V nastaveniach rastu kryštálov SiC PVT sa grafitové časti prevádzkujú pri veľmi vysokých teplotách po dlhú dobu. Grafitový krúžok VeTek potiahnutý PyC je určený na tento druh povinnosti. Pyrolytická uhlíková vrstva sa nanáša na vysoko čistý grafit pomocou CVD. To dáva dielu lepšiu povrchovú stabilitu a menej častíc, ktoré odchádzajú počas prevádzky. Zvyčajne ho umiestnite do oblasti tepelného poľa, aby ste pomohli riadiť prúdenie pary a spôsob, akým sa teplo šíri vo vnútri pece. Povlak tiež spomaľuje sublimáciu grafitu pri teplotách nad 2200 °C, vďaka čomu celý komponent vydrží dlhšie.
● Hustý povlak PyC bez pórov: vytvára rovnomernú, tesnú vrstvu, ktorá znižuje priepustnosť plynov a kontamináciu časticami počas rastu kryštálov. ● Dobre zvláda vysoké teploty: zostáva štrukturálne pevný vo vákuu alebo inertnom plyne nad 2200 °C. ● Veľmi vysoká čistota: vyrobené z čisteného grafituplus vysoko čisté CVD, takže hladiny nečistôt zostávajú veľmi nízke. ● Dobrá odolnosť proti tepelným šokom: nízka tepelná rozťažnosť znamená, že vyžaduje rýchle zahriatie a ochladenie bez praskania. ● Lepšia odolnosť proti korózii: chráni grafitový substrát pred chemickým napadnutím a vysokoteplotnou sublimáciouškody. ● Dlhšia životnosť: vydrží oveľa dlhšie ako nepotiahnuté grafitové krúžky, takže pec nemusíte tak často opravovať.
Efekt pyrolytického uhlíkového povlaku pod mikroskopom 500X, s neporušeným a utesneným povrchom.
2. Technické špecifikácie
Položka
Jednotka
Typická hodnota
Kryštálová štruktúra
—
Šesťhranné
Zarovnanie
—
Orientované alebo neorientované v smere 001
Objemová hustota
g/cm³
~2.26
Mikroštruktúra
—
Polykryštalický / viacvrstvový grafén
Tvrdosť
GPa
1.4
Modul pružnosti
GPa
11
Typická hrúbka povlaku
μm
20–110
Drsnosť povrchu
μm
1.5
Čistota produktu
ppm
≤ 5 ppm
3. Aplikácie
Grafitový krúžok potiahnutý PyC je široko používaný v:
● Pece na rast monokryštálov SiC (metóda PVT) ● Systémy tepelných polí pre polovodiče tretej generácie ● Izolačné štruktúry na rast kryštálov pri vysokej teplote ● Systémy vedenia prúdenia pár ● Komponenty vysokoteplotnej vákuovej pece Polovodičové systémy tepelného manažmentu
4. Schopnosť výroby polovodičov VeTek
VeTek Semiconductor sa zameriava na pokročilé náterové materiály a grafitové časti tepelného poľa pre SiC a iné polovodičové aplikácie. Tu je to, čo robíme:
● Čistenie grafitu s vysokou čistotou ● Presné CNC obrábanie ● Pokročilý povlak CVD PyC ● Veľkorozmerná výroba komponentov tepelného poľa ● Vlastné riešenia tepelných polí ● Prísna kontrola kvality polovodičovej kvalityVyrábame tiež vlastné grafitové diely potiahnuté PyC na základe vašich výkresov alebo konfigurácií pecí.
For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
Súbory cookie používame, aby sme vám poskytli lepší zážitok z prehliadania, analyzovali návštevnosť stránok a prispôsobili obsah. Používaním tejto stránky súhlasíte s naším používaním cookies. Zásady ochrany osobných údajov