Surovina 7N CVD SiC s vysokou čistotou

1. Hlavné faktory výkonu

• Čistota stupňa 7N: Udržiavame stálu čistotu 99,99999 % (7N), pričom kovové nečistoty udržiavame na úrovniach ppb. To je nevyhnutné pre pestovanie poloizolačných kryštálov s vysokým odporom (HPSI) a zabezpečenie nulovej kontaminácie v napájacích alebo RF aplikáciách.
• Konštrukčná stabilita vs. C-Dust: Na rozdiel od tradičných práškov, ktoré majú tendenciu sa zrútiť alebo uvoľňovať jemné častice počas sublimácie, náš objem CVD s veľkými zrnami zostáva štrukturálne stabilný. To zabraňuje migrácii uhlíkového prachu (C-prach) do rastovej zóny – hlavnej príčiny kryštálových inklúzií a defektov mikrorúr.
• Optimalizovaná kinetika rastu: Navrhnutý pre priemyselnú výrobu, tento zdroj podporuje rýchlosť rastu až 1,46 mm/h. To predstavuje 2- až 3-násobné zlepšenie oproti 0,3 – 0,8 mm/h, ktoré sa bežne dosahujú konvenčnými metódami na báze prášku.
• Riadenie teplotného gradientu: Vysoká objemová hmotnosť a špecifická geometria našich blokov vytvára agresívnejší teplotný gradient v tégliku. To podporuje vyvážené uvoľňovanie výparov kremíka a uhlíka, čím sa zmierňujú výkyvy „skoré bohaté na Si / neskoré bohaté na C“, ktoré trápia štandardné procesy.
• Optimalizácia zaťaženia v tégliku: Náš materiál umožňuje 2 kg+ zvýšenie kapacity pre 8-palcové tégliky v porovnaní s práškovými metódami. To umožňuje rast dlhších ingotov na cyklus, čo priamo zlepšuje mieru výnosu po výrobe smerom k 100 %.

1. Technické špecifikácie

Porovnanie: Tradičný prášok vs. VETEK CVD Bulk