Prsteň potiahnutý PG (pyrolytickým grafitom).

Kľúčové vlastnosti

• Mimoriadne vysoká tepelná vodivosť – tepelná vodivosť pyrolytického grafitu v rovine môže dosiahnuť 1000–1800 W/m·K, čo znamená, že teplo sa šíri rýchlo a rovnomerne po prstenci.

• Vynikajúca stabilita tepelného poľa – Dizajn prirodzene znižuje teplotné gradienty a potláča lokálne horúce miesta, dokonca aj v zložitých vysokoteplotných systémoch.

• Vynikajúca odolnosť voči tepelným šokom – Vďaka nízkemu koeficientu tepelnej rozťažnosti si krúžok drží svoj tvar opakovanými cyklami zahrievania a chladenia bez deformácie.

• Vysokoteplotná schopnosť – Funguje spoľahlivo v inertnej atmosfére pri teplotách nad 2500 °C.

• Vysoká čistota, nízka kontaminácia – Uhlíkové vrstvy odvodené od CVD sú výnimočne čisté, pričom kovové nečistoty a odlupovanie častíc sú na minime.

• Dlhá životnosť – Lepší tepelný manažment spomaľuje opotrebovanie materiálu, takže získate predĺženú životnosť každej časti.

• Prispôsobiteľný dizajn – Ponúkame celý rad priemerov, hrúbok a špecifikácií povlaku, ktoré zodpovedajú rôznym polovodičovým nástrojom a potrebám procesov.

Prsteň s povlakom PG vs prsteň s povlakom PyC

Použite PG, ak sú vašimi hlavnými prioritami tepelná vodivosť a rovnomernosť teploty.

Vyberte si PyC, ak vás viac zaujíma odolnosť proti korózii, minimálna tvorba častíc a nákladová efektívnosť.

Aplikácie

Tieto PG potiahnuté krúžky sa už používajú v širokom spektre zariadení, vrátane:

• Systémy rastu kryštálov PVT SiC

• Polovodičové zostavy tepelného poľa

• Nástroje na rast kryštálov SiC

• Vysokoteplotné vákuové pece

• Systémy rýchleho tepelného spracovania (RTP).

• Žíhacie pece

• Difúzne pece

• Ochranné konštrukcie ohrievača

• Tepelné štíty

• Tepelnoizolačné zväzky

• A ďalšie ultra-vysokoteplotné polovodičové procesy

Prečo spolupracovať s VETEK?

• Nie sme sprostredkovateľ – všetko od obrábania grafitu až po finálnu povrchovú úpravu prebieha v našich vlastných zariadeniach.

• Naše interné možnosti pokrývajú čistenie, CNC obrábanie, nanášanie povlakov a úplnú kontrolu – všetko pod jednou strechou.

• Máme hlboké korene v materiáloch polovodičov a výkonovej elektroniky, takže rozumieme skutočným požiadavkám vašich procesov.

• Naše portfólio náterov zahŕňa SiC, TaC, PyC a vlastné návrhy tepelných polí – nie sme obmedzení na jednu technológiu.

• Potrebujete vlastné riešenie? Stačí sa podeliť o svoje výkresy alebo model zariadenia a náš inžiniersky tím bude s vami priamo spolupracovať.

• Udržiavame stabilný dodávateľský reťazec a záznamy o včasnom dodaní pre zákazníkov po celom svete.

• Zrátané a podčiarknuté: ponúkame jediný spoľahlivý zdroj pre polovodičové komponenty tepelného poľa a pokročilé materiály na báze uhlíka, od konceptu až po výrobu.