Úlohou konzolového pádla z karbidu kremíka (SiC) v polovodičovom priemysle je podporovať a prepravovať doštičky. Pri vysokoteplotných procesoch, ako je difúzia a oxidácia, môže konzolová lopatka SiC stabilne niesť plátkové člny a plátky bez deformácie alebo poškodenia v dôsledku vysokej teploty, čo zaisťuje hladký priebeh procesu. Zjednotenie difúzie, oxidácie a iných procesov je rozhodujúce pre zlepšenie konzistencie a výťažku spracovania oblátok. VeTek Semiconductor využíva pokročilú technológiu na zostavenie konzolovej lopatky SiC s vysoko čistým karbidom kremíka, aby sa zabezpečilo, že doštičky nebudú kontaminované. VeTek Semiconductor sa teší na dlhodobú spoluprácu s vami na produktoch Cantilever Paddle z karbidu kremíka (SiC).
Konzolová lopatka z karbidu kremíka (SiC) je nepostrádateľným kľúčovým komponentom v procese spracovania plátkov. Je to hlavne súčasť systému dopravy oblátok. Preberá dôležitú úlohu nosenia a prepravy plátkov v zariadeniach, ako sú vysokoteplotné oxidačné difúzne pece, zabezpečuje sústrednosť plátku a rúrky pece a zlepšuje konzistenciu a výťažok spracovania plátkov.
SOL konzolové pádlo na konzoly má vynikajúci vysoký teplotný výkon: v prostredí s vysokou teplotou až do 1600 ℃ môže konzolové pádlo SIC stále udržiavať vysokú pevnosť a stabilitu, nebude deformovať, poškodiť a iné problémy a môže pracovať stabilne po dlhú dobu.
Silikónové konzolové pádlo konzoly je vyrobené z vysokokvalitného materiálu SIC a počas spracovania doštičiek sa nevypadnú žiadne častice, čím sa zabráni kontaminácii povrchu oblátky. Materiál z karbidu kremíka má vysokú pevnosť v ohybe a pri prenášaní väčšieho množstva doštičiek vydrží väčší stres a nie je náchylný na rozbitie, zabezpečuje bezpečnosť a stabilitu procesu prenosu doštičiek. Vynikajúca chemická stabilita SIC pomáha SIC konzolového pádla odolávať korózii z rôznych chemikálií a plynov, zabraňuje nečistotám v kontaminácii oblátky v dôsledku korózie materiálu a rozširuje služobnú životnosť produktu.
SIC konzolové pádlo na pádlo pracovnej schémy
Produktové špecifikácie
● Rôzne veľkosti: Poskytujeme konzolové lopatky z karbidu kremíka (SiC) rôznych veľkostí, aby vyhovovali potrebám rôznych typov polovodičových zariadení a spracovania plátkov rôznych veľkostí.
● Prispôsobená služba: Okrem produktov štandardnej špecifikácie vieme pre zákazníkov vytvoriť aj exkluzívne riešenia podľa ich špeciálnych požiadaviek, ako sú špecifická veľkosť, tvar, nosnosť atď.
● Jednodielny formovací dizajn: Zvyčajne sa vyrába pomocou jednodielneho procesu formovania vrátane spojovacej sekcie, prechodnej časti a ložiskovej sekcie. Časti sú pevne prepojené a majú silnú integritu, čo účinne zlepšuje štrukturálnu silu a stabilitu produktu a znižuje riziko zlyhania spôsobeného slabými časťami pripojenia.
● Zosilnená konštrukcia: Niektoré výrobky sú vybavené výstužnými štruktúrami v kľúčových častiach, ako je prechodná časť, ako je spodná doska, tlaková doska, spojovacia tyč atď., Ktoré ďalej zvyšujú pevnosť spojenia medzi prechodnou časťou a spojovacou časťou a časťou ložiska , zlepšuje spoľahlivosť konzolového pádla SIC s vysokou čistotou pri prenášaní oblátky a zabraňuje problémom, ako je zlomenina v prechodnej oblasti.
● Špeciálny dizajn ložiska: Konštrukcia nosnej plochy plne zohľadňuje umiestnenie a prenos tepla plátku. Niektoré produkty sú vybavené drážkami v tvare písmena U, dlhými pásovými otvormi, pravouhlými otvormi a inými štruktúrami v oblasti ložiska, čo nielen znižuje hmotnosť samotnej ložiskovej plochy, ale tiež znižuje kontaktnú plochu s plátkom, aby sa zabránilo blokovaniu tepla. Zároveň dokáže zabezpečiť aj stabilitu oblátky pri prenose a zabrániť pádu oblátky.
Fyzikálne vlastnosti rekryštalizovaného karbidu kremíka :
Nehnuteľnosť
Typická hodnota
Pracovná teplota (°C)
1600 °C (s kyslíkom), 1700 °C (redukujúce prostredie)
obsah SiC
> 99,96 %
Bezplatný obsah SI
< 0,1 %
Objemová hustota
2,60-2,70 g/cm3
Zjavná pórovitosť
< 16 %
Zjavná pórovitosť
> 600 MPa
Pevnosť v ohybe za studena
80-90 MPa (20 ° C)
Pevnosť v ohýbaní
90-100 MPa (1400 ° C)
Tepelná expanzia @1500 ° C
4,70 10-6/° C
Tepelná vodivosť pri 1200°C
23 w/m • k
Modul pružnosti
240 GPa
Odolnosť voči tepelným šokom
Mimoriadne dobrý
Počas výrobného procesu musí každá konzolová lopatka z karbidu kremíka (SiC) prejsť prísnymi kontrolami kvality, vrátane kontroly rozmerovej presnosti, kontroly vzhľadu, testovania fyzikálnych vlastností, testovania chemickej stability atď., aby sa zabezpečilo, že produkt spĺňa vysoké štandardy kvality a môže spĺňať prísne požiadavky na spracovanie polovodičových doštičiek.
Vetek Semiconductor poskytuje celú škálu služieb po predaji. Ak sa zákazníci počas používania stretnú s akýmikoľvek problémami, profesionálny tím po predaji bude včas reagovať a poskytne zákazníkom rýchle a efektívne riešenia, aby sa zabezpečilo, že výroba zákazníkov nie je ovplyvnená.
Semiconductor VeTekVýrobné závody vysoko čistých SiC konzolových pádel:
For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
Súbory cookie používame, aby sme vám poskytli lepší zážitok z prehliadania, analyzovali návštevnosť stránok a prispôsobili obsah. Používaním tejto stránky súhlasíte s naším používaním cookies.Zásady ochrany osobných údajov