Hradlový prsteň SIC

V oblasti výroby polovodičov, SIC Edge Rings, ako základné komponenty vybavenia na spracovanie oblátok, revolúcia v priemyselnej krajine s ich materiálnymi vlastnosťami. Hodnota tejto presnej zložky vyrobeného z jednosmerných kryštálov z karbidu kremíka spočíva nielen v jej špičkovom obsahu, ale aj vo významnom zlepšení výnosu a optimalizácie prevádzkových nákladov, ktoré môže priniesť výrobcom ChIP.

Štrukturálne charakteristiky kruhu SIC okraja

Krúžky kremíkových karbidových okrajov sú kľúčové konzumné komponenty v zariadení na leptanie polovodičov a sú vyrobené z vysokoškolských materiálov karbidu kremíka pripravených metódou chemického depozície pary (CVD). Priemer jeho prstencovej štruktúry je zvyčajne 200-450 mm a hrúbka sa riadi v rámci 5-15 mm, čo predstavuje nasledujúce vlastnosti:

1.Extreme tolerancia: môže vydržať vysokoteplotné prostredie 1500 ℃

2. Stabilita plazmy: dielektrická konštanta 9,7, rozkladné napätie 3MV/cm

3. Geometrická presnosť: chyba Roundness ≤0,05 mm, drsnosť povrchu RA <0,2 μm

Prielom vo výrobnom procese

Proces modernej prípravy prijíma trojstupňovú metódu:

1. Vytváranie matice: Izostatické lisovanie na lisovanie zaisťuje rovnomernú hustotu

2. Vysokoteplotné spekanie: ošetrenie hustoty v inertnej atmosfére pri 2100 ℃

3. Povrchová modifikácia: Ochranné vrstvy nanomateriálov sa tvoria pomocou reaktívneho leptania iónov (RIE). Najnovší výskum ukazuje, že životnosť kremíkových kremíkových karbidových okrajov dotovaných s 3% bórom je zvýšená o 40% a miera kontaminácie oblátok je znížená na úroveň 0,01 ppm

Aplikačné scenáre

Vykazuje nenahraditeľnosť v procesoch pod 5nm:

2. Vylepšovanie jednotnosti: Môže udržať odchýlku rýchlosti leptania ± 1,5% na okraji oblátky

3. Kontrola znečistenia: Znižuje znečistenie kovov o 92% v porovnaní s tradičnými kremeňovými materiálmi

4. Cyklus údržby: Môže pracovať nepretržite 1500 hodín v plazme CF4/O2

Veteksemicon dosiahol prielom v domácej výrobe prsteňov SIC Edge, čo môže ušetriť veľa nákladov. Vitajte, kedykoľvek nás kontaktujte!