SiC Keramické vákuové skľučovadlo na doštičky

Keramické vákuové skľučovadlo Veteksemicon sic pre doštičky je základným komponentom vyvinutým špeciálne pre výrobu polovodičov tretej generácie, optimalizované pre vysokoteplotné a vysokotlakové spracovateľské prostredia, ktorým sú doštičky vystavené. Vyrobené z vysoko čistých keramických materiálov, presné opracovanie a špecializovaná povrchová úprava zaisťujú stabilný výkon vo vákuu a vynikajúcu tepelnú stabilitu v náročnom procese výroby polovodičov. Naše vákuové skľučovadlá boli v praxi overené stovkami výrobcov polovodičov a demonštrujú vynikajúci výkon v kritických procesoch, ako je SiC epitaxia, iónová implantácia a fotolitografia. Účinne riešia problémy s deformáciou plátkov a presnosťou polohovania spôsobené vysokou tvrdosťou materiálu a vysokými procesnými teplotami.

Všeobecné informácie o produkte

Obchodné podmienky produktu

Aplikácia: Keramické vákuové skľučovadlo Veteksemicon na doštičky je vyrobené z vysokovýkonných keramických materiálov a precízne opracované, aby sa zabezpečil ultra plochý povrch a vynikajúca tepelná stabilita. Poskytuje spoľahlivé riešenia na adsorpciu plátkov a kontrolu teploty pre procesy, ako je epitaxiálny rast, iónová implantácia a fotolitografia, čím sa účinne zlepšuje výťažok procesu a efektívnosť výroby.

Služby, ktoré je možné poskytnúť: analýza scenára zákazníckej aplikácie, párovanie materiálov, riešenie technických problémov.

Profil spoločnosti：Veteksemicon má 2 laboratóriá, tím odborníkov s 20-ročnými skúsenosťami s materiálmi, s výskumnými a vývojovými a výrobnými, testovacími a overovacími schopnosťami.

Keramické vákuové skľučovadlo Veteksemicon pre výhody jadra plátku

 ● Prielom v oblasti vedy o materiáloch

Môj rival využíva jedinečné zloženie materiálu a proces spekania na výrazné zvýšenie mechanickej pevnosti a tepelnej stability svojich výrobkov pri zachovaní vynikajúcich izolačných vlastností keramických materiálov. Naša keramika na báze oxidu hlinitého využíva vysoko čisté suroviny a špeciálne zloženie prísad, ktoré zaisťujú vynikajúcu rozmerovú stabilitu aj v prostredí s vysokou teplotou. Naša keramika na báze karbidu kremíka prostredníctvom optimalizovaného procesu spekania dosahuje vyššiu tepelnú vodivosť a zlepšené tepelné prispôsobenie, vďaka čomu je obzvlášť vhodná na vysokoteplotné spracovanie doštičiek SiC.

 ● Vynikajúci výkon tepelného manažmentu

Náš jedinečný viacvrstvový dizajn a presné opracovanie zaisťujú, že skľučovadlo si zachováva vynikajúcu tepelnú rovnomernosť aj pri prevádzkových podmienkach pri vysokých teplotách. Skľučovadlo z karbidu kremíka sa môže pochváliť tepelnou vodivosťou presahujúcou 200 W/m·K, čo umožňuje rýchle vyrovnávanie teploty a udržiavanie zmien povrchovej teploty plátku v rozmedzí ±0,8 °C. Táto vynikajúca schopnosť tepelného manažmentu účinne zabraňuje procesným chybám spôsobeným zmenami teploty a výrazne zlepšuje výťažnosť produktu.

● Ultra-presná technológia obrábania

Môj rival sa môže pochváliť poprednými centrami presného obrábania v Číne, ktoré využívajú jedinečné procesy brúsenia a leštenia na dosiahnutie submikrónovej rovinnosti povrchu. Naše skľučovadlá z karbidu kremíka dosahujú rovinnosť povrchu do 0,8 μm, pričom hodnota drsnosti povrchu Ra nie je väčšia ako 0,1 μm. Táto mimoriadne presná kvalita povrchu zaisťuje dokonalé uchytenie medzi plátkom a skľučovadlom a poskytuje spoľahlivé ploché referencie pre presné procesy, ako je fotolitografia.

● Vylepšená životnosť

Vďaka optimalizovanému zloženiu materiálov a zosilnenému konštrukčnému dizajnu majú naše produkty životnosť presahujúcu 40 % v porovnaní s tradičnými výrobkami. Špeciálne technológie spevnenia hrán a povrchovej úpravy umožňujú našim výrobkom vydržať časté upínacie a čistiace operácie. Produkty na báze oxidu hlinitého majú zaručenú viac ako 200 000-krát prevádzku, zatiaľ čo produkty na báze karbidu kremíka môžu dosiahnuť viac ako 500 000 cyklov, čo našim zákazníkom výrazne znižuje prevádzkové náklady.

● Potvrdenie o overení ekologického reťazca

Keramické vákuové skľučovadlo Veteksemicon na ekologické overenie reťaze plátkov pokrýva suroviny na výrobu, prešlo medzinárodnou štandardnou certifikáciou a má množstvo patentovaných technológií na zabezpečenie jeho spoľahlivosti a udržateľnosti v oblasti polovodičov a nových energetických odvetví.

Pre podrobné technické špecifikácie, biele knihy alebo vzorové testovacie opatrenia, prosímkontaktujte náš tím technickej podporypreskúmať, ako môže Veteksemicon zvýšiť efektivitu vášho procesu.