Chemický proces ukladania pary tuhý kruh na okraji SIC

CVD Process Solid SIC Edge Ring:

● Materiál: Zaostrený krúžok je vyrobený z pevného siC, vysokej čistoty a vysoko výkonného keramického materiálu. Je pripravený chemickým ukladaním pár. Materiálny materiál SIC poskytuje výnimočnú trvanlivosť, vysokú teplotu odporu a vynikajúce mechanické vlastnosti.

●  Výhody: Kruh SIC CVD ponúka vynikajúcu tepelnú stabilitu a udržiava svoju štrukturálnu integritu aj za podmienok vysokej teploty, s ktorými sa vyskytuje procesy suchého leptania. Jeho vysoká tvrdosť zaisťuje odolnosť voči mechanickému napätiu a opotrebeniu, čo vedie k predĺženej životnosti. Navyše, Solid SIC vykazuje chemickú inerte, chráni ju pred koróziou a udržiava jej výkon v priebehu času.

CVD SIC povlak:

●  Materiál: CVD SIC povlak je ukladanie tenkého filmu SIC pomocou techník chemického depozície pár (CVD). Poter sa nanáša na materiál substrátu, ako je grafit alebo kremík, na poskytnutie vlastností SIC na povrch.

●  Porovnanie: Zatiaľ čo povlaky SIC CVD ponúkajú určité výhody, ako je napríklad konformné ukladanie v zložitých tvaroch a laditeľné filmy, nemusia zodpovedať robustnosti a výkonu pevného SIC. Hrúbka povlaku, kryštalická štruktúra a drsnosť povrchu sa môžu meniť na základe parametrov procesu CVD, čo potenciálne ovplyvňuje trvanlivosť a celkový výkon povlaku.

Stručne povedané, kruh zaostrenia Solid So Solid SIC Vetek je výnimočnou voľbou pre aplikácie suchého leptania. Jeho tuhý SIC materiál zaisťuje vysokú teplotu odolnosti, vynikajúcu tvrdosť a chemickú inerte, čo z neho robí spoľahlivé a dlhotrvajúce roztok. Zatiaľ čo povlak CVD SIC ponúka flexibilitu v ukladaní, CVD SIC Ring vyniká pri poskytovaní neprekonateľnej trvanlivosti a výkonu potrebného na náročné procesy suchého leptania.

Fyzikálne vlastnosti pevného SIC