Prsteň

Veteksemi TAC potiahnutý prsteň je vysoko výkonný komponent prispôsobený pre procesy výroby polovodičov. Jeho jedinečne navrhnutý povlak karbidu Tantalum (TAC) poskytuje produktu vynikajúcu vysokú teplotnú odolnosť, odolnosť proti korózii a mechanickú stabilitu, čo výrazne zlepšuje životnosť a spoľahlivosť grafitových komponentov v polovodičových zariadeniach.

Vynikajúci výkon povlakov karbidov tantalu ：

● Ultra vysoký teplotný odpor: TAC povlaky môžu ľahko vydržať extrémne teploty až do 2200 ° C a zostať stabilné v prostredí tepelného nárazu bežné pri výrobe polovodičov.

● Vynikajúca chemická stabilita: povlak vykazuje silnú odolnosť voči bežným korozívnym plynom, ako je vodík, amoniak, silány a kremík, čo účinne chráni substrát pred chemickým útokom.

● Vynikajúce mechanické vlastnosti: povlak TAC má vysokú tvrdosť, vysoký odolnosť proti opotrebeniu a dobrý odolnosť proti tepelnému nárazu a môže dlho pracovať stabilne za tvrdých pracovných podmienok.

● Vynikajúca adhézia: povlak je pevne spojený s grafitovým substrátom, čo účinne bráni odlupovaniu povlaku a zabezpečuje konzistentný výkon počas celej životnosti produktu.

● Vysoká čistota: povlak TAC pripravený CVD má extrémne vysokú čistotu, čo minimalizuje zavedenie nečistôt a poskytuje čisté procesné prostredie pre výrobu polovodičov.

Výhody krúžkov potiahnutých karbidom Tantalum:

● Rozšírená životnosť zariadenia: TAC povlak účinne blokuje chemické reakcie a difúziu nečistoty, čo výrazne rozširuje životnosť grafitských komponentov a znižuje náklady na údržbu.

● Zlepšiť efektívnosť výroby: Vysoká teplota produktu a odolnosť proti korózii jej umožňuje pracovať za náročnejších podmienok, skrátenie výrobného cyklu a zvyšovanie výrobnej kapacity.

● Vylepšená kvalita produktu: Vysoko čistota TAC povlak pomáha znižovať kontamináciu a zaisťuje kvalitu a konzistentnosť polovodičových výrobkov.

Vetek Semiconductor sa špecializoval na výrobky poťahovania TAC, ako napríkladTAC povlak Chuck, Rotačná doska TAC, Odtrh, TAC potiahnutý doštičkový spicestormnoho rokov. Naše výrobky s kruhovým kruhom TAC majú funkcie rozšírenej životnosti zariadení, zlepšenej účinnosti výroby a zlepšenej kvality výrobkov. Zároveň sa Vetek Semiconductor už dlho zaviazal poskytovať pokročilé technológie a produktové riešenia pre polovodičový priemysel. 

Kvôli rôznym chemickým vlastnostiam materiálov grafit a karbidov tantalu sa koeficient tepelnej expanzie nezhoduje a je ľahké sa zahriať pri vysokej teplote vetekom Semiconductor prostredníctvom špecifického procesu na podporu tvorby latalu carbidu čiastočne naneseného na povrchu matrice a čiastočne preniknutím do grafitého matrixu. Týmto spôsobom je povlak karbidu tantalu pevne vnorený do grafitovej matrice prostredníctvom rastu in situ, čo významne zvyšuje väzobnú silu medzi povlakom a matricou a účinne zabraňuje odlupovaniu povlaku karbidu tantalu.

Tantalum karbid potiahnutý obchodmi: