Produkty
Konzolové pádlo z karbidu kremíka (SiC).
  • Konzolové pádlo z karbidu kremíka (SiC).Konzolové pádlo z karbidu kremíka (SiC).

Konzolové pádlo z karbidu kremíka (SiC).

Úlohou konzolového pádla z karbidu kremíka (SiC) v polovodičovom priemysle je podporovať a prepravovať doštičky. Pri vysokoteplotných procesoch, ako je difúzia a oxidácia, môže konzolová lopatka SiC stabilne niesť plátkové člny a plátky bez deformácie alebo poškodenia v dôsledku vysokej teploty, čo zaisťuje hladký priebeh procesu. Zjednotenie difúzie, oxidácie a iných procesov je rozhodujúce pre zlepšenie konzistencie a výťažku spracovania oblátok. VeTek Semiconductor využíva pokročilú technológiu na zostavenie konzolovej lopatky SiC s vysoko čistým karbidom kremíka, aby sa zabezpečilo, že doštičky nebudú kontaminované. VeTek Semiconductor sa teší na dlhodobú spoluprácu s vami na produktoch Cantilever Paddle z karbidu kremíka (SiC).

Konzolová lopatka z karbidu kremíka (SiC) je nepostrádateľným kľúčovým komponentom v procese spracovania plátkov. Je to hlavne súčasť systému dopravy oblátok. Preberá dôležitú úlohu nosenia a prepravy plátkov v zariadeniach, ako sú vysokoteplotné oxidačné difúzne pece, zabezpečuje sústrednosť plátku a rúrky pece a zlepšuje konzistenciu a výťažok spracovania plátkov.


SOL konzolové pádlo na konzoly má vynikajúci vysoký teplotný výkon: v prostredí s vysokou teplotou až do 1600 ℃ môže konzolové pádlo SIC stále udržiavať vysokú pevnosť a stabilitu, nebude deformovať, poškodiť a iné problémy a môže pracovať stabilne po dlhú dobu.


Silikónové konzolové pádlo konzoly je vyrobené z vysokokvalitného materiálu SIC a počas spracovania doštičiek sa nevypadnú žiadne častice, čím sa zabráni kontaminácii povrchu oblátky. Materiál z karbidu kremíka má vysokú pevnosť v ohybe a pri prenášaní väčšieho množstva doštičiek vydrží väčší stres a nie je náchylný na rozbitie, zabezpečuje bezpečnosť a stabilitu procesu prenosu doštičiek. Vynikajúca chemická stabilita SIC pomáha SIC konzolového pádla odolávať korózii z rôznych chemikálií a plynov, zabraňuje nečistotám v kontaminácii oblátky v dôsledku korózie materiálu a rozširuje služobnú životnosť produktu.


SiC Cantilever Paddle working diagram

SIC konzolové pádlo na pádlo pracovnej schémy


Produktové špecifikácie


● Rôzne veľkosti: Poskytujeme konzolové lopatky z karbidu kremíka (SiC) rôznych veľkostí, aby vyhovovali potrebám rôznych typov polovodičových zariadení a spracovania plátkov rôznych veľkostí.


●  Prispôsobená služba: Okrem produktov štandardnej špecifikácie vieme pre zákazníkov vytvoriť aj exkluzívne riešenia podľa ich špeciálnych požiadaviek, ako sú špecifická veľkosť, tvar, nosnosť atď.


●  Jednodielny formovací dizajn: Zvyčajne sa vyrába pomocou jednodielneho procesu formovania vrátane spojovacej sekcie, prechodnej časti a ložiskovej sekcie. Časti sú pevne prepojené a majú silnú integritu, čo účinne zlepšuje štrukturálnu silu a stabilitu produktu a znižuje riziko zlyhania spôsobeného slabými časťami pripojenia.


●  Zosilnená konštrukcia: Niektoré výrobky sú vybavené výstužnými štruktúrami v kľúčových častiach, ako je prechodná časť, ako je spodná doska, tlaková doska, spojovacia tyč atď., Ktoré ďalej zvyšujú pevnosť spojenia medzi prechodnou časťou a spojovacou časťou a časťou ložiska , zlepšuje spoľahlivosť konzolového pádla SIC s vysokou čistotou pri prenášaní oblátky a zabraňuje problémom, ako je zlomenina v prechodnej oblasti.


●  Špeciálny dizajn ložiska: Konštrukcia nosnej plochy plne zohľadňuje umiestnenie a prenos tepla plátku. Niektoré produkty sú vybavené drážkami v tvare písmena U, dlhými pásovými otvormi, pravouhlými otvormi a inými štruktúrami v oblasti ložiska, čo nielen znižuje hmotnosť samotnej ložiskovej plochy, ale tiež znižuje kontaktnú plochu s plátkom, aby sa zabránilo blokovaniu tepla. Zároveň dokáže zabezpečiť aj stabilitu oblátky pri prenose a zabrániť pádu oblátky.


Fyzikálne vlastnosti rekryštalizovaného karbidu kremíka :

Nehnuteľnosť
Typická hodnota
Pracovná teplota (°C)
1600 °C (s kyslíkom), 1700 °C (redukujúce prostredie)
obsah SiC
> 99,96 %
Bezplatný obsah SI
< 0,1 %
Objemová hustota
2,60-2,70 g/cm3
Zjavná pórovitosť
< 16 %
Zjavná pórovitosť
> 600 MPa
Pevnosť v ohybe za studena
80-90 MPa (20 ° C)
Pevnosť v ohýbaní
90-100 MPa (1400 ° C)
Tepelná expanzia @1500 ° C
4,70 10-6/° C
Tepelná vodivosť pri 1200°C
23 w/m • k
Modul pružnosti
240 GPa
Odolnosť voči tepelným šokom
Mimoriadne dobrý


Počas výrobného procesu musí každá konzolová lopatka z karbidu kremíka (SiC) prejsť prísnymi kontrolami kvality, vrátane kontroly rozmerovej presnosti, kontroly vzhľadu, testovania fyzikálnych vlastností, testovania chemickej stability atď., aby sa zabezpečilo, že produkt spĺňa vysoké štandardy kvality a môže spĺňať prísne požiadavky na spracovanie polovodičových doštičiek.


Vetek Semiconductor poskytuje celú škálu služieb po predaji. Ak sa zákazníci počas používania stretnú s akýmikoľvek problémami, profesionálny tím po predaji bude včas reagovať a poskytne zákazníkom rýchle a efektívne riešenia, aby sa zabezpečilo, že výroba zákazníkov nie je ovplyvnená.



Semiconductor VeTekVýrobné závody vysoko čistých SiC konzolových pádel:


SiC Coating substrateTaC coated guide ring testSilicon carbide ceramic processingSemiconductor process equipment

Hot Tags: Silikónový karbid (SIC) konzolové pádlo
Odoslať dopyt
Kontaktné informácie
Ak máte otázky týkajúce sa povlaku karbidu kremíka, povlaku karbidu tantalu, špeciálneho grafitu alebo cenníka, zanechajte nám svoj e-mail a my sa vám ozveme do 24 hodín.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept