Konzolová konzolová streda s vysokou čistotou

Rovina s vysokou čistotou SIC konzoly je kľúčovou súčasťou používanou v zariadení na spracovanie polovodičov. Produkt je vyrobený z materiálu karbidu kremíka s vysokou čistotou.  Zákazníci si môžu voľne zvoliť spekaný materiál SIC alebo rekrylovaný materiál SIC. S pomocou svojich vynikajúcich charakteristík vysokej čistoty, vysokej tepelnej stability a odolnosti proti korózii sa široko používa v procesoch, ako je prenos oblátky, podporná a vysokoteplotné spracovanie, poskytuje spoľahlivú záruku na zabezpečenie presnosti procesu a kvality produktu.

Vysoko čistota SIC konzolové pádlo hrá v procese spracovania polovodičov nasledujúce špecifické úlohy:

Prevod doštičiek: Skon konzolové konzolové pádlo s vysokou čistotou sa zvyčajne používa ako zariadenie prenosu oblátok vo vysokoteplotnej difúznej alebo oxidačnej peciach. Vďaka svojej vysokej tvrdosti je počas dlhodobého používania odolný voči opotrebeniu a nie je ľahké sa deformovať počas dlhodobého používania a môže zabezpečiť, aby oblátka zostala presne umiestnená počas procesu prenosu. V kombinácii s vysokou teplotou a odolnosťou proti korózii môže bezpečne prenášať doštičky dovnútra a von z pece vo vysoko teplotných prostrediach bez toho, aby spôsobili akékoľvek kontaminácie alebo poškodenie doštičiek.

Podpora: Materiál SIC má nízky koeficient tepelnej expanzie, čo znamená, že jeho veľkosť sa mení menej, keď sa teplota zmení, čo pomáha udržiavať presnú kontrolu v procese. V procesoch chemického depozície pár (CVD) alebo fyzikálneho ukladania pary (PVD) sa konzolové pádlo SIC používa na podporu a opravu oblátky, aby sa zabezpečilo, že doštička zostane stabilná a plochá počas procesu depozície, čím sa zlepší uniformita a kvalita filmu.

Aplikácia vysokoteplotných procesov: SOC konzolové pádlo má vynikajúcu tepelnú stabilitu a vydrží teploty až do 1600 ° C. Preto sa tento produkt široko používa pri žíhaní, oxidácii, difúzii a iných procesoch s vysokou teplotou.

Základné fyzikálne vlastnosti konzolového riečného pádla s vysokou čistotou:

Konzolová konzolová streda s vysokou čistotouobchod:

Prehľad priemyselného reťazca epitaxie polovodičov: