Povlak z karbidu tantalu

VeTek semiconductor je popredný výrobca povlakových materiálov z karbidu tantalu pre polovodičový priemysel. Naše hlavné ponuky produktov zahŕňajú CVD povlakové diely z karbidu tantalu, spekané diely s povlakom TaC pre rast kryštálov SiC alebo proces epitaxie polovodičov. VeTek Semiconductor prešiel ISO9001 a má dobrú kontrolu kvality. VeTek Semiconductor je odhodlaný stať sa inovátorom v priemysle povlakov karbidu tantalu prostredníctvom prebiehajúceho výskumu a vývoja iteračných technológií.

Hlavnými produktmi súVodiaci krúžok potiahnutý TaC, Trojlístkový vodiaci krúžok potiahnutý CVD TaC, Halfmoon potiahnutý karbidom tantalu TaC, CVD TaC povlak planetárneho epitaxného susceptora SiC, Povlakový krúžok z karbidu tantalu, Porézny grafit potiahnutý karbidom tantalu, Rotačný susceptor povlaku TaC, Prsteň z karbidu tantalu, Rotačná doska povlaku TaC, Susceptor plátku potiahnutý TaC, Deflektorový krúžok potiahnutý TaC, Kryt CVD TaC, Skľučovadlo potiahnuté TaCatď., čistota je nižšia ako 5 ppm, môže spĺňať požiadavky zákazníka.

TaC povlakový grafit je vytvorený potiahnutím povrchu vysoko čistého grafitového substrátu jemnou vrstvou karbidu tantalu patentovaným procesom chemického nanášania z plynnej fázy (CVD). Výhoda je znázornená na obrázku nižšie:

Excellent properties of TaC coating graphite

Povlak z karbidu tantalu (TaC) si získal pozornosť vďaka svojmu vysokému bodu topenia až 3880°C, vynikajúcej mechanickej pevnosti, tvrdosti a odolnosti voči tepelným šokom, čo z neho robí atraktívnu alternatívu k procesom epitaxe zložených polovodičov s vyššími teplotnými požiadavkami, ako je Aixtron MOCVD systém a LPE SiC epitaxný proces. Má tiež široké uplatnenie v PVT metóde v procese rastu SiC kryštálov.

Kľúčové vlastnosti:

●Teplotná stabilita

●Ultra vysoká čistota

●Odolnosť voči H2, NH3, SiH4, Si

●Odolnosť voči tepelným zásobám

●Silná priľnavosť ku grafitu

●Konformné pokrytie povlakom

● Veľkosť do priemeru 750 mm (jediný výrobca v Číne dosahuje túto veľkosť)

Aplikácie:

●Nosič oblátok

● Indukčný vykurovací susceptor

● Odporové vykurovacie teleso

●Satelitný disk

●Sprchová hlavica

●Vodiaci krúžok

●LED prijímač Epi

●Vstrekovacia tryska

●Maskovací prsteň

● Tepelný štít

Povlak karbidu tantalu (TaC) na mikroskopickom priereze:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parameter povlaku VeTek Semiconductor Tantal Carbide Coating:

Fyzikálne vlastnosti povlaku TaC
Hustota	14,3 (g/cm³)
Špecifická emisivita	0.3
Koeficient tepelnej rozťažnosti	6.3 10^-6/K
Tvrdosť (HK)	2000 HK
Odpor	1×10^-5Ohm*cm
Tepelná stabilita	<2500 ℃
Veľkosť grafitu sa mení	-10~-20um
Hrúbka povlaku	≥20um typická hodnota (35um±10um)

Údaje o EDX povlaku TaC：

EDX data of TaC coating

Údaje o štruktúre kryštálov povlaku TaC:

Prvok	Atómové percento
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Priemerná
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC Coating Chuck Planetárny disk s povlakom TaC
TaC potiahnutá doska Rotačná doska povlaku TaC Prijímač povlaku TaC CVD TaC povlak Kryt CVD TaC povlakový krúžok TaC poťahová doska

View as

Poťahová trubica TAC

TAC poťahová trubica TAC Vetek Semiconductor je kľúčovou súčasťou úspešného rastu jednotlivých kryštálov karbidu kremíka. Vďaka svojej vysokej teplotnej odolnosti, chemickej inerte a vynikajúcemu výkonu, ktorá zaisťuje výrobu vysoko kvalitných kryštálov s konzistentnými výsledkami. Dôverujte našim inovatívnym riešeniam na zlepšenie procesu rastu kryštálov SIC Crystal PVT a dosiahnutie vynikajúcich výsledkov.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

Náhradný diel TAC

Poter TAC sa v súčasnosti používa hlavne v procesoch, ako je napríklad rast s jedným kryštálom kremíka (Metóda PVT), epitaxiálny disk (vrátane epitaxie karbidu kremíka, LED epitaxia) atď. V kombinácii s dobrými dlhodobými stabilitami poťahovacej dosky TAC sa stala blúdkovacou doskou TAC pre náhradné diely TAC. Tešíme sa, že sa stanete našim dlhodobým partnerom.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

Gan na prijímači EPI

GAN na SIC Epi Spiceptor hrá dôležitú úlohu pri spracovaní polovodičov prostredníctvom svojej vynikajúcej tepelnej vodivosti, schopnosti spracovania vysokej teploty a chemickej stability a zaisťuje vysokú účinnosť a kvalitu materiálu procesu Epitaxiálneho rastu GAN. Vetek Semiconductor je profesionálny výrobca Číny spoločnosti GAN na SIC Epi Spiceptor, úprimne sa zrejme na vašu ďalšiu konzultáciu.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

CVD TAC Coating Coper

CVD TAC Coating Carrier je navrhnutý hlavne pre epitaxiálny proces výroby polovodičov. Ultra vysoký topenie CVD TAC TAC TAC, vynikajúca odolnosť proti korózii a vynikajúca tepelná stabilita určuje nevyhnutnosť tohto produktu v polovodičovom epitaxiálnom procese. Vitajte svoj ďalší dopyt.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

Grafitový prijímač potiahnutý TaC

VeTek Semiconductor's TaC Coated Graphite Susceptor využíva metódu chemického nanášania pár (CVD) na prípravu povlaku karbidu tantalu na povrchu grafitových častí. Tento proces je najzrelší a má najlepšie vlastnosti povlaku. Grafitový susceptor s povlakom TaC môže predĺžiť životnosť grafitových komponentov, zabrániť migrácii grafitových nečistôt a zabezpečiť kvalitu epitaxie. Tešíme sa na váš dopyt.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

Odtrh

Vetek Semiconductor predstavuje TAC Coating Suslector so svojím výnimočným povlakom TAC, tento prieskum ponúka množstvo výhod, ktoré ho odlišujú od konvenčných riešení. Bezproblémová intenzita do existujúcich systémov, TAC Coating Sustor od vettek Semiconductor zaručuje kompatibilitu a účinnú prevádzku. Jeho spoľahlivý výkon a vysoko kvalitný povlak TAC neustále prinášajú výnimočné výsledky v procesoch SIC Epitaxy. Zaviazali sme sa poskytovať kvalitné výrobky za konkurencieschopné ceny a tešíme sa, že sa stanete vaším dlhodobým partnerom v Číne.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

Ako profesionál Povlak z karbidu tantalu výrobca a dodávateľ v Číne máme vlastnú továreň. Či už potrebujete prispôsobené služby, ktoré vyhovujú konkrétnym potrebám vášho regiónu alebo chcete kúpiť pokročilé a odolné Povlak z karbidu tantalu v Číne, môžete nám nechať správu.

QR kód

O nás

Produkty

Kontaktuj nás

Telefón
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Adresa
Wangda Road, ulica Ziyang, Wuyi County, Jinhua City, provincia Zhejiang, Čína

Webové menu

Vyhľadávanie produktov

Jazyk

Ukončiť ponuku

Povlak z karbidu tantalu

Kľúčové vlastnosti:

Aplikácie:

Povlak karbidu tantalu (TaC) na mikroskopickom priereze:

Parameter povlaku VeTek Semiconductor Tantal Carbide Coating:

Údaje o EDX povlaku TaC：

Údaje o štruktúre kryštálov povlaku TaC:

Poťahová trubica TAC

Náhradný diel TAC

Gan na prijímači EPI

CVD TAC Coating Coper

Grafitový prijímač potiahnutý TaC

Odtrh

Odoslať dopyt

QR kód

O nás

Produkty

Kontaktuj nás

Telefón

Fax

E-mail

Adresa