Čo je to elektrostatický Chuck (ESC)?

Elektrostatický Chuck (ESC), tiež známy ako elektrostatický Chuck (ESC, E-Chuck), je svietidlo, ktoré využíva princíp elektrostatickej adsorpcie na udržanie a fixovanie adsorbovaného materiálu. Je vhodný pre vákuové a plazmové prostredie. Jeho hlavnou funkciou je adsorb ultra-Čistite tenké listy (ako sú kremíkové doštičky) a udržiavajte adsorbovaný materiál pri dobrej rovinnosti, čo môže tiež inhibovať deformáciu adsorbovaného materiálu počas procesu a môže upraviť teplotu adsorbátu.

Elektrostatický Chuck (ESC) je špeciálny typ skľučenia, ktorý využíva elektrostatickú silu na držanie, tlačenie a vyzdvihnutie objektov (obrobky). Akýkoľvek materiál nesie pozitívne a negatívne náboje, ktoré sú neviditeľné voľným okom. Ak je materiál umiestnený na ESC a bipolárne napätie sa aplikuje na vnútorné elektródy ESC, pozitívne a záporné náboje sa budú pohybovať vo vnútri materiálu, aby zodpovedali polarite vnútorných elektród ESC. Táto príťažlivosť medzi ESC a materiálom sa nazýva elektrostatická sila a je tiež základným princípom za našimi skľučovkami.

Výhody produktu

Má široký rozsah prevádzkovej teploty (-50 až 700 ℃)

Tieto elektrostatické sacie šálky majú vynikajúcu pevnosť, tepelnú vodivosť a odolnosť proti tepelnému nárazu a dokážu sa prispôsobiť širokému teplotnému rozsahu prostredníctvom proprietárneho regulácie odporu keramického objemu keramického objemu.

Vysoká odolnosť proti korózii

Tieto elektrostatické sacie šálky majú vynikajúcu odolnosť proti korózii voči halogénovým plynom.

Spracovanie s nízkym počtom častíc

Ošetrenie nízkych častíc sa dá dosiahnuť povrchovým ošetrením a špeciálnym čistením

Vysoká čistota

K dispozícii sú aj výrobky s čistotou 99,9% alebo vyššej.

Vyhrievacia funkcia

Technológia vkladania prvku vykurovania s vysokým presným vykurovaním môže byť integrovaná s funkciou ohrievača a teplota oblátky môže byť regulovaná v rámci ± 1%.

Chladič

Tieto elektrostatické sacie šálky majú extrémne vysoký chladiaci výkon pomocou keramických dosiek s vysokou tepelnou vodivosťou a chladiacimi doskami.

Rádifrekvenčná elektróda

Hromadné kovové elektródy môžu súčasne poskytovať stabilné upínanie oblátok a generovanie plazmy rádiovej frekvencie.

Parameter

1.V oblasti polovodičov a elektronickej výroby: Počas polovodičových a elektronických výrobných procesov sa používajú elektrostatické sacie šálky na opravu a manipuláciu s tenkými a krehkými kremíkovými doštičkami, doštičkami atď. Jeho výhody spočívajú v silnej adsorpčnej sile, bez mechanického stresu a jednoduchej prevádzke, ktoré účinne zlepšujú produkciu a kvalitu produktu.

2. Priemysel skla a keramiky: Počas procesov rezania, mletia a manipulácie so skleneným a keramikou môžu elektrostatické sacie šálky vykonávať nedeštruktívne operácie na krehkých materiáloch, čím sa znižuje miera rozbitia produktu.

3. Výroba presných strojov a optických komponentov: Pre presné stroje a optické komponenty môžu elektrostatické sacie šálky poskytnúť stabilnú adsorpčnú silu, pričom počas spracovania zabránia deformácii alebo škrabancom.

4. Automatizované výrobné linky: V automatizovaných výrobných vedeniach sa elektrostatické sacie šálky široko používajú pri polohovaní, manipulácii a montáži dielov atď., Zvyšujú mieru automatizácie a účinnosti výrobnej linky.