Povlak z karbidu tantalu

VeTek semiconductor je popredný výrobca povlakových materiálov z karbidu tantalu pre polovodičový priemysel. Naše hlavné ponuky produktov zahŕňajú CVD povlakové diely z karbidu tantalu, spekané diely s povlakom TaC pre rast kryštálov SiC alebo proces epitaxie polovodičov. VeTek Semiconductor prešiel ISO9001 a má dobrú kontrolu kvality. VeTek Semiconductor je odhodlaný stať sa inovátorom v priemysle povlakov karbidu tantalu prostredníctvom prebiehajúceho výskumu a vývoja iteračných technológií.

Hlavnými produktmi súVodiaci krúžok potiahnutý TaC, Trojlístkový vodiaci krúžok potiahnutý CVD TaC, Halfmoon potiahnutý karbidom tantalu TaC, CVD TaC povlak planetárneho epitaxného susceptora SiC, Povlakový krúžok z karbidu tantalu, Porézny grafit potiahnutý karbidom tantalu, Rotačný susceptor povlaku TaC, Prsteň z karbidu tantalu, Rotačná doska povlaku TaC, Susceptor plátku potiahnutý TaC, Deflektorový krúžok potiahnutý TaC, Kryt CVD TaC, Skľučovadlo potiahnuté TaCatď., čistota je nižšia ako 5 ppm, môže spĺňať požiadavky zákazníka.

TaC povlakový grafit je vytvorený potiahnutím povrchu vysoko čistého grafitového substrátu jemnou vrstvou karbidu tantalu patentovaným procesom chemického nanášania z plynnej fázy (CVD). Výhoda je znázornená na obrázku nižšie:

Excellent properties of TaC coating graphite

Povlak z karbidu tantalu (TaC) si získal pozornosť vďaka svojmu vysokému bodu topenia až 3880°C, vynikajúcej mechanickej pevnosti, tvrdosti a odolnosti voči tepelným šokom, čo z neho robí atraktívnu alternatívu k procesom epitaxe zložených polovodičov s vyššími teplotnými požiadavkami, ako je Aixtron MOCVD systém a LPE SiC epitaxný proces. Má tiež široké uplatnenie v PVT metóde v procese rastu SiC kryštálov.

Kľúčové vlastnosti:

●Teplotná stabilita

●Ultra vysoká čistota

●Odolnosť voči H2, NH3, SiH4, Si

●Odolnosť voči tepelným zásobám

●Silná priľnavosť ku grafitu

●Konformné pokrytie povlakom

● Veľkosť do priemeru 750 mm (jediný výrobca v Číne dosahuje túto veľkosť)

Aplikácie:

●Nosič oblátok

● Indukčný vykurovací susceptor

● Odporové vykurovacie teleso

●Satelitný disk

●Sprchová hlavica

●Vodiaci krúžok

●LED prijímač Epi

●Vstrekovacia tryska

●Maskovací prsteň

● Tepelný štít

Povlak karbidu tantalu (TaC) na mikroskopickom priereze:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parameter povlaku VeTek Semiconductor Tantal Carbide Coating:

Fyzikálne vlastnosti povlaku TaC
Hustota	14,3 (g/cm³)
Špecifická emisivita	0.3
Koeficient tepelnej rozťažnosti	6.3 10^-6/K
Tvrdosť (HK)	2000 HK
Odpor	1×10^-5Ohm*cm
Tepelná stabilita	<2500 ℃
Veľkosť grafitu sa mení	-10~-20um
Hrúbka povlaku	≥20um typická hodnota (35um±10um)

Údaje o EDX povlaku TaC：

EDX data of TaC coating

Údaje o štruktúre kryštálov povlaku TaC:

Prvok	Atómové percento
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Priemerná
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC Coating Chuck Planetárny disk s povlakom TaC
TaC potiahnutá doska Rotačná doska povlaku TaC Prijímač povlaku TaC CVD TaC povlak Kryt CVD TaC povlakový krúžok TaC poťahová doska

View as

Rotačná doska TAC

Doska na rotáciu TAC vyrábaná spoločnosťou Vetek Semiconductor sa môže pochváliť vynikajúcou povlakom TAC s výnimočným povlakom TAC, TAC Coating Plate sa môže pochváliť pozoruhodnou vysokou teplotou odporu a chemickej inerte, ktorá ho odlišuje od tradičných riešení. Zaviazali sme sa poskytovať kvalitné výrobky za konkurencieschopné ceny a tešíme sa na to, že by ste mali byť svojím dlhoročným partnerom v Číne.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

Poťahová doska

Navrhnutá s presnosťou a skonštruovanou k dokonalosti, je povlaková doska TAC Vetek Semiconductor špecificky prispôsobená rôznym aplikáciám v procesoch s jedným kryštalickým rastom kremíka (SIC). Jeho spoľahlivý výkon a vysoko kvalitný náter prispievajú k konzistentným a jednotným výsledkom v aplikáciách rastu kryštálov SIC. Zaviazali sme sa poskytovať kvalitné výrobky za konkurencieschopné ceny a tešíme sa, že sa stanete vaším dlhodobým partnerom v Číne.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

CVD TAC Cover Cover

Pokrytie potiahnutia TAC CVD poskytované spoločnosťou Vetek Semiconductor je vysoko špecializovaný komponent určený špeciálne pre náročné aplikácie. Vďaka svojim pokročilým vlastnostiam a výnimočným výkonom ponúka náš kryt CVD TAC niekoľko kľúčových výhod. Tour CVD TAC Cover Cover poskytuje potrebnú ochranu a výkon potrebnú na úspech. Tešíme sa na preskúmanie potenciálnej spolupráce s vami!

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

TAC Coating Planetary Suslector

Planéta TAC Coating Planetary Spiceptor je výnimočný produkt pre vybavenie Aixtron Epitaxy. Poter TAC Semiconductor spoločnosti Vetek poskytuje vynikajúcu vysokú teplotu odolnosti a chemickú inertnosť. Táto jedinečná kombinácia zaisťuje spoľahlivý výkon a dlhú životnosť, dokonca aj v náročných prostrediach. Vetek sa zaväzuje poskytovať kvalitné výrobky a slúžiť ako dlhodobý partner na čínskom trhu s konkurenčnými cenami.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

TAC povlaková podstavcová doska

Poter TAC vydrží vysokú teplotu 2200 ℃. Vetek Semiconductor poskytuje TAC s vysokou čistotou s nečistotami pod 17 ppm v Číne. TAC povlaková podstavcová doska je schopná odolať amoniakový vodík, argonín v komore reakcie epitaxiálne zariadenia. Zlepšuje životnosť produktu. Poskytujete požiadavky, poskytujeme prispôsobenie.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

TAC povlak Chuck

TAC Coating Chuck od spoločnosti Vetek Semiconductor má vysoko kvalitný náter na povrch, ktorý je známy pre jeho vynikajúcu vysokú teplotu rezistencie a chemickú inertnosť, najmä v procesoch epitaxie kremíka (SIC) (SIC) (EPI). Vďaka svojim výnimočným vlastnostiam a vynikajúcemu výkonu ponúka náš TAC Coating Chuck niekoľko kľúčových výhod. Zaviazali sme sa poskytovať kvalitné výrobky za konkurencieschopné ceny a tešíme sa, že sa stanete vaším dlhodobým partnerom v Číne.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

Ako profesionál Povlak z karbidu tantalu výrobca a dodávateľ v Číne máme vlastnú továreň. Či už potrebujete prispôsobené služby, ktoré vyhovujú konkrétnym potrebám vášho regiónu alebo chcete kúpiť pokročilé a odolné Povlak z karbidu tantalu v Číne, môžete nám nechať správu.

QR kód

O nás

Produkty

Kontaktuj nás

Telefón
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Adresa
Wangda Road, ulica Ziyang, Wuyi County, Jinhua City, provincia Zhejiang, Čína

Webové menu

Vyhľadávanie produktov

Jazyk

Ukončiť ponuku

Povlak z karbidu tantalu

Kľúčové vlastnosti:

Aplikácie:

Povlak karbidu tantalu (TaC) na mikroskopickom priereze:

Parameter povlaku VeTek Semiconductor Tantal Carbide Coating:

Údaje o EDX povlaku TaC：

Údaje o štruktúre kryštálov povlaku TaC:

Rotačná doska TAC

Poťahová doska

CVD TAC Cover Cover

TAC Coating Planetary Suslector

TAC povlaková podstavcová doska

TAC povlak Chuck

Odoslať dopyt

QR kód

O nás

Produkty

Kontaktuj nás

Telefón

Fax

E-mail

Adresa