AsH3).
● Precízne riadenie procesu: Naše Quartzové žalúzie si zachovávajú vysokú rozmerovú stabilitu pri infračervenom alebo vláknovom ohreve. Ich nízka tepelná zotrvačnosť umožňuje rýchlu mechanickú odozvu, umožňuje presné riadenie rastu na "atómovej úrovni" a zabraňuje krížovej kontaminácii počas prepínania viacerých plátkov alebo viacerých procesov.
● Nákladovo efektívna alternatíva: Pre projekty s prísnymi rozpočtovými požiadavkami poskytujú naše kremenné produkty spoľahlivý vstupný bod v porovnaní s potiahnutým grafitom a ponúkajú základnú ochranu a funkčnosť pre systémy MOCVD.