Kremíkový karbidový oblátk Chuck

VETEK Semiconductor Silikon Carbid Wafer Chuck používa vynikajúce vlastnosti materiálov kremíkových karbidov na splnenie prísnych požiadaviek na výrobu polovodičov, najmä pri spracovaní polovodičov, ktoré si vyžadujú extrémne vysokú presnosť a spoľahlivosť.

V procese spracovania polovodičov,Karbid kremíkamá vynikajúci vysoký teplotný odpor (môže pracovať stabilne pri 1400 ° C), nízka vodivosť (SIC má relatívne nízku vodivosť, zvyčajne 10^^-3S/m) a koeficient nízkej tepelnej expanzie (asi 4,0 × 10^^-6/° C), ktorý je nevyhnutným a dôležitým materiálom, najmä vhodný na výrobu skľučenia z karbidu kremíka.

Počasproces epitaxie, tenká vrstva polovodičového materiálu sa ukladá na substrát, čo si vyžaduje absolútnu stabilitu z oblátky, aby sa zabezpečila rovnomerné a vysoko kvalitné vrstvy ukladania filmov. SIC vákuum Chuck to dosahuje vytvorením pevného a konzistentného vákuového držiaka, aby sa zabránilo akémukoľvek pohybu alebo deformácii oblátky.

Silikónový karbidový oblátk Chuck ponúka tiež vynikajúcu odolnosť proti tepelnému šoku. Rýchle zmeny teploty sú bežné pri výrobe polovodičov a materiály, ktoré nedokážu vydržať tieto výkyvy, môžu prasknúť, ohýbať alebo zlyhať. Karbid kremíka má nízky koeficient tepelnej expanzie a dokáže udržať svoj tvar a fungovať aj pri drastických zmenách teploty, čím sa zabezpečuje, že oblátka zostane v bezpečí počas procesu epitaxie bez pohybu alebo vyrovnania.

Navyšeproces epitaxieČasto zahŕňa reaktívne plyny a iné korozívne chemikálie. Chemická inertnosť SIC Wafer Chuck zaisťuje, že nie je ovplyvnená týmito drsnými prostrediami, zachováva jej výkon a predlžuje svoju životnosť. Táto chemická trvanlivosť nielen znižuje frekvenciu výmeny skľučenia oblátkov, ale tiež zaisťuje konzistentný výkon produktu vo viacerých výrobných cykloch, čo pomáha zlepšovať celkovú účinnosť a nákladovú efektívnosť procesu výroby polovodičov.

Vetek Semiconductor je popredným výrobcom a dodávateľom výrobkov s kremíkovým karbidom v Číne. Môžeme poskytnúť rôzne typy produktov skľučovania, ako napríkladPórovité sic keramické skľučanie, Porézne SIC vákuum Chuck, Porézne keramické vákuumaTAC potiahnutý skľučovadlomatď. Vetek Semiconductor sa zaväzuje poskytovať pokročilé technológie a produktové riešenia pre polovodičový priemysel. Úprimne dúfame, že sa staneme vašim dlhodobým partnerom v Číne.

SEM DATA CVDKryštalická štruktúra SIC：

Vetek polovodičový kremíkový kremíkový karbid oblátkových obchodov：