Pevný karbid kremíka

VeTek Semiconductor Solid Silicon Carbide je dôležitou keramickou zložkou v zariadeniach na plazmové leptanie, pevný karbid kremíka (CVD karbid kremíka) časti v leptacom zariadení zahŕňajúzaostrovacie krúžky, plynová sprchová hlavica, podnos, okrajové krúžky atď. Vďaka nízkej reaktivite a vodivosti pevného karbidu kremíka (CVD karbid kremíka) na leptacie plyny obsahujúce chlór a fluór je ideálnym materiálom pre zariadenia na plazmové leptanie, zaostrovacie krúžky a iné komponentov.

Napríklad zaostrovací krúžok je dôležitou súčasťou umiestnenou mimo doštičky a v priamom kontakte s doštičkou, privedením napätia na krúžok na zaostrenie plazmy prechádzajúcej prstencom, čím sa plazma zaostrí na doštičku, aby sa zlepšila rovnomernosť spracovanie. Tradičný zaostrovací krúžok je vyrobený zo silikónu respkremeň, vodivý kremík ako bežný ohniskový prstencový materiál, je takmer blízky vodivosti kremíkových plátkov, ale nedostatkom je slabá odolnosť proti leptaniu v plazme s obsahom fluóru, materiáloch na leptanie častí strojov, ktoré sa často používajú po určitú dobu, bude vážne jav korózie, ktorý vážne znižuje jeho výrobnú efektivitu.

STvrdý zaostrovací krúžok SiCPracovný princíp：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

Porovnanie zaostrovacieho krúžku na báze Si a zaostrovacieho krúžku CVD SiC:

Porovnanie zaostrovacieho krúžku na báze Si a zaostrovacieho krúžku CVD SiC
Položka	A	CVD SiC
Hustota (g/cm³)	2.33	3.21
Pásmová medzera (eV)	1.12	2.3
Tepelná vodivosť (W/cm℃)	1.5	5
CTE (x10^-6/℃)	2.6	4
Modul pružnosti (GPa)	150	440
Tvrdosť (GPa)	11.4	24.5
Odolnosť proti opotrebovaniu a korózii	Chudák	Výborne

VeTek Semiconductor ponúka pokročilé diely z pevného karbidu kremíka (CVD karbid kremíka), ako sú zaostrovacie krúžky SiC pre polovodičové zariadenia. Naše pevné zaostrovacie krúžky z karbidu kremíka prekonávajú tradičný kremík z hľadiska mechanickej pevnosti, chemickej odolnosti, tepelnej vodivosti, odolnosti voči vysokej teplote a odolnosti voči iónovému leptaniu.

Medzi kľúčové vlastnosti našich zaostrovacích krúžkov SiC patrí:

Vysoká hustota pre zníženú rýchlosť leptania.

Vynikajúca izolácia s vysokou bandgap.

Vysoká tepelná vodivosť a nízky koeficient tepelnej rozťažnosti.

Vynikajúca odolnosť voči mechanickému nárazu a elasticita.

Vysoká tvrdosť, odolnosť proti opotrebovaniu a odolnosť proti korózii.

Vyrobené s použitímplazmou posilnená chemická depozícia z plynnej fázy (PECVD)naše SiC zaostrovacie krúžky spĺňajú rastúce požiadavky leptacích procesov pri výrobe polovodičov. Sú navrhnuté tak, aby vydržali vyšší plazmový výkon a energiu, konkrétne vkapacitne viazaná plazma (CCP)systémov.

Zaostrovacie krúžky SiC spoločnosti VeTek Semiconductor poskytujú výnimočný výkon a spoľahlivosť pri výrobe polovodičových zariadení. Vyberte si naše SiC komponenty pre vynikajúcu kvalitu a efektivitu.

View as

CVD SIC blok pre rast kryštálov SIC

Blok CVD SIC pre rast kryštálov SIC, je nová surovina s vysokou čistotou vyvinutá spoločnosťou Vetek Semiconductor. Má vysoký pomer vstupu do výstupu a môže pestovať vysokokvalitné a veľkosti kremíkových jednotlivých kryštálov karbidu, čo je materiál druhej generácie, ktorý nahradí prášok používaný na dnešnom trhu. Vitajte v diskusii o technických problémoch.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

SIC Crystal Growth Nová technológia

Ultra-vysoký čistotný kremíkový karbid kremíka (SIC) vetetek Semiconductor (SIC), ktorý je tvorený chemickým depozíciou pary (CVD), sa odporúča, aby sa použil ako zdrojový materiál na pestovanie kryštálov karbidu kremíka fyzickým transportom pary (PVT). V novej technológii rastu kryštálov SIC je zdrojový materiál naložený do téglika a sublimovaný na semenný kryštál. Použite bloky CVD-SIC s vysokou čistotou ako zdroj na pestovanie kryštálov SIC. Vitajte v nadviazaní partnerstva s nami.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

Sprchová hlava CVD SIC

Vetek Semiconductor je popredný výrobca a inovátor sprchovacích spoločností CVD v Číne. Špecializujeme sa na materiál SIC už mnoho rokov. CVD SIC Sprchova hlava je vybraná ako zaostrovací kruhový materiál kvôli svojej vynikajúcej termochemickej stabilite, vysokej mechanickej pevnosti a odolnosti voči plastovej erózii. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

Sprchová hlava

Vetek Semiconductor je popredným výrobcom a inovátorom SIC sprchy v Číne. Špecializujeme sa na materiál SIC už mnoho rokov. Strihová sprchová hlava je vybraná ako zaostrovací kruhový materiál kvôli svojej vynikajúcej termochemickej stabilite, vysokej mechanickej sile a odolnosti voči plazmovej erózii.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

Masívna plynová sprchová hlavica SiC

Masívna plynová sprchová hlavica SiC hrá hlavnú úlohu pri zjednocovaní plynu v procese CVD, čím sa zabezpečuje rovnomerné zahrievanie substrátu. VeTek Semiconductor je už mnoho rokov hlboko zapojený do oblasti pevných SiC zariadení a je schopný poskytnúť zákazníkom prispôsobené plynové sprchové hlavice Solid SiC. Bez ohľadu na to, aké sú vaše požiadavky, tešíme sa na váš dopyt.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

Chemický proces ukladania pary tuhý kruh na okraji SIC

Vetek Semiconductor sa vždy zaviazal k výskumu a vývoju a výrobe pokročilých polovodičových materiálov. Dnes spoločnosť Vetek Semiconductor dosiahla veľký pokrok v procese ukladania chemického depozície pary Solid SIC Edge Ring Products a je schopný zákazníkom poskytovať vysoko prispôsobené pevné krúžky SIC Edge. Pevné krúžky na okraji SIC poskytujú lepšiu uniformitu leptania a presné polohovanie oblátok, keď sa používajú s elektrostatickým skľučením, čo zabezpečuje konzistentné a spoľahlivé výsledky leptania. Tešíme sa na váš dopyt a stanete sa vzájomným dlhodobým partnerom.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

Ako profesionál Pevný karbid kremíka výrobca a dodávateľ v Číne máme vlastnú továreň. Či už potrebujete prispôsobené služby, ktoré vyhovujú konkrétnym potrebám vášho regiónu alebo chcete kúpiť pokročilé a odolné Pevný karbid kremíka v Číne, môžete nám nechať správu.

QR kód

O nás

Produkty

Kontaktuj nás

Telefón
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Adresa
Wangda Road, ulica Ziyang, Wuyi County, Jinhua City, provincia Zhejiang, Čína

Webové menu

Vyhľadávanie produktov

Jazyk

Ukončiť ponuku

Pevný karbid kremíka

Medzi kľúčové vlastnosti našich zaostrovacích krúžkov SiC patrí:

CVD SIC blok pre rast kryštálov SIC

SIC Crystal Growth Nová technológia

Sprchová hlava CVD SIC

Sprchová hlava

Masívna plynová sprchová hlavica SiC

Chemický proces ukladania pary tuhý kruh na okraji SIC

Odoslať dopyt

QR kód

O nás

Produkty

Kontaktuj nás

Telefón

Fax

E-mail

Adresa