Povlak z karbidu tantalu

VeTek semiconductor je popredný výrobca povlakových materiálov z karbidu tantalu pre polovodičový priemysel. Naše hlavné ponuky produktov zahŕňajú CVD povlakové diely z karbidu tantalu, spekané diely s povlakom TaC pre rast kryštálov SiC alebo proces epitaxie polovodičov. VeTek Semiconductor prešiel ISO9001 a má dobrú kontrolu kvality. VeTek Semiconductor je odhodlaný stať sa inovátorom v priemysle povlakov karbidu tantalu prostredníctvom prebiehajúceho výskumu a vývoja iteračných technológií.

Hlavnými produktmi súVodiaci krúžok potiahnutý TaC, Trojlístkový vodiaci krúžok potiahnutý CVD TaC, Halfmoon potiahnutý karbidom tantalu TaC, CVD TaC povlak planetárneho epitaxného susceptora SiC, Povlakový krúžok z karbidu tantalu, Porézny grafit potiahnutý karbidom tantalu, Rotačný susceptor povlaku TaC, Prsteň z karbidu tantalu, Rotačná doska povlaku TaC, Susceptor plátku potiahnutý TaC, Deflektorový krúžok potiahnutý TaC, Kryt CVD TaC, Skľučovadlo potiahnuté TaCatď., čistota je nižšia ako 5 ppm, môže spĺňať požiadavky zákazníka.

TaC povlakový grafit je vytvorený potiahnutím povrchu vysoko čistého grafitového substrátu jemnou vrstvou karbidu tantalu patentovaným procesom chemického nanášania z plynnej fázy (CVD). Výhoda je znázornená na obrázku nižšie:

Excellent properties of TaC coating graphite

Povlak z karbidu tantalu (TaC) si získal pozornosť vďaka svojmu vysokému bodu topenia až 3880°C, vynikajúcej mechanickej pevnosti, tvrdosti a odolnosti voči tepelným šokom, čo z neho robí atraktívnu alternatívu k procesom epitaxe zložených polovodičov s vyššími teplotnými požiadavkami, ako je Aixtron MOCVD systém a LPE SiC epitaxný proces. Má tiež široké uplatnenie v PVT metóde v procese rastu SiC kryštálov.

Kľúčové vlastnosti:

●Teplotná stabilita

●Ultra vysoká čistota

●Odolnosť voči H2, NH3, SiH4, Si

●Odolnosť voči tepelným zásobám

●Silná priľnavosť ku grafitu

●Konformné pokrytie povlakom

● Veľkosť do priemeru 750 mm (jediný výrobca v Číne dosahuje túto veľkosť)

Aplikácie:

●Nosič oblátok

● Indukčný vykurovací susceptor

● Odporové vykurovacie teleso

●Satelitný disk

●Sprchová hlavica

●Vodiaci krúžok

●LED prijímač Epi

●Vstrekovacia tryska

●Maskovací prsteň

● Tepelný štít

Povlak karbidu tantalu (TaC) na mikroskopickom priereze:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parameter povlaku VeTek Semiconductor Tantal Carbide Coating:

Fyzikálne vlastnosti povlaku TaC
Hustota	14,3 (g/cm³)
Špecifická emisivita	0.3
Koeficient tepelnej rozťažnosti	6.3 10^-6/K
Tvrdosť (HK)	2000 HK
Odpor	1×10^-5Ohm*cm
Tepelná stabilita	<2500 ℃
Veľkosť grafitu sa mení	-10~-20um
Hrúbka povlaku	≥20um typická hodnota (35um±10um)

Údaje o EDX povlaku TaC：

EDX data of TaC coating

Údaje o štruktúre kryštálov povlaku TaC:

Prvok	Atómové percento
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Priemerná
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC Coating Chuck Planetárny disk s povlakom TaC
TaC potiahnutá doska Rotačná doska povlaku TaC Prijímač povlaku TaC CVD TaC povlak Kryt CVD TaC povlakový krúžok TaC poťahová doska

View as

CVD TAC povlakový prsteň

V polovodičovom priemysle je CVD TAC povlakový kruh veľmi výhodnou súčasťou navrhnutou na splnenie náročných požiadaviek procesov rastu kryštálov kremíka (SIC). CVD CVD TAC povlakový krúžok spoločnosti Vetek Semiconductor poskytuje vynikajúcu vysokú teplotu odolnosť a chemickú inerte, čo z neho robí ideálnu voľbu pre prostredia charakterizované zvýšenými teplotami a korozívnymi podmienkami. Zaviazali sme sa k vytváraniu efektívnej výroby kremíkových karbidových doplnkov. Pls Neváhajte a kontaktujte nás pre ďalšie otázky.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

LPE SIC Epi Halfmoon

LPE SiC Epi Halfmoon je špeciálny dizajn pre horizontálnu epitaxnú pec, revolučný produkt navrhnutý na zlepšenie procesov epitaxie SiC reaktora LPE. Toto špičkové riešenie sa môže pochváliť niekoľkými kľúčovými funkciami, ktoré zaisťujú vynikajúci výkon a efektivitu počas vašich výrobných operácií.Vetek Semiconductor je profesionál vo výrobe LPE SiC Epi halfmoon v 6 palcov, 8 palcov. Tešíme sa na nadviazanie dlhodobej spolupráce s vami.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

LED EPI

Vetek Semiconductor je popredným dodávateľom TAC povlakov a grafitých častí SIC. Špecializujeme sa na výrobu špičkových LED LED Epicestorov, ktoré sú nevyhnutné pre procesy epitaxie LED. Tešíme sa na vašu ďalšiu konzultáciu.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

Susceptor MOCVD s povlakom TaC

VeTek Semiconductor je komplexným dodávateľom zaoberajúcim sa výskumom, vývojom, výrobou, dizajnom a predajom povlakov TaC a dielov povlakov SiC. Naša odbornosť spočíva vo výrobe najmodernejších MOCVD susceptorov s povlakom TaC, ktoré zohrávajú dôležitú úlohu v procese epitaxie LED. Vítame vás, aby ste s nami prediskutovali otázky a ďalšie informácie.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

Hlboký UV LED susceptor potiahnutý TaC

TaC povlak je nová generácia povlakov vyvinutá pre drsné prostredie. VeTek Semiconductor je integrovaný dodávateľ zaoberajúci sa výskumom a vývojom, výrobou, dizajnom a predajom povlakov TaC. Špecializujeme sa na výrobu TaC potiahnutých UV LED susceptorov na rezanie hrán, ktoré sú kľúčovými komponentmi v procese epitaxie LED. Náš TaC Coated Deep UV LED Susceptor ponúka vysokú tepelnú vodivosť, vysokú mechanickú pevnosť, zlepšenú efektivitu výroby a epitaxnú ochranu plátku. Vitajte a spýtajte sa nás.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

Tantalum karbid TAC potiahnutý polmou

Časti Halfmoon potiahnuté CVD TAC povlakom, je trvanlivejšie ako potiahnuté potiahnuté časti SIC. cena. Ste vítaní navštíviť našu továreň, kde nájdete ďalšiu diskusiu o dlhodobej spolupráci.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

Ako profesionál Povlak z karbidu tantalu výrobca a dodávateľ v Číne máme vlastnú továreň. Či už potrebujete prispôsobené služby, ktoré vyhovujú konkrétnym potrebám vášho regiónu alebo chcete kúpiť pokročilé a odolné Povlak z karbidu tantalu v Číne, môžete nám nechať správu.

QR kód

O nás

Produkty

Kontaktuj nás

Telefón
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Adresa
Wangda Road, ulica Ziyang, Wuyi County, Jinhua City, provincia Zhejiang, Čína

Webové menu

Vyhľadávanie produktov

Jazyk

Ukončiť ponuku

Povlak z karbidu tantalu

Kľúčové vlastnosti:

Aplikácie:

Povlak karbidu tantalu (TaC) na mikroskopickom priereze:

Parameter povlaku VeTek Semiconductor Tantal Carbide Coating:

Údaje o EDX povlaku TaC：

Údaje o štruktúre kryštálov povlaku TaC:

CVD TAC povlakový prsteň

LPE SIC Epi Halfmoon

LED EPI

Susceptor MOCVD s povlakom TaC

Hlboký UV LED susceptor potiahnutý TaC

Tantalum karbid TAC potiahnutý polmou

Odoslať dopyt

QR kód

O nás

Produkty

Kontaktuj nás

Telefón

Fax

E-mail

Adresa