Trojpetový grafitový tlak

Troj-pevný grafický tlak Vetek Semiconductor, ktorý je navrhnutý pre proces rastu monokryštalického kremíka metódou CZ, je trojpový štruktúra grafitu Crucible vyrobená z izostatického grafitého materiálu s vysokou čistotou. Prostredníctvom inovatívnej trojpetovej štruktúry môže tradičný integrovaný téglik účinne vyriešiť ťažkosti s demontážou, koncentráciu tepelného stresu a ďalšie body bolesti v priemysle a široko sa používa vo fotovoltaických kremíkových doštičkách, polovodičových oblátkach a iných špičkových výrobných poliach.

Hlavný proces zvýrazňuje

1. Ultra-presné technológie spracovania grafitov

Čistota materiálu: Použitie izostatického stlačeného grafitového substrátu s obsahom popola <5ppm, ak je to potrebné, a zvyčajne ＜ 10 ppm na zabezpečenie nulového znečistenia v procese topenia kremíka

Štrukturálne posilnenie: Po grafite pri 2200 ℃ je ohybová pevnosť ≥ 45 MPa a koeficient tepelnej expanzie je ≤4,6 × 10⁻⁶/℃

Povrchové ošetrenie: 10-15 μm pyrolytický povlak uhlíka sa ukladá procesom CVD na zlepšenie odolnosti proti oxidácii (strata hmotnosti <1,5%/100H@1600℃).

2. Inovatívny dizajn trojpubného štruktúry

Modulárna montáž: 120 ° EXIPARTICKÁ TROBE-LOBE Štruktúra, inštalácia a účinnosť demontáže sa zvýšili o 300%

Návrh uvoľňovania stresu: Split Structure účinne rozptyľuje stres tepelného rozširovania a rozširuje životnosť na viac ako 200 cyklov

Presné prispôsobenie: Medzi ventilmi je <0,1 mm a keramické lepidlo s vysokou teplotou zaisťuje nulový únik v procese topenia kremíka

3. Prispôsobené spracovateľské služby

Podpora φ16 "-φ40" Prispôsobenie v plnej veľkosti, kontrola tolerancie hrúbky steny ± 0,5 mm

Štruktúra hustoty gradientu 1,83 g/cm3 je možné zvoliť na optimalizáciu distribúcie tepelného poľa

Poskytnite procesy s pridanou hodnotou, ako je kompozitný povlak nitridu bóru a posilnenie okraja kovu rénium

Typický scenár aplikácie

Fotovoltaický priemysel

Monokryštalická kremíková tyčinka Kontinuálny výkres: Vhodný pre výrobu kremíkových doštičiek s veľkou veľkou veľkosťou, podpora ≥ 500 kg zaťažovacia kapacita

Batéria Topcon n-type: Ultra nízka migrácia nečistoty zaručuje menšinový životnosť> 2 ms

Vylepšenie tepelného poľa: kompatibilné s hlavnými modelom s jedným kryštálom (PVI, Ferrotec atď.)

Výroba polovodičov

8-12 palcový monokryštalický rast kremíka: splniť polo štandardné požiadavky na čistotu tried-10

Špeciálne dotované kryštály: Presná kontrola uniformity distribúcie bóru/fosforu

Semiconductor tretej generácie: kompatibilný proces prípravy jednovrstvového SIC

Oblasť vedeckého výskumu

Výskum a vývoj ultra tenkých kremíkových doštičiek pre vesmírne solárne články

Test rastu nových kryštálových materiálov (Germanium, Gallium Arsenid)

Výskum limitu parametrov (3000 ℃ experiment s ultra vysokým teplotným topením)

Systém zabezpečenia kvality

ISO 9001/14001 Certifikácia duálneho systému

Poskytnite správu o testovaní materiálu pre zákazníkov (Analýza kompozície XRD, mikroštruktúra SEM)

Systém sledovania celého procesu (laserové označenie + skladovanie blockchain)