Povlak z karbidu tantalu

VeTek semiconductor je popredný výrobca povlakových materiálov z karbidu tantalu pre polovodičový priemysel. Naše hlavné ponuky produktov zahŕňajú CVD povlakové diely z karbidu tantalu, spekané diely s povlakom TaC pre rast kryštálov SiC alebo proces epitaxie polovodičov. VeTek Semiconductor prešiel ISO9001 a má dobrú kontrolu kvality. VeTek Semiconductor je odhodlaný stať sa inovátorom v priemysle povlakov karbidu tantalu prostredníctvom prebiehajúceho výskumu a vývoja iteračných technológií.

Hlavnými produktmi súVodiaci krúžok potiahnutý TaC, Trojlístkový vodiaci krúžok potiahnutý CVD TaC, Halfmoon potiahnutý karbidom tantalu TaC, CVD TaC povlak planetárneho epitaxného susceptora SiC, Povlakový krúžok z karbidu tantalu, Porézny grafit potiahnutý karbidom tantalu, Rotačný susceptor povlaku TaC, Prsteň z karbidu tantalu, Rotačná doska povlaku TaC, Susceptor plátku potiahnutý TaC, Deflektorový krúžok potiahnutý TaC, Kryt CVD TaC, Skľučovadlo potiahnuté TaCatď., čistota je nižšia ako 5 ppm, môže spĺňať požiadavky zákazníka.

TaC povlakový grafit je vytvorený potiahnutím povrchu vysoko čistého grafitového substrátu jemnou vrstvou karbidu tantalu patentovaným procesom chemického nanášania z plynnej fázy (CVD). Výhoda je znázornená na obrázku nižšie:

Excellent properties of TaC coating graphite

Povlak z karbidu tantalu (TaC) si získal pozornosť vďaka svojmu vysokému bodu topenia až 3880°C, vynikajúcej mechanickej pevnosti, tvrdosti a odolnosti voči tepelným šokom, čo z neho robí atraktívnu alternatívu k procesom epitaxe zložených polovodičov s vyššími teplotnými požiadavkami, ako je Aixtron MOCVD systém a LPE SiC epitaxný proces. Má tiež široké uplatnenie v PVT metóde v procese rastu SiC kryštálov.

Kľúčové vlastnosti:

●Teplotná stabilita

●Ultra vysoká čistota

●Odolnosť voči H2, NH3, SiH4, Si

●Odolnosť voči tepelným zásobám

●Silná priľnavosť ku grafitu

●Konformné pokrytie povlakom

● Veľkosť do priemeru 750 mm (jediný výrobca v Číne dosahuje túto veľkosť)

Aplikácie:

●Nosič oblátok

● Indukčný vykurovací susceptor

● Odporové vykurovacie teleso

●Satelitný disk

●Sprchová hlavica

●Vodiaci krúžok

●LED prijímač Epi

●Vstrekovacia tryska

●Maskovací prsteň

● Tepelný štít

Povlak karbidu tantalu (TaC) na mikroskopickom priereze:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parameter povlaku VeTek Semiconductor Tantal Carbide Coating:

Fyzikálne vlastnosti povlaku TaC
Hustota	14,3 (g/cm³)
Špecifická emisivita	0.3
Koeficient tepelnej rozťažnosti	6.3 10^-6/K
Tvrdosť (HK)	2000 HK
Odpor	1×10^-5Ohm*cm
Tepelná stabilita	<2500 ℃
Veľkosť grafitu sa mení	-10~-20um
Hrúbka povlaku	≥20um typická hodnota (35um±10um)

Údaje o EDX povlaku TaC：

EDX data of TaC coating

Údaje o štruktúre kryštálov povlaku TaC:

Prvok	Atómové percento
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Priemerná
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC Coating Chuck Planetárny disk s povlakom TaC
TaC potiahnutá doska Rotačná doska povlaku TaC Prijímač povlaku TaC CVD TaC povlak Kryt CVD TaC povlakový krúžok TaC poťahová doska

View as

TaC povlakový krúžok

TAC povlakový kruh je vysokovýkonný komponent určený na použitie v polovodičových procesoch, vek-polovodičový TAC povlakový krúžok má vysokú tepelnú stabilitu, odolnosť proti chemickej korózii a vynikajúca mechanická pevnosť a špecificky sa používa na držanie a podporu doštičiek SIC počas procesu leptania, voči chemickej korózii kde presná kontrola a trvanlivosť sú nevyhnutné na dosiahnutie vysokokvalitných doštičiek. Tešíme sa na vašu ďalšiu konzultáciu.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

TAC povlaky téglika

Ako profesionálny TAC povlakový téglikový dodávateľ a výrobca v Číne hrá Crucible TAC Crucible TAC Semiconductor na nenahraditeľnú úlohu v procese rastu jednotlivých kryštálov v polovodičoch s vynikajúcou tepelnou vodivosťou, vynikajúcou chemickou stabilitou a zvýšenou odolnosťou proti korózii. Vitajte svoje ďalšie otázky.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

Vodiaci krúžok potiahnutý karbidom tantalu

Ako vedúci vodiaceho kruhu TAC vodiaceho kruhu TAC, dodávateľ a výrobca prsteňa, vodiaci krúžok potiahnutý karbidom vek -polovodičom Tantalum je dôležitým komponentom, ktorý sa používa na usmernenie a optimalizáciu toku reaktívnych plynov v metóde PVT (fyzická transport pary). Podporuje rovnomerné ukladanie jednotlivých kryštálov SIC v rastovej zóne úpravou distribúcie a rýchlosti prietoku plynu. Vetek Semiconductor je popredným výrobcom a dodávateľom prsteňov TAC Coating Rings v Číne a dokonca aj vo svete a tešíme sa na vašu konzultáciu.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

Tantalum karbid potiahnutý porézny grafit

Porézny grafit potiahnutý karbidom tantalu je nepostrádateľným produktom v procese spracovania polovodičov, najmä v procese rastu kryštálov SIC. Po neustálych investíciách do výskumu a vývoja a modernizácii technológií si kvalita produktu TaC Coated Porous Graphite od spoločnosti VeTek Semiconductor získala veľkú pochvalu od európskych a amerických zákazníkov. Vitajte na vašej ďalšej konzultácii.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

CVD TaC povlak planetárneho epitaxného susceptora SiC

Planetárny epitaxný susceptor SiC povlakom CVD TaC je jednou z hlavných súčastí planetárneho reaktora MOCVD. Prostredníctvom CVD TaC povlaku planetárneho epitaxného susceptora SiC sa veľký disk otáča a malý disk rotuje a model horizontálneho toku je rozšírený na viacčipové stroje, takže má vysokokvalitné riadenie rovnomernosti epitaxnej vlnovej dĺžky a optimalizáciu defektov -čipové stroje a výhody výrobných nákladov viacčipových strojov.VeTek Semiconductor môže zákazníkom poskytnúť vysoko prispôsobený planetárny epitaxný susceptor SiC povlak CVD TaC. Ak si aj vy chcete vyrobiť planétovú MOCVD pec ako Aixtron, príďte k nám!

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

Prsteň

Ako popredný výrobca a dodávateľ produktov potiahnutých TAC v Číne sa Vetek Semiconductor zameriava na výskum a vývoj a výrobu rôznych výrobkov TAC. Ako hlavní zákazníci výrobkov na povlaky TAC európski a americkí výrobcovia poskytli naše výrobky na povlaky veľkú chválu. Vitajte na vašej ďalšej konzultácii.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

Ako profesionál Povlak z karbidu tantalu výrobca a dodávateľ v Číne máme vlastnú továreň. Či už potrebujete prispôsobené služby, ktoré vyhovujú konkrétnym potrebám vášho regiónu alebo chcete kúpiť pokročilé a odolné Povlak z karbidu tantalu v Číne, môžete nám nechať správu.

QR kód

O nás

Produkty

Kontaktuj nás

Telefón
+86-15988690905
Fax
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Adresa
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi County, Jinhua City, Zhejiang Province, Čína

Webové menu

Vyhľadávanie produktov

Jazyk

Ukončiť ponuku

Povlak z karbidu tantalu

Kľúčové vlastnosti:

Aplikácie:

Povlak karbidu tantalu (TaC) na mikroskopickom priereze:

Parameter povlaku VeTek Semiconductor Tantal Carbide Coating:

Údaje o EDX povlaku TaC：

Údaje o štruktúre kryštálov povlaku TaC:

TaC povlakový krúžok

TAC povlaky téglika

Vodiaci krúžok potiahnutý karbidom tantalu

Tantalum karbid potiahnutý porézny grafit

CVD TaC povlak planetárneho epitaxného susceptora SiC

Prsteň

Odoslať dopyt

QR kód

O nás

Produkty

Kontaktuj nás

Telefón

Fax

E-mail

Adresa