Nosič lodí s vysokou čistotou SIC

VeTekSemi Nosič doštičiek SiC s vysokou čistotou je dôležitým ložiskovým komponentom používaným v žíhacích peciach, difúznych peciach a iných zariadeniach v procese výroby polovodičov. Lodný nosič doštičiek SiC s vysokou čistotou je zvyčajne vyrobený z materiálu karbidu kremíka vysokej čistoty a obsahuje najmä tieto časti:

• Podpora lodí: konštrukcia podobná konzole, špeciálne používaná na prenášaniekremíkalebo iné polovodičové materiály.

• Podporná štruktúra: Jeho dizajn podpornej štruktúry mu umožňuje znášať veľké zaťaženie pri vysokých teplotách a počas ošetrenia s vysokou teplotou sa nebude deformovať ani poškodiť.

materiál z karbidu kremíka

Fyzické vlastnostiRekryštalizovaný kremíkový karbid：

Ak sú požiadavky na výrobný proces vyššie,CVD SiC povlakmožno vykonať na nosiči doštičiek SiC s vysokou čistotou, aby čistota dosiahla viac ako 99,99995 %, čím sa ďalej zlepšuje jeho odolnosť voči vysokej teplote.

Základné fyzikálne vlastnosti povlaku CVD SIC:

Počas spracovania pri vysokej teplote umožňuje člnový nosič doštičiek SiC s vysokou čistotou, aby sa kremíkový plátok zahrieval rovnomerne, aby sa zabránilo lokálnemu prehriatiu. Okrem toho vysoká teplotná odolnosť materiálu karbidu kremíka umožňuje zachovať štrukturálnu stabilitu pri teplotách 1200 °C alebo dokonca vyšších.

Počas procesu difúzie alebo žíhania spolupracujú konzolové pádlo a nosič lodí s vysokou čistotou SIC. Tenkonzolové pádloPomaly tlačí nosič lodí SIC s vysokou čistotou, ktorý nesie kremíkovú oblátku do pecnej komory, a zastaví ju v určenom polohe na spracovanie. 

Lodný nosič SiC doštičiek s vysokou čistotou udržiava kontakt s kremíkovým plátkom a je upevnený v špecifickej polohe počas procesu tepelného spracovania, zatiaľ čo konzolová lopatka pomáha udržiavať celú konštrukciu v správnej polohe a zároveň zaisťuje rovnomernosť teploty.

Nosič lodí s vysokou čistotou SIC a konzolové pádlo spolupracujú, aby sa zabezpečila presnosť a stabilita procesu vysokej teploty.

Je to polovodičvám poskytuje prispôsobený nosič člnov SiC s vysokou čistotou podľa vašich potrieb. Tešíme sa na váš dopyt.

Je to polovodičVysoko čistota SIC Wafer Wors Carrier Obchody: