Zaostrovací krúžok z pevného karbidu kremíka

Pevný zaostrovací krúžok z karbidu kremíka Veteksemicon je kľúčovým komponentom pri výrobe polovodičov, strategicky umiestnený mimo doštičky, aby sa zachoval priamy kontakt. Využitím aplikovaného napätia tento krúžok sústreďuje plazmu, ktorá ním prechádza, čím zvyšuje jednotnosť procesu na plátku. Tento zaostrovací krúžok, vyrobený výlučne z karbidu kremíka na chemické nanášanie pár (CVD SiC), stelesňuje výnimočné vlastnosti požadované polovodičovým priemyslom. My vo Veteksemicon sa venujeme výrobe a dodávaniu vysokovýkonných zaostrovacích krúžkov z karbidu kremíka, ktoré spájajú prémiovú kvalitu s nákladovou efektívnosťou.

Výhody produktu

V porovnaní s tradičnýmiZaostrovacie krúžky z kremíka (Si) alebo zo spekaného karbidu kremíka (spekané SiC), náš produkt vyniká v kľúčových rozmeroch:

Je pozoruhodné, že vodivosť karbidu kremíka a jeho odolnosť voči iónovému leptaniu sú veľmi podobné kremíku, čo zaisťuje kompatibilitu s existujúcimi výrobnými procesmi polovodičov a zároveň poskytuje vyšší výkon, vďaka čomu je zaostrovací krúžok Veteksemicon z tuhého karbidu kremíka ideálnou voľbou materiálu pre túto kritickú aplikáciu.

Pevný zaostrovací krúžok z karbidu kremíka Veteksemicon predstavuje najmodernejšie riešenie v oblasti výroby polovodičov. Plne využíva jedinečné materiálové výhody  CVD SiC na uľahčenie spoľahlivých, vysoko presných a vysoko účinných procesov leptania, čo výrazne prispieva k pokroku v oblasti polovodičovej technológie novej generácie.