Polovodičový kremeňový tank

Polovodičové kremenné nádrže vyrobené z vysoko čistého polovodičového kremeňa ponúkajú vynikajúcu chemickú odolnosť voči rôznym korozívnym chemikáliám vrátane kyseliny sírovej (H2SO4), peroxidu vodíka (H2O2) a štandardných čistiacich roztokov (SC1).

Kremenné nádrže hrajú dôležitú úlohu v procese výroby plátkov, najmä pri čistení plátkov. Počas výroby sú doštičky často maskované špecifickými materiálmi, aby sa umožnilo presné leptanie alebo obmedzené oblasti difúzie. Tieto materiály musia byť po každom kroku úplne odstránené, aby sa zabezpečilo, že oblátky môžu vstúpiť do ďalšieho procesu. Kremenné čistiace nádrže sú veľmi účinné pri odstraňovaní zvyškov, čím zabraňujú prípadným časticiam kontaminovať následné procesy.

Jednou z najdôležitejších charakteristík polovodičových kremenných nádrží je ich odolnosť proti korózii počasmokré spracovanie. Kremenné nádrže sú navrhnuté tak, aby odolali vysoko korozívnym chemikáliám používaným v procesoch čistenia a leptania bez reagovania, zabezpečujú účinnosť procesných chemikálií a vyhýbajú sa nežiaducim chemickým reakciám, ktoré ovplyvňujú kvalitu oblátky.

Polovodičové kremenné nádrže VeTek pomáhajú znižovať riziko kontaminácie časticami počas čistenia plátkov. Jeho starostlivo navrhnuté modely ohrevu a cirkulácie môžu poskytnúť presnú reguláciu teploty a udržiavať nepretržitú cirkuláciu čistiacich roztokov, aby sa zabezpečila účinnosť a dôkladnosť čistenia.Okrem toho vysoká tepelná odolnosť kremenných nádrží VeTek im umožňuje odolávať prevádzkovým teplotám až do 190 °C, čo je vhodné pre procesy čistenia alebo leptania, ktoré vyžadujú tepelné spracovanie. Udržiavanie štrukturálnej stability a vynikajúceho výkonu pri vysokých teplotách je rozhodujúce pre procesy s prísnou kontrolou teploty.

Kremenné nádrže majú tiež nízku tepelnú expanziu a vysokú odolnosť voči tepelným otrasom, čo môže účinne znížiť riziko krakovania alebo deformácie spôsobeného kolísaním teploty, čím sa zabezpečí dlhodobá stabilita a spoľahlivosť. Jeho vynikajúce tepelné vlastnosti jej umožňujú udržiavať integritu vzhľadom na rýchle zmeny teploty, vhodné na procesy spracovania mokra s presnými požiadavkami.

Hlavnou výhodou je aj vysoká transparentnosť tankov VeteK Quartz. Transparentný kremeňový materiál umožňuje operátorom monitorovať stav doštičiek a riešení v reálnom čase počas spracovania, čím sa zlepší presnosť riadenia procesu. Vizuálne monitorovanie je obzvlášť dôležité na zabezpečenie konzistentnosti procesov čistenia a leptania.

VeTek využíva pokročilé procesné technológie na výrobu vysokokvalitných polovodičových kremenných nádrží, vrátane diamantových kotúčov a technológie laserového rezania na zabezpečenie presných rozmerov buniek a povrchovej úpravy. Náš vysoko leštený kremenný povrch ďalej znižuje tvorbu častíc a riziká kontaminácie a je zváraný s vysokou pevnosťou skúsenými kremennými zváračkami a je možné ho prispôsobiť podľa potrieb zákazníka.

Na zlepšenie trvanlivosti a odolnosti proti tepelnému šoku v kremennej nádrži využíva Vetek aj proces žíhania na odstránenie tepelného stresu. Prostredníctvom tohto ošetrenia sa zvýši celková trvanlivosť a tepelná stabilita kremenného tanku.

VeTeksemi ponúka množstvo vlastných veľkostí a konfigurácií kremenných nádrží, aby vyhovovali potrebám rôznych procesov výroby polovodičov. Sme schopní prispôsobiť kremenné nádrže podľa požiadaviek zákazníka, vrátane vysokopevnostných zváracích prívodov, držiakov sond atď., aby sme zabezpečili, že každý výrobok presne zodpovedá špecifikácii zákazníka.

Ako pokročilý výrobca a dodávateľ produktov polovodičového kremeňa poskytuje Veteksemi rôzne kvalitné kremenné difúzne čln,Čln, Polovodičový kremeňový zvončeka iné produkty. VeTek semiconductor sa zaviazal poskytovať pokročilé a prispôsobiteľné technológie a riešenia produktov pre polovodičový priemysel. Úprimne dúfame, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.