Keramický elektrostatický skľučovadlo

Výrobné procesy polovodičov, najmä spracovanie oblátok, sa vykonávajú vo vákuovom prostredí a mechanicky upínajú doštičky 

určité riziká. Keď sa sila sústreďuje na upínací bod, krehké kremíkové doštičky môžu vyliať malé fragmenty, čo spôsobí vážne poškodenie výroby oblátok.

V tomto prípade sa keramická elektrostatická skľučovky stáva lepšou voľbou, ktorá upevňuje oblátku elektrostatickou silou. Elektrostatická sila pôsobí rovnomerne na oblátku, takže oblátka môže byť pevne fixovaná, čím sa zlepšuje presnosť procesu.

Podľa príslušných výskumných prác má keramický elektrostatický skľučovadlá silnejšie nasávanie ako iné elektrostatické skľučovanie. Napríklad keramický elektrostatický Chuck má oveľa silnejšie sanie ako Electrostatic Chuck Pet Film.

Keramika Chuck je zvyčajne vyrobená z vysoko výkonných keramických materiálov, ako sú AL2O3, ALN alebo SIC, ktoré majú vysokú tepelnú odolnosť, izoláciu a odolnosť proti korózii. Porézny SIC Ceramic Chuck je nielen stabilný pri extrémnych teplotách, ale tiež účinne zabraňuje degradácii keramiky v dôsledku chemických činidiel a leptania plazmy počas výrobného procesu.

Regulácia teploty: Vysoká tepelná vodivosť a stabilné tepelné vlastnosti keramických materiálov umožňujú keramické vákuové vákuum hlinitého, aby účinne kontrolovali teplotu, čím sa počas procesu optimalizuje distribúcia teploty.

Vákuová adaptabilita: Keramický elektrostatický Chuck je vhodný pre vákuové prostredie, najmä v procesoch leptania s nízkym tlakom a vysokej presnosti.

Nízka tvorba častíc: Porézny SIC keramický E-Chuck má hladký povrch, ktorý môže znížiť kontamináciu častíc počas upevnenia oblátok a pomáha zlepšiť výnos produktu.

Aplikácia: Používa sa hlavne pri výrobe polovodičov, odnímateľného keramického elektrostatického skľučenia poskytujúci presné polohovanie a stabilitu, čo je veľmi užitočné pre litografiu, leptanie a ďalšie výrobné procesy spracovania oblátkov polovodičov. Zaistite, aby bola oblátka počas spracovania neporušená a zlepšila kvalitu výroby čipov.

Je to polovodičKeramické výrobné obchody s elektronickým skrutkom: