TaC povlakový krúžok

TAC povlakový prsteň Vetetek Semiconductor je vytvorený z vysoko kvalitného grafitu a potiahnutý karbidom tantala (TAC), materiálom známym pre jeho vynikajúce vlastnosti, je nevyhnutnou súčasťou v polovodičovom spracovaní.

Kľúčové vlastnosti a výhody polovodičového povlakového krúžku VeTek:

● Vysoká tepelná stabilita: Jednou z vynikajúcich vlastností kruhu povlakového kruhu tantalu je jeho schopnosť odolávať vysokým teplotám, čo je kritický faktor pri leptaní polovodičov. Proces leptania SIC zahŕňa vystavenie zvýšeným teplotám a reaktívnym plynom a povlak karbidu tantalu zaisťuje, že kruh zostáva stabilný a zachováva jeho štrukturálnu integritu aj za týchto drsných podmienok. Táto tepelná odolnosť zaisťuje, že komponent naďalej vykonáva optimálne počas dlhších období.

● Vylepšená mechanická pevnosť: Kombinácia vysokopevnostného grafitu a povlaku TAC vedie k komponentu so zvýšenými mechanickými vlastnosťami, vďaka čomu je kruh potiahnutý TAC vysoko odolný voči opotrebeniu. Jeho mechanická pevnosť je rozhodujúca pri pevne držaní doštičiek SIC, zabezpečuje presné leptanie a zabránenie akejkoľvek deformácii počas procesu.

●  Odolnosť proti chemickej korózii: V polovodičových procesoch, ako je leptanie sic, sú komponenty často vystavené agresívnym chemikáliám a reaktívnym plynom. Karbidový povlak Tantalum poskytuje vynikajúcu ochranu proti korózii, výrazne predlžuje životnosť kruhu a minimalizuje potrebu častých náhrad. Tento odpor je obzvlášť dôležitý v procese leptania, kde sú komponenty v konštantnom kontakte s chemicky reaktívnymi látkami.

●  Vynikajúca povrchová úprava CoatiTaC pre lepší výkon: Povlak z karbidu tantalu na grafitovom prstenci poskytuje robustný povrch, ktorý zvyšuje celkový výkon komponentu. Karbid tantalu je známy svojou vysokou teplotou topenia (približne 3 880 °C) a vynikajúcou odolnosťou voči chemickým reakciám, najmä v agresívnom prostredí, s ktorým sa bežne stretávame počas procesov výroby polovodičov. Tento povlak z karbidu tantalu výrazne zlepšuje životnosť produktu a poskytuje vynikajúcu odolnosť v porovnaní s nepotiahnutými grafitovými krúžkami.

● Vylepšená mechanická pevnosť: Kombinácia vysokopevnostného grafitu a povlaku TAC vedie k komponentu so zvýšenými mechanickými vlastnosťami, vďaka čomu je kruh potiahnutý TAC vysoko odolný voči opotrebeniu. Jeho mechanická pevnosť je rozhodujúca pri pevne držaní doštičiek SIC, zabezpečuje presné leptanie a zabránenie akejkoľvek deformácii počas procesu.

Ako popredný dodávateľ, výrobca a továreň TaC Coating Ring v Číne sa VeTek Semiconductor už dlho zaväzuje poskytovať pokročilé produkty TaC Coating Ring a technické riešenia pre priemysel spracovania polovodičov a podporuje prispôsobené produktové služby. VeTekSemi sa úprimne teší, že sa stane vaším dlhodobým partnerom v Číne.

Fyzikálne vlastnosti povlaku TAC

Obchody s výrobkami TaC Coating Ring polovodičov VeTek