Povlak z karbidu tantalu

VeTek semiconductor je popredný výrobca povlakových materiálov z karbidu tantalu pre polovodičový priemysel. Naše hlavné ponuky produktov zahŕňajú CVD povlakové diely z karbidu tantalu, spekané diely s povlakom TaC pre rast kryštálov SiC alebo proces epitaxie polovodičov. VeTek Semiconductor prešiel ISO9001 a má dobrú kontrolu kvality. VeTek Semiconductor je odhodlaný stať sa inovátorom v priemysle povlakov karbidu tantalu prostredníctvom prebiehajúceho výskumu a vývoja iteračných technológií.

Hlavnými produktmi súVodiaci krúžok potiahnutý TaC, Trojlístkový vodiaci krúžok potiahnutý CVD TaC, Halfmoon potiahnutý karbidom tantalu TaC, CVD TaC povlak planetárneho epitaxného susceptora SiC, Povlakový krúžok z karbidu tantalu, Porézny grafit potiahnutý karbidom tantalu, Rotačný susceptor povlaku TaC, Prsteň z karbidu tantalu, Rotačná doska povlaku TaC, Susceptor plátku potiahnutý TaC, Deflektorový krúžok potiahnutý TaC, Kryt CVD TaC, Skľučovadlo potiahnuté TaCatď., čistota je nižšia ako 5 ppm, môže spĺňať požiadavky zákazníka.

TaC povlakový grafit je vytvorený potiahnutím povrchu vysoko čistého grafitového substrátu jemnou vrstvou karbidu tantalu patentovaným procesom chemického nanášania z plynnej fázy (CVD). Výhoda je znázornená na obrázku nižšie:

Excellent properties of TaC coating graphite

Povlak z karbidu tantalu (TaC) si získal pozornosť vďaka svojmu vysokému bodu topenia až 3880°C, vynikajúcej mechanickej pevnosti, tvrdosti a odolnosti voči tepelným šokom, čo z neho robí atraktívnu alternatívu k procesom epitaxe zložených polovodičov s vyššími teplotnými požiadavkami, ako je Aixtron MOCVD systém a LPE SiC epitaxný proces. Má tiež široké uplatnenie v PVT metóde v procese rastu SiC kryštálov.

Kľúčové vlastnosti:

●Teplotná stabilita

●Ultra vysoká čistota

●Odolnosť voči H2, NH3, SiH4, Si

●Odolnosť voči tepelným zásobám

●Silná priľnavosť ku grafitu

●Konformné pokrytie povlakom

● Veľkosť do priemeru 750 mm (jediný výrobca v Číne dosahuje túto veľkosť)

Aplikácie:

●Nosič oblátok

● Indukčný vykurovací susceptor

● Odporové vykurovacie teleso

●Satelitný disk

●Sprchová hlavica

●Vodiaci krúžok

●LED prijímač Epi

●Vstrekovacia tryska

●Maskovací prsteň

● Tepelný štít

Povlak karbidu tantalu (TaC) na mikroskopickom priereze:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parameter povlaku VeTek Semiconductor Tantal Carbide Coating:

Fyzikálne vlastnosti povlaku TaC
Hustota	14,3 (g/cm³)
Špecifická emisivita	0.3
Koeficient tepelnej rozťažnosti	6.3 10^-6/K
Tvrdosť (HK)	2000 HK
Odpor	1×10^-5Ohm*cm
Tepelná stabilita	<2500 ℃
Veľkosť grafitu sa mení	-10~-20um
Hrúbka povlaku	≥20um typická hodnota (35um±10um)

Údaje o EDX povlaku TaC：

EDX data of TaC coating

Údaje o štruktúre kryštálov povlaku TaC:

Prvok	Atómové percento
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Priemerná
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC Coating Chuck Planetárny disk s povlakom TaC
TaC potiahnutá doska Rotačná doska povlaku TaC Prijímač povlaku TaC CVD TaC povlak Kryt CVD TaC povlakový krúžok TaC poťahová doska

View as

Kruh potiahnutý karbidom tantalu

Ako profesionálny inovátor a vodca kruhových kruhových výrobkov potiahnutých tantalom v Číne hrá kruhový kruh potiahnutý karbidom potiahnutým kruhom vetruktorom s nenápadnou úlohou pri raste SIC Crystal Rast s vynikajúcou vysokou odolnosťou voči vysokej teplote, odolnosťou proti opotrebeniu a vynikajúcej tepelnej vodivosti. Vitajte svoju ďalšiu konzultáciu.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

Pórovitý karbid

Vetek Semiconductor je profesionálny výrobca a vodca poréznych výrobkov karbidu tantalu v Číne. Porézny karbid tantalu sa zvyčajne vyrába metódou chemického depozície pary (CVD), ktorá zabezpečuje presnú kontrolu veľkosti a distribúcie pórov a je materiálnym nástrojom venovaným extrémnym prostredím s vysokou teplotou. Vitajte svoju ďalšiu konzultáciu.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

Vodiaci krúžok povlaku TaC

Sprievodný krúžok TAC Coating Vetek Semiconductor sa vytvorí nanášaním povlaku karbidu tantalu na grafitové časti pomocou vysoko pokročilej techniky nazývanej chemická depozícia pary (CVD). Táto metóda je dobre zavedená a ponúka výnimočné vlastnosti povlaku. Využitím vodiaceho krúžku TAC je možné výrazne rozšíriť životnosť grafitových komponentov, je možné potlačiť pohyb grafitových nečistôt a kvalitu jednokryštálového kryštálu SIC a AIN je možné spoľahlivo udržiavať. Vitajte v dopyte nás.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

Karbidový prsteň

Ako pokročilý výrobca a výrobca výrobkov z karbidu Tantalum v Číne má kruh karbidu Semiconductor Tantalum Vetek, ktorý je extrémne vysoký tvrdosť, odolnosť proti opotrebovaniu, vysokej teplotnej odolnosti a chemickej stabilite a široko sa používa v oblasti výroby polovodičov. Najmä pri CVD, PVD, procese implantácie iónov, procesu leptania a spracovania a prepravy oblátok je nevyhnutným produktom na spracovanie a výrobu polovodičov. Tešíme sa na vašu ďalšiu konzultáciu.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

Podpora povlaku z karbidu tantalum

Ako profesionálny výrobca produktov na podporu povlaku v Tantalum v Číne a továreň v Číne sa Vetek Semiconductor Tantalum Carbid Conter Fort obvykle používa na povrchové poťahovanie štrukturálnych komponentov alebo podporných komponentov v polovodičových zariadeniach, najmä na povrchovú ochranu komponentov kľúčových zariadení v polovodičových výrobných procesoch, ako sú CVD a PVD. Vitajte svoju ďalšiu konzultáciu.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

Vodiaci prsteň z karbidu tantalum

Vetek Semiconductor je profesionálny výrobca a vodca výrobkov z vodiaceho kruhu Tantalum Carbide Ring v Číne. Náš vodiaci kruh karbidu Tantalum (TAC) je vysoko výkonná zložka kruhu vyrobená z karbidu tantala, ktorá sa bežne používa v zariadeniach na spracovanie polovodičov, najmä vo vysokoteplotných a vysoko korozívnych prostrediach, ako je CVD, PVD, leptanie a difúzia. Vetek Semiconductor sa zaväzuje poskytovať pokročilé technologické a produktové riešenia pre priemysel polovodičov a víta vaše ďalšie otázky.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

Ako profesionál Povlak z karbidu tantalu výrobca a dodávateľ v Číne máme vlastnú továreň. Či už potrebujete prispôsobené služby, ktoré vyhovujú konkrétnym potrebám vášho regiónu alebo chcete kúpiť pokročilé a odolné Povlak z karbidu tantalu v Číne, môžete nám nechať správu.

QR kód

O nás

Produkty

Kontaktuj nás

Telefón
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Adresa
Wangda Road, ulica Ziyang, Wuyi County, Jinhua City, provincia Zhejiang, Čína

Webové menu

Vyhľadávanie produktov

Jazyk

Ukončiť ponuku

Povlak z karbidu tantalu

Kľúčové vlastnosti:

Aplikácie:

Povlak karbidu tantalu (TaC) na mikroskopickom priereze:

Parameter povlaku VeTek Semiconductor Tantal Carbide Coating:

Údaje o EDX povlaku TaC：

Údaje o štruktúre kryštálov povlaku TaC:

Kruh potiahnutý karbidom tantalu

Pórovitý karbid

Vodiaci krúžok povlaku TaC

Karbidový prsteň

Podpora povlaku z karbidu tantalum

Vodiaci prsteň z karbidu tantalum

Odoslať dopyt

QR kód

O nás

Produkty

Kontaktuj nás

Telefón

Fax

E-mail

Adresa