Vákuový skľučovadlo

Aplikácia: 

Vysoko účinný vákuum Chuck vytvorené pre presnú adsorpciu a pevnú fixáciu doštičiek a ingotov. Je vhodný pre situácie vrátane výroby polovodičov, rezania doštičiek, presného spracovania, epitaxie vysokej teploty, leptania a implantácie iónov.

Hlavné parametre:

● Nastaviteľná pórovitosť (v rozmedzí od 10 do 200 μm).
● Schopné odolať ultra - vysokých teplotách (do ≤ 1600 ° C) a vykazovať vynikajúci odolnosť proti tepelnému nárazu.
● Adsorpčné vákuum: Norma je - 90 kPa (prispôsobiteľné na dosiahnutie 100 kPa).

● Rozmery sacieho pohára: môžu podporovať 4/6/8/12 - palce doštičiek a veľkosť ingotu je možné prispôsobiť podľa konkrétnych potrieb.

Ⅰ. Opis

Vetemicon Ceramic vákuum Chuck používa kombinovanú štruktúru poréznej keramiky a kovový vonkajší krúžok. Prostredníctvom prispôsobeného dizajnu vzduchových kanálov a pórov realizuje rovnomernú distribúciu adsorpčnej sily a vysokú stabilitu. Tento skľučovadlo je vhodné pre výrobu polovodičov, rezanie doštičiek, presné spracovanie atď. Môže pracovať vo vysokej teplote a nastavení pohybu vysokej rýchlosti a spĺňa požiadavky na kompatibilitu doštičiek/ingotov v rôznych veľkostiach.

Ⅱ. Základná štruktúra a materiálové výhody

Viacvrstvové zložené rozloženie:

✔ povrchová vrstva: Vyrobené z poréznej keramiky (môžete si vybrať medzi poréznym karbidom kremíka alebo poréznym grafitom). Priemer pórov je možné upraviť (10 - 200 μm), čo zaručuje, že adsorpčná sila sa rovnomerne prenesie na povrch doštičky, čím sa bráni budovaniu miestneho stresu.

✔ Matica: Zložené z vysoko tuhého kovového rámu (buď z nehrdzavejúcej ocele alebo zliatiny hliníka), ktorý ponúka štrukturálnu podporu a vzduchotesnosť.

✔ Dýchacie cesty a póry: Presne opracované vnútorné dýchacie cesty tvoria sieť spolu s rovnomerne rozmiestnenými mikropórmi. Toto nastavenie podporuje rýchlu extrakciu vákua (adsorpčná sila môže dosiahnuť až - 90 kPa) a okamžité uvoľnenie.

Ⅲ . Porovnanie matelesné charakteristiky

1. Porovnanie materiálových vlastností

2. Scenáre a prípady aplikácií

✔ Polovodičový výrobok

Epitaxiálny rast: Môže pevne adsorbovať doštičky SIC pri vysokých teplotách, čím bránia doštičkám deformovať a kontaminovať.

Littografia a leptanie: Umožňuje presné umiestnenie na platformách vysokej rýchlosti (zrýchlenie ≤10G), čím sa zabezpečuje presnosť grafického zarovnania.

✔ Ingot spracovanie

Rezanie a mletie: Môže adsorbovať ťažké ingoty (ako je zafír a ingoty karbidu), čím sa znižuje praskanie okrajov v dôsledku vibrácií.

✔ Vedecký výskum a špeciálne technológie

Vysoké - teplotné žíhanie: Pórovité kremíky - sacie šálky karbidu môžu pracovať nepretržite pri 1600 ° C bez deformácie alebo znečistenia.

Vákuová vrstva: S vysokým dizajnom vzduchu - tesnosti sa môže prispôsobiť dutinovému prostrediu PVD/CVD.

3. Prispôsobená služba

✔ Ponúkame prispôsobenie veľkosti a zaťaženia.

✔ Stomata a dýchacie cesty môžu byť optimalizované tak, aby vyhovovali špecifickým požiadavkám.

✔ Môže byť prispôsobený špeciálnym prostrediam.

Ⅳ. FAQ:

Ako vákuové skľučovky dosahujú kompatibilitu s oblátkami viacerých veľkosti (napr. 12/8/6 “)?

Otázka: Ako zapadá jeden skľučanie súčasne do 12-palcovej, 8-palcovej a 6-palcovej oblátky? Je nevyhnutná fyzická reštrukturalizácia?

A:Multi-dimenzionálna kompatibilita prostredníctvom adaptívneho rozdelenia dýchacích ciest a stomatálneho rozdelenia:

✔ Dynamická stomatálna kontrola: Stomata na povrchu hlupáka je distribuovaná v kruhovej oblasti a vzduchový obvod v rôznych oblastiach je riadený vonkajším ventilom.

Napríklad pri absorbovaní 8-palcovej oblátky sú povolené iba póry v centrálnej oblasti a vonkajšie póry sú uzavreté (aby sa zabránilo úniku adsorpčnej sily).

✔ Flexibilný dýchací dizajn: Sieť portov má modulárne rozloženie, ktoré sa zhoduje s okrajovými profilmi doštičiek rôznych veľkostí, aby sa zabezpečilo rovnomerné pokrytie adsorpčných síl. a Výhody sú nasledujúce:

Výmena nulového hardvéru: Nie je potrebné odstraňovať alebo vymeniť prísavkový pohár prostredníctvom softvéru alebo spínača plynového ventilu, je možné prispôsobiť rôznym veľkostiam.

Úspora nákladov: Znížte náklady na obnovu a prestoje zariadenia a zvýšite flexibilitu výrobnej linky.