Pevný zaostrovací krúžok SiC

6. Hlavné oblasti použitia

7. Výhody jadra ohniskového jadra Veteksemi z pevného SiC

Vynikajúca odolnosť proti plazmovej korózii

Pri dlhodobom vystavení vysoko korozívnym plazmám s vysokou hustotou, ako sú CF4, O2 a Cl2, sú bežné materiály náchylné na rýchle opotrebovanie a kontamináciu časticami. Náš pevný zaostrovací krúžok SiC vykazuje vynikajúcu odolnosť proti korózii s oveľa nižšou rýchlosťou korózie ako materiály ako kremeň alebo oxid hlinitý. To znamená, že si zachováva hladký povrch v priebehu času, čím sa výrazne znižuje riziko defektov doštičiek spôsobených opotrebovaním komponentov a zabezpečuje nepretržitú a stabilnú hromadnú výrobu.

Vynikajúca stabilita pri vysokej teplote a výkon tepelného manažmentu

Proces leptania polovodičov vytvára značné teplo, čo spôsobuje, že komponenty komory zažívajú dramatické kolísanie teploty. Naše ohniskové krúžky majú extrémne nízky koeficient tepelnej rozťažnosti, schopné odolávať prechodným teplotám až do 1600 °C bez praskania alebo deformácie. Okrem toho ich vysoká tepelná vodivosť pomáha rovnomerne a rýchlo rozptyľovať teplo, čím účinne zlepšuje distribúciu teploty na okraji plátku, čím zvyšujerovnomernosť a konzistencia kritických rozmerov na celom plátku.

Mimoriadna čistota materiálu a štrukturálna hustota

Prísne kontrolujeme čistotu surovín karbidu kremíka (≥99,999 %) a eliminujeme kontamináciu kovov počas procesu spekania, aby sme splnili prísne požiadavky pokročilých výrobných procesov na kontrolu stopových nečistôt. Hustá štruktúra vytvorená vysokoteplotným spekaním má extrémne nízku pórovitosť, takmer úplne blokuje prienik procesných plynov a vedľajších produktov. Tým sa zabráni degradácii výkonu a rastu častíc spôsobených vnútornou degradáciou materiálu, čím sa zabezpečí čisté prostredie procesnej komory.

Dlhotrvajúca mechanická životnosť a komplexná nákladová efektívnosť

V porovnaní s konvenčným spotrebným materiálom, ktorý si vyžaduje častú výmenu, pevné zaostrovacie krúžky Veteksemi SiC ponúkajú výnimočnú odolnosť. Udržiavajú si stabilný výkon počas celej svojej životnosti a niekoľkokrát predlžujú cykly výmeny. To nielen priamo znižuje náklady na obstarávanie náhradných dielov, ale tiež výrazne zlepšuje využitie stroja znížením prestojov zariadení na údržbu, čo má za následok výrazné celkové úspory nákladov pre zákazníkov.

Presná kontrola veľkosti a flexibilné služby prispôsobenia

Rozumieme presným požiadavkám rôznych strojov a procesov na spotrebný materiál. Každý zaostrovací krúžok prechádza presným opracovaním a prísnym testovaním, aby sa zabezpečili kritické rozmerové tolerancie v rozmedzí ±0,05 mm. Ponúkame tiež prispôsobené služby, vrátane vlastných rozmerov, povrchových úprav (leštenie na Ra ≤ 0,2 μm) a úpravy vodivosti, aby dokonale vyhovovali vašim špecifickým procesným požiadavkám a aplikačným scenárom.

Ak chcete získať podrobné technické špecifikácie, biele knihy alebo opatrenia na testovanie vzoriek, kontaktujte náš tím technickej podpory a preskúmajte, ako môže Veteksemi zvýšiť efektivitu vášho procesu.