Produkty

Konzolové pádla Vetemicon SIC sú vysokokvalitné podporné ramená kremíkových karbidov navrhnuté na manipuláciu s oblátkami v horizontálnych difúznych peciach a epitaxiálnych reaktoroch. S výnimočnou tepelnou vodivosťou, odolnosťou proti korózii a mechanickej pevnosti tieto pádla zaisťuje stabilitu a čistotu v náročných polovodičových prostrediach. Dostupné vo vlastných veľkostiach a optimalizované pre dlhú životnosť.

Blok SIC Vetemicon je navrhnutý pre vysokoúčinné brúsenie a riedenie kremíkových a zafírových doštičiek. S vynikajúcou tepelnou vodivosťou (≥120 w/m · k), vysokým odporom tepelného šoku a vynikajúcou odolnosťou proti opotrebeniu (MOH ≥9), naše bloky zlepšujú stabilitu procesu a znižujú frekvenciu zmeny nástroja. K dispozícii vo veľkostiach od 120 mm do 480 mm, s prispôsobenými možnosťami a rýchlym dodávaním, ktoré vyhovujú rôznym výrobným potrebám.

Držiak na povlaky kremíka kremíkového karbidu od spoločnosti VeteKemicon je navrhnutý na presnosť a výkon v pokročilých polovodičových procesoch, ako sú MOCVD, LPCVD a vysokoteplotné žíhanie. S rovnomerným povlakom CVD SIC tento držiteľ oblátok zaisťuje výnimočnú tepelnú vodivosť, chemickú inerte a mechanickú pevnosť-nevyhnutnú pre spracovanie oblátok s vysokým výnosom bez kontaminácie.

Veteksemicon s vysokým výškom SIC Edge Rings, špeciálne navrhnuté pre zariadenia na leptanie polovodičov, má vynikajúci odolnosť proti korózii a tepelnú stabilitu, čo výrazne zvyšuje výťažok oblátky

Veteksemicon SIC Ceramics Membrány sú typom anorganickej membrány a patria do tuhých membránových materiálov v technológii separácie membrány. SIC membrány sa prepúšťajú pri teplote nad 2000 ℃. Povrch častíc je hladký a okrúhly. V podpornej vrstve a každej vrstve nie sú žiadne uzavreté póry ani kanály. Zvyčajne sa skladajú z troch vrstiev s rôznymi veľkosťami pórov.

CMP leštiaca kaša (Chemical Mechanical Polishing Slurry) je vysoko výkonný materiál používaný pri výrobe polovodičov a precíznom spracovaní materiálu. Jeho hlavnou funkciou je dosiahnuť jemnú rovinnosť a leštenie povrchu materiálu za synergického účinku chemickej korózie a mechanického brúsenia, aby sa splnili požiadavky na rovinnosť a kvalitu povrchu na nano úrovni. Tešíme sa na vašu ďalšiu konzultáciu.